1.本实用新型涉及一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置。
背景技术：
2.八氟环丁烷(英文名octafluorocyclobutane，简称c318)，分子式cf2cf2cf2cf2。性质稳定、无毒且消耗臭氧潜能值(odp)为零、拥有良好的绝缘性等，近年来在高压绝缘、清洗蚀刻、等离子处理等技术领域得到广泛应用。用作等离子蚀刻剂的c318要求极高的纯度，至少达到99.999%(摩尔)纯度，一般该纯度的气体称为电子级气体，极少量的杂质也可能会提高制造高密度集成电路的缺陷率，由于八氟环丁烷脱除含氟烯烃杂质，针对四氟乙烯热裂解生产的八氟环丁烷，不适用于回收二氟一氯甲烷裂解制四氟乙烯过程中得到的八氟环丁烷，目前还没有能去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置。
技术实现要素：
3.本实用新型提供了一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，它使得含氟烯烃杂质被氧化为聚醚酰氟，通脱碱洗水洗脱水精馏，从而达到提纯八氟环丁烷的效果。
4.本实用新型采用了以下技术方案：一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，它主要包括反应釜、汽化器、碱洗塔、水洗塔、吸附装置和精馏塔，所述的反应釜的顶部设有进口ⅰ，氧气输送管通过进口ⅰ伸入到反应釜内，在反应釜的底部设有出口ⅰ，汽化器的底部设有进口ⅱ，在出口ⅰ与进口ⅱ之间通过输送管ⅰ相连通，在汽化器的顶部设有出口ⅱ，碱洗塔的侧面设有进口ⅲ，在出口ⅱ与进口ⅲ之间通过输送管ⅱ相连通，碱洗塔的顶部设有出口ⅲ，水洗塔的侧面设有进口ⅳ，在出口ⅲ与进口ⅳ之间通过输送管ⅲ相连通，水洗塔的顶部设有出口ⅳ，出口ⅳ经过吸附装置与精馏塔塔体侧面进口
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相连通，精馏塔塔体的底部设有再分布器，再分布器的侧面设有出口
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5.所述的反应釜设置为光氧化反应釜。所述的汽化器设置为压力式汽化器或浮动式汽化器。所述的吸附装置包括吸附柱ⅰ、吸附柱ⅱ、吸附柱ⅲ和吸附柱ⅳ，出口ⅳ与吸附柱ⅰ的进料口相连通，吸附柱ⅰ依次与吸附柱ⅱ、吸附柱ⅲ和吸附柱ⅳ之间通过吸附管串接在一起，吸附柱ⅳ的出料口与进口
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相连通。
6.所述的精馏塔设置为填料精馏塔。是所述的填料精馏塔内的精馏填料为金属狄克松填料、金属鲍尔环填料或金属规整填料，精馏填料的高度为5~30m。
7.本实用新型具有以下有益效果：采用了以上技术方案后采用了以上技术方案后，本实用新型使得含氟烯烃杂质被氧化为聚醚酰氟，通脱碱洗水洗脱水精馏，从而达到提纯八氟环丁烷的效果。采用本实用新型的设备后不但可以提高去除效率，而且去除效果好，减少了损耗。
附图说明
8.图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
9.在图1中，本发明提供了一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，它主要包括反应釜1、汽化器2、碱洗塔3、水洗塔4、吸附装置和精馏塔5，反应釜1设置为光氧化反应釜，汽化器2设置为压力式汽化器或浮动式汽化器，所述的反应釜1的顶部设有进口ⅰ6，氧气输送管7通过进口ⅰ6伸入到反应釜1内，在反应釜1的底部设有出口ⅰ8，汽化器2的底部设有进口ⅱ9，在出口ⅰ8与进口ⅱ9之间通过输送管ⅰ10相连通，在汽化器2的顶部设有出口ⅱ11，碱洗塔3的侧面设有进口ⅲ12，在出口ⅱ11与进口ⅲ12之间通过输送管ⅱ13相连通，碱洗塔3的顶部设有出口ⅲ14，水洗塔4的侧面设有进口ⅳ15，在出口ⅲ14与进口ⅳ15之间通过输送管ⅲ16相连通，水洗塔4的顶部设有出口ⅳ17，出口ⅳ17经过吸附装置与精馏塔5塔体侧面进口
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18相连通，所述的吸附装置包括吸附柱ⅰ21、吸附柱ⅱ22、吸附柱ⅲ23和吸附柱ⅳ24，出口ⅳ17与吸附柱ⅰ21的进料口相连通，吸附柱ⅰ21依次与吸附柱ⅱ22、吸附柱ⅲ23和吸附柱ⅳ24之间通过吸附管25串接在一起，吸附柱ⅳ24的出料口与进口
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18相连通，精馏塔5塔体的底部设有再分布器19，再分布器19的侧面设有出口
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20，所述的精馏塔5设置为填料精馏塔，所述的填料精馏塔内的精馏填料为金属狄克松填料、金属鲍尔环填料或金属规整填料，精馏填料的高度为5~30m。
10.本实用新型的使用方法：首先将高纯氧气氧气输送管7通入带有少量含氟烯烃的八氟环丁烷的光氧化反应釜中，在一定温度和压力的搅拌速度下，通过紫外光进行照射反应后，将含氟烯烃的杂质转变为聚醚酰氟，八氟环丁烷由于性质稳定不参与反应；
11.步骤二，将含有聚醚酰氟的八氟环丁烷溶液经过汽化器2汽化后通过碱洗塔3的碱洗、水洗塔4的水洗、吸附装置吸附脱水后，吸附用的吸附剂为硅胶、分子筛、固碱、浓硫酸的一种或多种组合，再通过填料精馏塔精馏提纯，得到提纯后的八氟环丁烷溶液，八氟环丁烷溶液中含氟烯烃杂质小于10ppm。
技术特征：
1.一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，其特征是它主要包括反应釜（1）、汽化器（2）、碱洗塔（3）、水洗塔（4）、吸附装置和精馏塔（5），所述的反应釜（1）的顶部设有进口ⅰ（6），氧气输送管（7）通过进口ⅰ（6）伸入到反应釜（1）内，在反应釜（1）的底部设有出口ⅰ（8），汽化器（2）的底部设有进口ⅱ（9），在出口ⅰ（8）与进口ⅱ（9）之间通过输送管ⅰ（10）相连通，在汽化器（2）的顶部设有出口ⅱ（11），碱洗塔（3）的侧面设有进口ⅲ（12），在出口ⅱ（11）与进口ⅲ（12）之间通过输送管ⅱ（13）相连通，碱洗塔（3）的顶部设有出口ⅲ（14），水洗塔（4）的侧面设有进口ⅳ（15），在出口ⅲ（14）与进口ⅳ（15）之间通过输送管ⅲ（16）相连通，水洗塔（4）的顶部设有出口ⅳ（17），出口ⅳ（17）经过吸附装置与精馏塔（5）塔体侧面进口
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（18）相连通，精馏塔（5）塔体的底部设有再分布器（19），再分布器（19）的侧面设有出口
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（20）。2.根据权利要求1所述的去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，其特征是所述的反应釜（1）设置为光氧化反应釜。3.根据权利要求1所述的去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，其特征是所述的汽化器（2）设置为压力式汽化器或浮动式汽化器。4.根据权利要求1所述的去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，其特征是所述的吸附装置包括吸附柱ⅰ（21）、吸附柱ⅱ（22）、吸附柱ⅲ（23）和吸附柱ⅳ（24），出口ⅳ（17）与吸附柱ⅰ（21）的进料口相连通，吸附柱ⅰ（21）依次与吸附柱ⅱ（22）、吸附柱ⅲ（23）和吸附柱ⅳ（24）之间通过吸附管（25）串接在一起，吸附柱ⅳ（24）的出料口与进口
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（18）相连通。5.根据权利要求1所述的去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，其特征是所述的精馏塔（5）设置为填料精馏塔。6.根据权利要求5所述的去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，其特征是所述的填料精馏塔内的精馏填料为金属狄克松填料、金属鲍尔环填料或金属规整填料，精馏填料的高度为5~30m。
技术总结
本实用新型公开一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，氧气输送管（7）伸入到反应釜（1）内，反应釜（1）的出口Ⅰ（8）与汽化器（2）的进口Ⅱ（9）之间通过输送管Ⅰ（10）相连通，汽化器（2）的顶部的出口Ⅱ（11）与碱洗塔（3）的侧面的进口Ⅲ（12）之间通过输送管Ⅱ（13）相连通，碱洗塔（3）的顶部的出口Ⅲ（14）与水洗塔（4）的侧面的进口Ⅳ（15）之间通过输送管Ⅲ（16）相连通，水洗塔（4）的顶部的出口Ⅳ（17）经过吸附装置与精馏塔（5）塔体侧面进口
技术研发人员：钱厚琴 胡经宇 徐明 吴玉勋
受保护的技术使用者：泰兴梅兰新材料有限公司
技术研发日：2021.08.25
技术公布日：2022/4/29
再多了解一些
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