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蒸镀坩埚台车的制作方法

2022-05-17 02:55:17 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及面板蒸镀技术领域,尤其涉及一种蒸镀坩埚台车。


背景技术:

2.oled蒸镀设备是指对oled材料进行蒸镀成膜并做成发光器件的装备,oled蒸镀是oled生产工艺环节中的重要工艺技术,是制约产能的关键因素。oled材料需要先装在坩埚中,然后再将坩埚放入oled蒸镀设备内部进行蒸镀操作。oled材料装填到坩埚中后,需要运用台车将坩埚运输到oled蒸镀设备旁,再将坩埚从台车上取出,放入oled蒸镀设备中。现有技术的缺陷在于:为了保证运输效率,台车上会一次装载多层坩埚,当抽取位置较低的坩埚时,很难保证坩埚以水平姿态取出,倾斜的坩埚会导致oled材料在坩埚内堆积为不均匀分布的状态,影响蒸镀的正常进行。此外,工作人员在取出位置较低的坩埚时,也不便于施力,容易脱手导致坩埚滑脱,从而对人身安全造成威胁。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种蒸镀坩埚台车,能避免坩埚取出时发生倾斜并提高作业的安全性。
4.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
5.提供一种蒸镀坩埚台车,包括车架、活动框体和升降机构,所述活动框体和所述升降机构均设置在所述车架上,所述活动框体包括至少两个设置在不同高度的装载平台,所述装载平台用于放置坩埚,所述坩埚从所述活动框体的至少一侧进出,所述升降机构与所述活动框体连接并能驱动所述活动框体上下移动。
6.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,所述升降机构包括电机、丝杠和移动块,所述电机固定在所述车架上,所述丝杠与所述电机连接且竖直设置,所述移动块活动设置在所述丝杠上,所述移动块固定在所述活动框体上。
7.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,蒸镀坩埚台车还包括导向柱,所述导向柱固定在所述车架上并贯穿所述装载平台,所述导向柱竖直设置。
8.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,所述活动框体还包括连接柱,所述连接柱竖直设置,所述连接柱与各个所述装载平台连接并位于所述装载平台的边缘。
9.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,所述连接柱的侧面与所述车架抵接并能相互滑动。
10.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,所述蒸镀坩埚台车包括两个所述升降机构,两个所述升降机构设置在所述车架相对的两侧上。
11.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,所述丝杠设置于所述车架的侧面的中部。
12.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,所述蒸镀坩埚台车包括四个升降机构,两个所述升降机构间隔设置在所述车架的一侧,另外两个所述升降机构间隔设置在
所述车架相对的另一侧。
13.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,位于所述车架同一侧的两个所述丝杠分别靠近所述车架的两端设置。
14.作为本实用新型蒸镀坩埚台车的一种优选方案,蒸镀坩埚台车还包括缓冲垫,所述缓冲垫设置在所述活动框体的底部。
15.本实用新型的有益效果:
16.在升降机构的作用下,活动框体能够实现上升和下降,当使用蒸镀坩埚台车运输坩埚时,活动框体处于较低的位置以使重心高度较低,保证运输过程的安全性。当需要将坩埚从蒸镀坩埚台车上取出时,活动框体上升,使得处于活动框体上最低位置的坩埚也距离地面较高的高度,便于人员将坩埚安全平稳地从蒸镀坩埚台车上取出,有效避免坩埚在此过程发生较大角度的倾斜。
附图说明
17.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
18.图1为本实用新型一实施例的蒸镀坩埚台车的结构示意图;
19.图2为图1装载坩埚后的示意图;
20.图3为图1中活动框体上升后的示意图;
21.图4为图3装载坩埚后的示意图;
22.图5为本实用新型另一实施例的蒸镀坩埚台车的结构示意图。
23.图中:
24.1、车架;2、活动框体;21、装载平台;22、连接柱;3、升降机构;31、电机;32、丝杠;33、移动块;4、导向柱;5、缓冲垫;100、坩埚。
具体实施方式
25.参考下面结合附图详细描述的实施例,本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而,本实用新型不限于以下公开的实施例,而是可以以各种不同的形式来实现,提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围,并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
26.以下,参照附图来详细描述本实用新型。
27.如图1至图4所示,一实施例的蒸镀坩埚台车包括车架1、活动框体2和升降机构3,活动框体2和升降机构3均设置在车架1上,活动框体2包括两个设置在不同高度的装载平台21,装载平台21用于放置坩埚100,升降机构3与活动框体2连接并能驱动活动框体2上下移动。
28.在升降机构3的作用下,活动框体2能够实现上升和下降,当使用蒸镀坩埚台车运输坩埚100时,活动框体2处于较低的位置以使重心高度较低,保证运输过程的安全性。当需要将坩埚100从蒸镀坩埚台车上取出时,活动框体2上升,使得处于活动框体2上最低位置的坩埚100也距离地面较高的高度,便于人员将坩埚100安全平稳地从蒸镀坩埚台车上取出,有效避免坩埚100在此过程发生较大角度的倾斜。活动框体2的各个侧面均开口,都能供坩
埚100进出,在实际作业时,优选为采用未设置升降机构3的侧面进出坩埚100,以避免坩埚100与升降机构3发生碰撞。
29.活动框体2所包括的装载平台21并不限于两个,活动框体2可以包括三个甚至更多数量的装载平台21,装载平台21的数量根据实际需求进行相应的选择。
30.进一步的,升降机构3包括电机31、丝杠32和移动块33,电机31固定在车架1上,丝杠32与电机31连接且竖直设置,移动块33活动设置在丝杠32上,移动块33固定在活动框体2上。移动块33的结构类似滚珠螺母,当电机31驱动丝杠32旋转时,移动块33能沿丝杠32上下移动,由于移动块33固定在活动框体2上,使得活动框体2也上下移动。此种结构的升降机构3能保证活动框体2平稳的运动,设置在活动框体2上的坩埚100不易在升降过程中发生晃动,安全性高。
31.当然,升降机构3并不限于采用本实施例的这种形式,只要能平稳驱动活动框体2升降的结构都可以应用于蒸镀坩埚台车中。
32.进一步的,本实施例的蒸镀坩埚台车还包括导向柱4,导向柱4固定在车架1上并贯穿装载平台21,导向柱4竖直设置。导向柱4能够对活动框体2的移动进行限位,使其只能在竖直方向上运动,从而提高活动框体2在升降过程中的稳定性,也保证丝杠32不受到径向剪切力的影响,避免丝杠32弯曲变形而无法使用。
33.如图2所示,活动框体2还包括连接柱22,连接柱22竖直设置,连接柱22与各个装载平台21连接并位于装载平台21的边缘。各个装载平台21均相互平行设置,连接柱22将各个装载平台21连接为一体,从而形成活动框体2。为了避免连接柱22占用装载平台21上的空间而阻碍坩埚100的放置和取出,连接柱22设置在装载平台21的边缘。当然,连接柱22的数量并不止一个,当装载平台21呈矩形时,最少需要四个连接柱22,分别与装载平台21的四个角连接。
34.进一步的,连接柱22的侧面与车架1抵接并能相互滑动。连接柱22的侧面与车架1接触,且二者之间可以相对滑动,使车架1也能为活动框体2的升降提供限位作用,进一步提高了活动框体2升降过程中的稳定性。
35.在本实施例中,蒸镀坩埚台车包括两个升降机构3,两个升降机构3设置在车架1相对的两侧上。由于图示只展现了蒸镀坩埚台车的一侧,因此只能看到一个升降机构3。由于坩埚100加上活动框体2的重量和体积都较大,只采用一个升降机构3来驱动活动框体2的话,只使将丝杠32穿过活动框体2的重心才能保证活动框体2的稳定升降,但这样会占用装载平台21上用于放置坩埚100的空间,不仅造成作业效率低,丝杠32本身也容易因坩埚100的撞击而受损。通过设置两个升降机构3,并将两个升降机构3设置在车架1相对的两侧上,可以不占用装载平台21上的空间,同时保证了活动框体2的稳定升降。
36.进一步的,丝杠32设置于车架1的侧面的中部,以使丝杠32两侧所负载的重量相同,活动框体2对丝杠32施加的作用力竖直向下,不会产生导致丝杠32弯曲的力矩,从而避免丝杠32受损。
37.如图3和图4所示,本实施例的蒸镀坩埚台车还包括缓冲垫5,缓冲垫5设置在活动框体2的底部。活动框体2的底部会与车架1接触,缓冲垫5能吸收活动框体2的底部与车架1接触时的冲击,对升降机构3和活动框体2上装载的坩埚100都具有较好的保护作用。
38.如图5所示,在另一个实施例中,蒸镀坩埚台车包括四个升降机构3,两个升降机构
3间隔设置在车架1的一侧,另外两个升降机构3间隔设置在车架1相对的另一侧。在本实施例中,四个升降机构3中的丝杠32还能充当导向作用,因此本实施例中没有设置上一实施例中的导向柱4这一部件。由于有四个升降机构3同时作用于活动框体2,本实施例的蒸镀坩埚台车具有更强的负载能力。
39.进一步的,位于车架1同一侧的两个丝杠32分别靠近车架1的两端设置。位于车架1同一侧的两个丝杠32相距地较远,因而能更稳定地支撑活动框体2,保证活动框体2升降过程中的稳定性。
40.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例,但是本实用新型不限于以上实施例,而是可以以各种形式制造,并且本领域技术人员将理解,在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下,可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此,应该理解,上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。
再多了解一些

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