一种氨中微量硅烷检测分析装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅烷检测技术领域，具体涉及一种氨中微量硅烷检测分析装置。


背景技术：

2.硅烷主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等。
3.目前在对氨气中微量硅烷检测时，还是存在气体置换、检测不便的情况，这样便会出现在进行检测氨气硅烷混合气体时的速度过慢和效率不高的情况发生，为解决上述问题，我们提出一种氨中微量硅烷检测分析装置。


技术实现要素：

4.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种氨中微量硅烷检测分析装置，以解决背景技术中提到的问题。
5.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
6.一种氨中微量硅烷检测分析装置，包括检测盘，检测盘的外圆壁面开设有六个进样孔，六个所述进样孔分别依次为第一接口、第二接口、第三接口、第四接口、第五接口和第六接口，所述进样孔的内圆壁面固定套设有吹扫阀，所述检测盘的顶面开设有转动孔；连接管，所述连接管固定连接在所述吹扫阀的一端，所述连接管远离所述吹扫阀的一端开设有密封槽；检测组件，所述检测组件设置在所述吹扫阀的一端，用于检测气体。
7.通过采用上述技术方案，通过设置检测组件，检测组件可便于工作人员对氨中的微量硅烷进行检测和分析。
8.较佳的，所述检测组件包括：保护管，所述保护管设置在检测盘的外圆壁面，所述保护管的内圆壁面连接有色谱柱，所述保护管远离所述检测盘的一端连接有检测壳，检测壳的内部连接有pdhidd脉冲氦离子检测器；转动管，所述转动管活动套设在所述保护管的外圆壁面，所述保护管的外圆壁面连接有密封板，所述密封板靠近所述连接管的一端连接有密封垫，所述密封垫与所述密封槽活动套设，所述转动管与位于第六连接口内吹扫阀一端的连接管螺纹连接；气体置换件，所述气体置换件设置在所述检测盘的内部，用于置换不同的气体。
9.通过采用上述技术方案，通过设置气体置换件，气体置换件可以对氨中的微量硅烷分离进行检测。
10.较佳的，所述气体置换件包括：三个连通块，三个所述连通块均设置在所述检测盘的内部，所述连通块的外圆壁面开设有两个连通孔，所述连通孔与所述进样孔的位置相对应；定量管，定量管设置在检测盘的外圆壁面，定量管的一端与位于第一接口内部吹扫阀的位置相对应，定量管的另一端与位于第三接口内部吹扫阀的位置相对应；转动棒，所述转动棒设置在所述检测盘的内部，所述转动棒与所述转动孔的位置相对应，所述转动棒的外圆
壁面连接有三个连接块，三个所述连接块均等角度固定连接在所述转动棒的外圆壁面，所述连接块远离所述转动棒的一侧固定连接在所述连通块的内圆壁面。
11.通过采用上述技术方案，通过设置转动棒，当转动棒在转动时，转动棒可带动三个连通块进行转动，从而实现第三接口与第四接口与不同的连通孔相互连通的效果，便于后期快速对氨气进行气体置换。
12.较佳的，所述转动孔的内部活动套设有转动块。
13.通过采用上述技术方案，通过设置转动块，当转动块在转动时，此时转动块可在转动孔的内部进行转动，从而便于后期带动转动棒进行转动。
14.较佳的，所述定量管的外圆壁面活动活动套设有两个固定棒，所述固定棒的一端开设有滑动孔，所述定量管的左右两端均固定连接有侧板，所述侧板远离所述定量管的一端连接有密封环。
15.通过采用上述技术方案，通过设置滑动孔，由于固定棒的一端开设有滑动孔，从而便于固定棒在定量管的外圆壁面移动，从而便于后期对定量管进行固定，由于密封环连接在侧板远离定量管的一端，从而便于后期对定量管的连接口进行密封。
16.较佳的，所述吹扫阀远离连接管的一端连接有连接环。
17.通过采用上述技术方案，通过设置连接管，由于连接管远离吹扫阀的一端开设有密封槽，从而便于后期工作人员就将管道固定在连接管的外圆壁面后，对连接管进行密封。
18.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
19.通过设置连接管，通过工作人员像位于第四接口内部吹扫阀一端的连接管内部注入氨气，此时气体会经过连通块通过第三接口流入定量管的内部进行储存，通过设置转动块，当转动块在转动时，此时转动块通过转动棒可带动三个连通块进行转动，从而实现第三接口与第四接口与不同的连通孔相互连通的效果，便于后期快速对氨气进行气体置换，通过设置保护管，由于保护管的内圆壁面设置有色谱柱，从而使色谱柱可对氨气中的分离硅烷进行分离，再通过检测壳内部的pdhidd脉冲氦离子检测器对硅烷进行检测，从而便于工作人员对氨气中的微量硅烷进行检测和分析。
附图说明
20.图1是本实用新型的立体结构示意图；
21.图2是本实用新型的检测盘结构示意图；
22.图3是本实用新型的连接管结构示意图；
23.图4是本实用新型的定量管结构示意图。
24.附图标记：1、检测盘；2、进样孔；3、吹扫阀；4、连接管；5、密封槽；6、转动孔；7、转动块；8、转动棒；9、连接块；10、连通块；11、连通孔；12、定量管；13、固定棒；14、滑动孔；15、侧板；16、密封环；17、连接环；18、密封垫；19、密封板；20、转动管；21、保护管；22、检测壳。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.参考图1、图2和图3，一种氨中微量硅烷检测分析装置，包括检测盘1，检测盘1为中空矩形块，检测盘1的外圆壁面开设有六个进样孔2，六个进样孔2分别依次为第一接口、第二接口、第三接口、第四接口、第五接口和第六接口，进样孔2的内圆壁面固定套设有吹扫阀3，检测盘1的顶面开设有转动孔6，转动孔6为圆形通孔，吹扫阀3的一端固定连接有连接管4，连接管4为圆管形结构，且连接管4的外圆壁面开设有螺纹，连接管4远离吹扫阀3的一端开设有密封槽5，密封槽5为圆环槽，吹扫阀3的一端设置有检测组件，用于检测气体，检测组件包括保护管21，保护管21设置在检测盘1的外圆壁面，保护管21透明材料制圆管形结构，保护管21的内圆壁面连接有色谱柱，保护管21远离检测盘1的一端连接有检测壳22，检测壳22为透明材料制中空圆柱形结构，且检测壳22的一端为敞口，检测壳22的内部连接有pdhidd脉冲氦离子检测器，保护管21的外圆壁面活动套设有转动管20，转动管20为圆管形结构，且转动管20的内圆壁面开设有螺纹，保护管21的外圆壁面连接有密封板19，密封板19靠近连接管4的一端连接有密封垫18，密封垫18与侧板15活动套设，转动管20与位于第六连接口内吹扫阀3一端的连接管4螺纹连接，检测盘1的内部来设置有气体置换件，用于置换不同的气体。
27.参考图2、图3和图4，气体置换件包括三个连通块10，三个连通块10均设置在检测盘1的内部，连通块10的外圆壁面开设有两个连通孔11，连通孔11与进样孔2的位置相对应，检测盘1的外圆壁面设置有定量管12，定量管12的一端与位于第一接口内部吹扫阀3的位置相对应，定量管12的另一端与位于第三接口内部吹扫阀3的位置相对应，检测盘1的内部设置有转动棒8，转动棒8与转动孔6的位置相对应，转动棒8的外圆壁面连接有三个连接块9，三个连接块9均等角度固定连接在转动棒8的外圆壁面，连接块9远离转动棒8的一侧固定连接在连通块10的内圆壁面，转动孔6的内部活动套设有转动块7，转动块7为一个圆柱和一个圆块组成的结构，转动块7的底端穿过转动孔6与转动棒8的顶端固定连接在一起，定量管12的外圆壁面活动活动套设有两个固定棒13，固定棒13为中空圆柱形结构，且固定棒13的一端为敞口，固定棒13的内圆壁面开设有螺纹，固定棒13与连接管4螺纹连接在一起，固定棒13的一端开设有滑动孔14，定量管12的左右两端均固定连接有侧板15，侧板15远离定量管12的一端连接有密封环16，密封环16与密封槽5活动套接在一起，吹扫阀3远离连接管4的一端连接有连接环17，连接环17与连通孔11活动套设在一起。
28.工作原理：请参考图1-图4所示，通过设置连接管4，通过工作人员像位于第四接口内部吹扫阀3一端的连接管4内部注入氨气，此时气体会经过连通块10通过第三接口流入定量管12的内部进行储存，通过设置转动块7，当转动块7在转动时，此时转动块7通过转动棒8可带动三个连通块10进行转动，从而实现第三接口与第四接口与不同的连通孔11相互连通的效果，便于后期快速对氨气进行气体置换，通过设置保护管21，由于保护管21的内圆壁面设置有色谱柱，从而使色谱柱可对氨气中的分离硅烷进行分离，再通过检测壳22内部的pdhidd脉冲氦离子检测器对硅烷进行检测，从而便于工作人员对氨气中的微量硅烷进行检测和分析。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。