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一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构的制作方法

2022-04-30 12:27:51 来源:中国专利 TAG:


1.本发明涉及轴承加工技术领域,具体为一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构。


背景技术:

2.多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法,数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。
3.主轴部分是多线切割设备的核心部分,由于受切削力和旋转稳定性的要求,主轴一般采用多对角接触精密轴承串联安装,由于同型号多组轴承串联安装,使得轴座孔深度相对较大,而传统的热胀法及液氮冷却法在多线切割设备轴系安装条件不能适用,因此能准确平稳且不损伤轴承及轴座加工面精度的情况下实现多组轴承高精度安装是实现主轴系统高速、高精度运转的基础保证。


技术实现要素:

4.针对现有技术的不足,本发明提供了一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构,解决了同型号多组轴承串联安装,使得轴座孔深度相对较大,而传统的热胀法及液氮冷却法在多线切割设备轴系安装条件不能适用的问题。
5.为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构,包括基板,所述基板的顶端固定连接有四个导柱,四个所述导柱的顶端均与丝杠母固定板的下端相连,所述丝杠母固定板的中轴心通孔内固定连接有丝杠副,所述丝杠母固定板和基板之间设置有压力座,所述丝杠副内螺纹连接有丝杠,所述丝杠的顶端通过键连接有固定盘,所述固定盘的顶端设置有两个环槽,所述固定盘的顶端转动连接有转动盘,所述转动盘的下端固定连接有两个撞块,所述压力座的中轴心顶端固定连接有轴承座,所述轴承座的内部下端设置有丝杠固定套,所述轴承座的内部顶端设置有圆锥滚子轴承,所述压力座的下端中轴心处固定连接有固定压套,所述固定压套的下端连接有活动压套。
6.优选的,所述转动盘的外部固定连接有四个加力杆,所述转动盘的顶端中轴心处设置有压套。
7.优选的,所述压力座的四角通孔均与相应位置导柱的外部滑动连接。
8.优选的,两个所述撞块在固定盘的顶端呈轴对称分布,两个所述环槽在转动盘的下端呈轴对称分布,所述撞块滑动连接在相应位置的环槽内。
9.优选的,所述固定压套的顶端通孔与丝杠的下端转动连接。
10.优选的,所述圆锥滚子轴承与丝杠的外部相连,所述轴承座的顶端固定连接有顶盖。
11.优选的,所述丝杠采用t型牙型结构。
12.优选的,一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构的使用方法,包括以下步骤:
13.转动加力杆带动转动盘在固定盘的顶端转动,转动盘在转动过程中其下端固定连接的撞块滑动连接在相应位置的环槽内,从而实现转动加力杆带动转动盘撞击固定盘,固定盘在撞击力下会带动丝杠进行转动,丝杠的转动就会带动压力座平稳地向下移动,便可以实现将撞击动能转化为丝杠的轴向移动动能,然后压力座在移动过程中活动压套完成不同轴承的装配。
14.本发明提供了一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构。具备以下有益效果:
15.本发明通过转动加力杆带动转动盘在固定盘的顶端转动,转动盘在转动过程中其下端固定连接的撞块滑动连接在相应位置的环槽内,从而实现转动加力杆带动转动盘撞击固定盘,固定盘在撞击力下会带动丝杠进行转动,丝杠的转动就会带动压力座平稳地向下移动,便可以实现将撞击动能转化为丝杠的轴向移动动能,实现微量加力微量移动,然后压力座在移动过程中通过更换活动压套可以完成不同轴承的装配,因此能准确平稳且不损伤轴承及轴座加工面精度的情况下实现多组轴承的高精度安装。
附图说明
16.图1为本发明的立体结构示意图;
17.图2为本发明的剖面结构示意图;
18.图3为本发明的固定盘结构示意图;
19.图4为本发明的活动盘结构示意图。
20.其中,1、基板;2、丝杠母固定板;3、导柱;4、导柱底座;5、压力座;6、丝杠;7、固定盘;8、转动盘;9、加力杆;10、导套;11、压套;12、轴承座;13、圆锥滚子轴承;14、顶盖;15、丝杠固定套;16、固定压套;17、活动压套;18、环槽;19、撞块;20、丝杠副。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
22.实施例:
23.如图1-4所示,本发明实施例提供一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构,包括基板1,基板1的顶端固定连接有四个导柱3,四个导柱3的顶端均与丝杠母固定板2的下端相连,丝杠母固定板2的中轴心通孔内固定连接有丝杠副20,丝杠母固定板2和基板1之间设置有压力座5,丝杠副20内螺纹连接有丝杠6,丝杠6的顶端通过键连接有固定盘7,固定盘7的顶端设置有两个环槽18,固定盘7的顶端转动连接有转动盘8,转动盘8的下端固定连接有两个撞块19,压力座5的中轴心顶端固定连接有轴承座12,轴承座12的内部下端设置有丝杠固定套15,轴承座12的内部顶端设置有圆锥滚子轴承13,通过圆锥滚子轴承13可以在满足轴向载荷的情况下减小了摩擦力矩,节省了人力,压力座5的下端中轴心处固定连接有固定压套16,固定压套16的下端连接有活动压套17,通过更换活动压套17可以实现不同轴承的装配。
24.转动盘8的外部固定连接有四个加力杆9,转动盘8的顶端中轴心处设置有压套11。
25.压力座5的四角通孔均与相应位置导柱3的外部滑动连接,从而可以保证压力座5的平稳移动。
26.两个撞块19在固定盘7的顶端呈轴对称分布,两个环槽18在转动盘8的下端呈轴对称分布,撞块19滑动连接在相应位置的环槽18内。
27.固定压套16的顶端通孔与丝杠6的下端转动连接,从而可以保证丝杠6的移动可以带动压力座5纵向移动。
28.圆锥滚子轴承13与丝杠6的外部相连,轴承座12的顶端固定连接有顶盖14,通过顶盖14可以对圆锥滚子轴承13进行保护,延长圆锥滚子轴承13的使用寿命。
29.丝杠6采用t型牙型结构,可以实现结构的自锁,导程为6mm,传动力矩大且稳定。
30.一种多线切割设备精密主轴安装辅助机构的使用方法,包括以下步骤:
31.转动加力杆9带动转动盘8在固定盘7的顶端转动,转动盘8在转动过程中其下端固定连接的撞块19滑动连接在相应位置的环槽18内,从而实现转动加力杆9带动转动盘8撞击固定盘7,固定盘7在撞击力下会带动丝杠6进行转动,丝杠6的转动就会带动压力座5平稳地向下移动,便可以实现将撞击动能转化为丝杠6的轴向移动动能,实现微量加力微量移动,然后压力座5在移动过程中通过更换活动压套17可以完成不同轴承的装配。
32.尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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