角度滤光器的制作方法

技术特征：
1.一种用于图像传感器的角度滤光器(2)，其包括至少部分地覆盖有第一防潮层(42)的不透明树脂图案(26)。2.根据权利要求1所述的滤光器(2)，其中所述图案(26)被完全地封装在第一防潮层和第二防潮层(42,44)之间。3.根据权利要求1或2所述的滤光器，其中层(42,44)对uv辐射是不透明的。4.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器，其中所述树脂是黑色的或有色的。5.根据权利要求1至4中任一项所述的滤光器，其中所述树脂是正性的。6.根据权利要求1至5中任一项所述的滤光器，其中树脂图案(26)具有矩形或梯形的横截面。7.根据权利要求1至6中任一项所述的滤光器，其中层(42,44)具有在1至200nm的范围内，优选在10至50nm的范围内的厚度。8.根据权利要求1至7中任一项所述的滤光器，其中第一层(42)、层(42,44)中之一或多层(42,44)由al2o3制成。9.根据权利要求1至8中任一项所述的滤光器，其中第一层(42)、层(42,44)中之一或多层(42,44)由sin/sio2制成。10.根据权利要求1至9中任一项所述的滤光器，其中树脂图案(26)之间的空间(28)用气体，优选用空气填充。11.根据权利要求1至10中任一项所述的滤光器，其中树脂图案(26)之间的空间(28)用对在400nm至1mm，优选400nm至700nm范围内的波长透明的材料(46)填充。12.根据权利要求11所述的滤光器，其中所述材料(46)选自硅树脂、聚二甲基硅氧烷、丙烯酸树脂、环氧树脂和光学透明粘合剂。13.根据权利要求11或12所述的滤光器，其中通过液相沉积、通过离心或通过涂覆来沉积树脂和材料(46)。14.根据权利要求1至13中任一项所述的滤光器，其中通过薄层沉积方法、等离子体增强化学气相沉积方法或物理气相沉积方法沉积第一层(42)和/或第二层(44)。15.一种制造根据权利要求1至14中任一项所述的角度滤光器(2)的方法，其包括以下步骤：-形成不透明树脂图案(26)；以及-用第一防潮层(42)覆盖图案(26)。16.根据权利要求15所述的方法，其进一步包括在形成树脂图案(26)之前沉积第二防潮层(44)。

技术总结
本发明涉及一种用于图像传感器的角度滤光器(2)，其包括至少部分地覆盖有第一防潮层(42)的不透明树脂图案(26)。(42)的不透明树脂图案(26)。(42)的不透明树脂图案(26)。


技术研发人员：廷达拉
受保护的技术使用者：爱色乐居
技术研发日：2020.09.08
技术公布日：2022/4/29