用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制作方法

技术特征：
1.用于压力和惯性传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有：衬底(10)，所述衬底具有衬底表面(10a)；撑开的膜片(12)，所述膜片具有朝向所述衬底表面(10a)定向的膜片内侧(12a)和远离所述衬底表面(10a)指向的膜片外侧(12b)，其中，所述膜片内侧(12a)邻接于内部容积(16)，在所述内部容积中封锁有参考压力(p0)，并且其中，所述膜片(12)借助存在于所述膜片的膜片外侧(12b)上的压力(p)与所述参考压力(p0)之间的压力差能够被翘曲；和布置在所述内部容积(16)中的振动质量(14)；其特征在于设有在所述膜片内侧(10a)上突出的且伸入到所述内部容积(16)中的传感器电极(18)，所述传感器电极借助所述膜片(12)的翘曲相对于所述衬底(10)能够被调整。2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，所述振动质量(14)由半导体材料层(28)的或者半导体材料层堆的至少一个半导体材料形成，并且其中，所述传感器电极(18)至少部分地同样由所述半导体材料层(28)的或者所述半导体材料层堆的至少一个半导体材料形成。3.根据权利要求2所述的微机械构件，其中，布置在所述内部容积(16)中的且独立于所述振动质量(14)形成的参考电极(50)附加地由所述半导体材料层(28)的或者所述半导体材料层堆的所述至少一个半导体材料形成。4.根据上述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述振动质量(14)通过至少一个弹簧装置(22)附接在所述衬底表面(10)上，使得所述振动质量(14)能够被置于调整运动中，所述调整运动具有沿着与所述衬底表面(10a)平行地伸展的调整轴线(24)定向的运动分量，并且其中，至少一个质量对应电极(26a和26b)固定地布置在所述内部容积(16)中，使得，如果所述振动质量(14)被置于具有沿着所述调整轴线(24)定向的运动分量的调整运动中，则所述振动质量(14)与相应的质量对应电极(26)的相应的间距(d
14-26
)发生变化。5.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械构件，其中，所述振动质量(14)具有摆杆结构(42)，所述摆杆结构能够被置于围绕与所述衬底表面(10)平行地定向的倾斜轴线(44)的摆动运动中，并且其中，第一质量对应电极(48a)和第二质量对应电极(48b)直接地或者间接地紧固在所述衬底表面(10a)上，使得，如果所述振动质量(14)的所述摆杆结构(42)被置于围绕所述倾斜轴线(44)的摆动运动中，则所述摆杆结构(42)与所述第一质量对应电极(48a)的第一间距(d
42a-48a
)和所述摆杆结构(42)与所述第二质量对应电极(48b)的第二间距(d
42b-48b
)发生变化。6.根据权利要求5所述的微机械构件，其中，至少一个参考对应电极(40a、40b)在所述第一质量对应电极(48a)与所述第二质量对应电极(48b)之间直接地或者间接地紧固在所述衬底表面(10a)上。7.具有根据上述权利要求中任一项所述的微机械构件的压力和惯性传感器设备。8.用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法，所述制造方法具有下述步骤：将振动质量(14)布置在后来的内部容积(16)中(s1)；将膜片(12)撑开在具有衬底表面(10a)的衬底(10)上，使得膜片内侧(12a)朝向所述衬底表面(10a)定向并且膜片外侧(12b)远离所述衬底表面(10a)指向，并且所述膜片内侧
(12a)邻接于所述内部容积(16)(s2)；并且在所述内部容积(16)中封锁参考压力(p0)，使得所述膜片(12)在存在于其膜片外侧(12b)上的压力(p)与所述参考压力(p0)之间的压力差的作用下翘曲(s4)；其特征在于，构造具有在所述膜片内侧(12a)上突出的且伸入到所述内部容积(16)中的传感器电极(18)的膜片(12)，使得所述传感器电极(18)在所述膜片(12)翘曲的情况下相对于所述衬底(10)被调整(s3)。9.根据权利要求8所述的制造方法，其中，在撑开所述膜片(12)之前，至少部分地借助由至少一个半导体材料构成的半导体材料层(28)或者半导体材料层堆覆盖所述衬底表面(10a)和/或覆盖至少一个至少部分地覆盖所述衬底表面(10a)的中间层，其中，所述振动质量(14)由所述半导体材料层(28)的或者所述半导体材料层堆的至少一个半导体材料形成，并且其中，所述传感器电极(18)至少部分地同样由所述半导体材料层(28)的或者所述半导体材料层堆的至少一个半导体材料形成。10.根据权利要求8或者9所述的制造方法，其中，所述振动质量(14)构造为摆杆结构(42)，所述摆杆结构能够被置于围绕与所述衬底表面(10a)平行地定向的倾斜轴线(44)的摆动运动中。

技术总结
本发明涉及一种用于压力和惯性传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有衬底(10)、撑开的膜片(12)和布置在所述内部容积(16)中的振动质量(14)，所述衬底具有衬底表面(10a)，所述膜片具有朝向所述衬底表面(10a)定向的膜片内侧(12a)和远离所述衬底表面(10a)指向的膜片外侧(12b)，其中，所述膜片内侧(12a)邻接于内部容积(16)，在所述内部容积中封锁有参考压力(p0)，并且其中，所述膜片(12)借助存在于其膜片外侧(12b)上的压力(p)与所述参考压力(p0)之间的压力差能够被翘曲，其中，在所述膜片内侧(10a)上突出的且伸入到所述内部容积(16)中的传感器电极(18)借助所述膜片(12)的翘曲相对于所述衬底(10)能够被调整。同样地，本发明涉及一种压力和惯性传感器设备。另外，本发明涉及一种用于制造用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。


技术研发人员：J
受保护的技术使用者：罗伯特
技术研发日：2020.09.04
技术公布日：2022/5/6