用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具

1.本发明属于半导体集成电路技术领域，具体为用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具。


背景技术：

2.集成电路是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。
3.半导体集成电路粒子碰撞噪声试验中，夹具再拿取过程中存在拿取不稳容易影响实验效果，同时实验后，不方便打包传输，进而降低实验效率。


技术实现要素：

4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具，以解决上述技术问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具，包括底座，所述底座的上方设有操作台，操作台的上方设有试验试样件传送装置和打包箱，操作台的一侧连接有支撑柱，操作台和支撑柱的底端均设有与底座连接的支撑腿，支撑柱的内部开设有容纳槽，支撑柱的一侧顶端设有位于操作台上方的移动杆，移动杆的底端对称设有夹持杆，两个夹持杆之间通过距离调节组连接，移动杆的底端设有位于两个夹持杆之间的吸附连接机构，容纳槽的内部设有与移动杆连接的高度调节机构；
6.高度调节机构包括支撑板、固定腿、t形螺纹、内螺纹筒一、支撑座、滑套、滑杆、电动伸缩杆二、驱动器和传动单元，支撑板安装于容纳槽的内底部，支撑板的底端设有固定腿，支撑板的顶端转动连接有t形螺纹，t形螺纹的外部螺纹连接有内螺纹筒一，支撑板的顶端设有滑杆，内螺纹筒一的一侧设有与滑杆滑动连接的滑套，t形螺纹上套设有齿轮一，内螺纹筒一的顶端设有支撑座，支撑座的顶端设有电动伸缩杆二，电动伸缩杆二的输出端与移动杆的一侧顶端连接，支撑板的顶端设有与齿轮一和距离调节组连接的驱动器，支撑板上设有传动单元。
7.优选的，所述支撑柱靠近操作台的一侧开设有开槽，电动伸缩杆二的输出端贯穿于开槽的内部。
8.优选的，所述驱动器包括电机一、转动杆、齿轮二、套杆和锥形齿轮一，支撑板的顶端设有电机一，电机一的输出轴连接有转动杆，转动杆的外部卡接套有套杆，套杆的顶端设有锥形齿轮一，转动杆上设有与齿轮一啮合连接的齿轮二。
9.优选的，所述电机一的底端设有活动块，支撑板的顶端开设有与活动块滑动连接的活动槽，活动块的一侧设有与活动槽侧壁连接的弹簧一。
10.优选的，所述距离调节组包括支撑轴、锥形齿轮二、双向丝杆、内螺纹块和活动槽，支撑座的一侧转动连接有支撑轴，支撑轴的外部设有与锥形齿轮一啮合连接的锥形齿轮二，支撑轴的一端套设有安装于移动杆内部的双向丝杆，双向丝杆上对称螺纹连接有内螺纹块，内螺纹块安装于夹持杆的顶端，移动杆的底端对称开设有与夹持杆滑动连接的活动槽。
11.优选的，所述内螺纹块的顶端对称设有卡杆，移动杆的内壁设有与卡杆滑动连接的卡槽。
12.优选的，所述传动单元包括通槽、高度调节杆、推块、安装座、摆动杆、转轴、推杆、螺纹块、内螺纹筒二和锁紧件，支撑板上开设有通槽，通槽的内部穿插有高度调节杆，高度调节杆的顶端设有位于电机一和t形螺纹之间的推块，高度调节杆的底端设有安装座，安装座的底端开设有插槽，容纳槽的内底端设有穿插于插槽内部的卡座，安装座的一侧转动连接有摆动杆，摆动杆的中间位置通过转轴与容纳槽内壁连接，摆动杆的一端转动连接有推杆，推杆的底端设有螺纹块，螺纹块的外部螺纹连接有位于支撑柱下方的内螺纹筒二，内螺纹筒二上设有锁紧件。
13.优选的，所述锁紧件包括固定环、卡接槽、稳定环、插接杆和弹簧三，内螺纹筒二的外部设有固定环，固定环上等距离开设有卡接槽，支撑柱的下方设有套设于固定环外部的稳定环，稳定环的两侧活动穿插有与卡接槽卡接的插接杆，插接杆上套设有位于稳定环内部的弹簧三。
14.优选的，所述吸附连接机构包括电动伸缩杆一、固定筒、吸盘、伸缩筒、隔板、电动推杆、活塞杆和通气孔，电动伸缩杆一安装于移动杆的底端中间位置，电动伸缩杆一的下方设有固定筒，固定筒的内部中间位置设有隔板，电动伸缩杆一的输出轴贯穿固定筒和隔板并与吸盘连接，吸盘的底端等距离开设有通气孔，伸缩筒的内部顶端设有电动推杆，电动推杆的输出轴连接有活塞杆。
15.优选的，所述固定筒的两侧对称穿插有与夹持杆连接的拉杆，拉杆上套设有位于固定筒内部的弹簧二。
16.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
17.(1)、在工作中，通过设置有底座、操作台、支撑柱、支撑腿、移动杆、夹持杆、高度调节机构和距离调节组，便于控制夹持杆的高度，同时实现夹持杆的间距调节，便于对不同尺寸的试验试样件进行夹持，配合吸附连接机构的设计，实现对试验试样件的吸附，进而提高了试验试样件的夹持稳定性，可以避免试验试样件实验中掉落而缩短试验试样件使用寿命，进而实现对试验试样件保护；
18.(2)、通过通槽、高度调节杆、推块、安装座、摆动杆、转轴、推杆、螺纹块、内螺纹筒二和锁紧件的设计，有效的为夹持杆的间距调节和夹持杆的高度调节提供可能；
19.(3)、通过电动伸缩杆一、固定筒、吸盘、伸缩筒、隔板、电动推杆、活塞杆和通气孔的设计，实现对试验试样件的真空吸附，进而提高对试验试样件的夹持稳定性，为试验试样件的夹取提高温度性；
20.(4)、通过支撑轴、锥形齿轮二、双向丝杆、内螺纹块和活动槽的设计，便于根据试验试样件的尺寸来调节两个夹持杆的间距，进而实现对试验试样件的夹持，提高了装置的适用范围；
21.(5)、通过电机一、转动杆、齿轮二、套杆和锥形齿轮一的设计，有效的为夹持杆的高度调节和夹持杆的间距调节提供动力，进而为试验试样件的打包带来方便。
附图说明
22.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。
23.在附图中：
24.图1为本发明结构示意图；
25.图2为本发明图1的内部结构示意图；
26.图3为本发明图2的剖视结构示意图；
27.图4为本发明图3的部分结构示意图；
28.图5为本发明图3中a处的放大结构示意图；
29.图6为本发明传动单元的结构示意图；
30.图7为本发明图6中b处的放大结构示意图
31.图中：1、底座；2、操作台；3、支撑柱；4、支撑腿；5、容纳槽；6、移动杆；7、夹持杆；8、电动伸缩杆一；9、固定筒；10、吸盘；11、支撑板；12、t形螺纹；13、内螺纹筒一；14、支撑座；15、滑套；16、滑杆；17、齿轮一；18、电机一；19、转动杆；20、齿轮二；21、套杆；22、开槽；23、锥形齿轮一；24、支撑轴；25、锥形齿轮二；26、电动伸缩杆二；27、双向丝杆；28、内螺纹块；29、卡杆；30、卡槽；31、活动槽；32、活动块；33、弹簧一；34、通槽；35、活动槽；36、伸缩筒；37、隔板；38、电动推杆；39、活塞杆；40、拉杆；41、弹簧二；42、通气孔；43、高度调节杆；44、推块；45、安装座；46、摆动杆；47、转轴；48、推杆；49、螺纹块；50、内螺纹筒二；51、卡座；52、插槽；53、固定环；54、卡接槽；55、稳定环；56、插接杆；57、弹簧三。
具体实施方式
32.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.实施例一，由图1至图7给出，本发明包括底座1，底座1的上方设有操作台2，操作台2的上方设有试验试样件传送装置和打包箱，这里需要注意的是，试验试样件传送装置为传统的皮带输送装置，试验试样件传送装置为现有技术，此处未详细记载，操作台2的一侧连接有支撑柱3，操作台2和支撑柱3的底端均设有与底座1连接的支撑腿4，支撑柱3的内部开设有容纳槽5，支撑柱3的一侧顶端设有位于操作台2上方的移动杆6，移动杆6的底端对称设有夹持杆7，两个夹持杆7之间通过距离调节组连接，移动杆6的底端设有位于两个夹持杆7之间的吸附连接机构，容纳槽5的内部设有与移动杆6连接的高度调节机构；
34.高度调节机构包括支撑板11、固定腿、t形螺纹12、内螺纹筒一13、支撑座14、滑套15、滑杆16、电动伸缩杆二26、驱动器和传动单元，支撑板11安装于容纳槽5的内底部，支撑板11的底端设有固定腿，支撑板11的顶端转动连接有t形螺纹12，t形螺纹12的外部螺纹连接有内螺纹筒一13，支撑板11的顶端设有滑杆16，内螺纹筒一13的一侧设有与滑杆16滑动
连接的滑套15，t形螺纹12上套设有齿轮一17，内螺纹筒一13的顶端设有支撑座14，支撑座14的顶端设有电动伸缩杆二26，电动伸缩杆二26的输出端与移动杆6的一侧顶端连接，支撑板11的顶端设有与齿轮一17和距离调节组连接的驱动器，支撑板11上设有传动单元，支撑柱3靠近操作台2的一侧开设有开槽22，电动伸缩杆二26的输出端贯穿于开槽22的内部；
35.通过传动单元和驱动器，实现齿轮一17转动，齿轮一17带动t形螺纹12旋转，通过t形螺纹12与内螺纹筒一13的螺纹连接关系以及滑套15与滑杆16的滑动关系，可以使内螺纹筒一13在t形螺纹12的外部高度调节，进而内螺纹筒一13通过支撑座14带动电动伸缩杆二26上移，进而使电动伸缩杆二26带动移动杆6高度调节，移动杆6会带动夹持杆7和吸附连接机构进行高度调节，进而使夹持杆7下移至试验试样件传送装置上，并配合距离调节组的设计，便于对试验试样件进行夹持，进而启动电动伸缩杆二26，使电动伸缩杆二26带动移动杆6水平移动，进而移动杆6会通过夹持杆7带动试验试样件平移，进而将试验试样件移动至打包箱上，进而便于使试验试样件打包在打包箱中，进而完成试验试样件的自动化运输打包过程。
36.实施例二，在实施例一的基础上，由图2、图3和图4给出，驱动器包括电机一18、转动杆19、齿轮二20、套杆21和锥形齿轮一23，支撑板11的顶端设有电机一18，电机一18的输出轴连接有转动杆19，转动杆19的外部卡接套有套杆21，套杆21的顶端设有锥形齿轮一23，转动杆19上设有与齿轮一17啮合连接的齿轮二20，这里需要注意的是，套杆21与转动杆19之间通过弹簧弹性连接，此处的弹簧为压缩弹簧，进而弹簧的初始状态为伸展状态，电机一18的底端设有活动块32，支撑板11的顶端开设有与活动块32滑动连接的活动槽31，活动块32的一侧设有与活动槽31侧壁连接的弹簧一33；
37.通过启动电机一18，使电机一18带动转动杆19旋转，转动杆19带动齿轮二20旋转，同时转动杆19会带动套杆21旋转，套杆21带动锥形齿轮一23旋转，当需要移动杆6进行高度调节时，则通过传动单元使齿轮二20与齿轮一17啮合，进而方便移动杆6带动夹持杆7进行升降过程，当需要调节两个夹持杆7的间距时，则则使锥形齿轮一23与锥形齿轮二25啮合，进而方便控制两个夹持杆7的间距，进而方便使夹持杆7对试验试样件进行夹持工作，为试验试样件的传送提高了稳定性。
38.实施例三，在实施例一的基础上，由图2、图3和图4给出，距离调节组包括支撑轴24、锥形齿轮二25、双向丝杆27、内螺纹块28和活动槽35，支撑座14的一侧转动连接有支撑轴24，支撑轴24的外部设有与锥形齿轮一23啮合连接的锥形齿轮二25，支撑轴24的一端套设有安装于移动杆6内部的双向丝杆27，双向丝杆27上对称螺纹连接有内螺纹块28，内螺纹块28安装于夹持杆7的顶端，移动杆6的底端对称开设有与夹持杆7滑动连接的活动槽35，内螺纹块28的顶端对称设有卡杆29，移动杆6的内壁设有与卡杆29滑动连接的卡槽30；
39.当锥形齿轮一23与锥形齿轮二25啮合连接时，由于电机一18带动转动杆19旋转，转动杆19带动套杆21转动，套杆21带动锥形齿轮一23转动，锥形齿轮一23带动锥形齿轮二25旋转，进而锥形齿轮二25带动支撑轴24旋转，通过支撑轴24与双向丝杆27的转动连接关系，实现双向丝杆27的旋转，通过双向丝杆27与内螺纹块28的螺纹连接关系以及配合卡杆29与卡槽30的滑动关系，可以使两个内螺纹块28相互靠近或者相互远离，并使内螺纹块28带动夹持杆7在活动槽35上滑动，便于调节夹持杆7的间距，进而方便夹持杆7对试验试样件夹持工作，有效的为试验试样件的打包传送提高了稳定性。
40.实施例四，在实施例一的基础上，由图1、图2、图3、图6和图7给出，传动单元包括通槽34、高度调节杆43、推块44、安装座45、摆动杆46、转轴47、推杆48、螺纹块49、内螺纹筒二50和锁紧件，支撑板11上开设有通槽34，通槽34的内部穿插有高度调节杆43，高度调节杆43的顶端设有位于电机一18和t形螺纹12之间的推块44，高度调节杆43的底端设有安装座45，安装座45的底端开设有插槽52，容纳槽5的内底端设有穿插于插槽52内部的卡座51，安装座45的一侧转动连接有摆动杆46，摆动杆46的中间位置通过转轴47与容纳槽5内壁连接，摆动杆46的一端转动连接有推杆48，推杆48的底端设有螺纹块49，螺纹块49的外部螺纹连接有位于支撑柱3下方的内螺纹筒二50，内螺纹筒二50上设有锁紧件，锁紧件包括固定环53、卡接槽54、稳定环55、插接杆56和弹簧三57，内螺纹筒二50的外部设有固定环53，固定环53上等距离开设有卡接槽54，支撑柱3的下方设有套设于固定环53外部的稳定环55，稳定环55的两侧活动穿插有与卡接槽54卡接的插接杆56，插接杆56上套设有位于稳定环55内部的弹簧三57；
41.先抽拉插接杆56，使插接杆56与卡接槽54脱离连接，进而会使弹簧三57压缩，接着旋转内螺纹筒二50，通过内螺纹筒二50与螺纹块49的螺纹连接关系以及转轴47与摆动杆46的连接关系，可以使推杆48升降，进而推杆48带动摆动杆46围绕转轴47转动，进而摆动杆46带动安装座45在卡座51上高度调节，进而安装座45带动高度调节杆43高度调节，高度调节杆43推动推块44高度调节，当推块44上移时，使推块44移动至t形螺纹12和转动杆19之间，进而会松开对电机一18的止挡，在弹簧一33的作用力下会推动活动块32在活动槽31中滑动，进而活动块32带动电机一18向t形螺纹12靠近，并使齿轮二20与齿轮一17啮合，进而方便后期移动杆6的升降工作，当使高度调节杆43带动推块44下移时，使位于t形螺纹12和转动杆19之间的推块44移动至t形螺纹12和电机一18之间，进而增大电机一18与t形螺纹12的间距，进而会使弹簧一33压缩，并使转动杆19通过套杆21带动锥形齿轮一23移动，并使锥形齿轮一23与锥形齿轮二25啮合，进而为夹持杆7的间距调节带来方便，进而为了提高推块44的高度稳定性，松开插接杆56，使插接杆56插接在卡接槽54中，进而使稳定环55对固定环53进行固定，实现内螺纹筒二50的紧固，进而实现推块44高度固定，进而为夹持杆7的间距以及移动杆6的高度提高稳定性。
42.实施例五，在实施例一的基础上，由图1、图2、图3和图5给出，吸附连接机构包括电动伸缩杆一8、固定筒9、吸盘10、伸缩筒36、隔板37、电动推杆38、活塞杆39和通气孔42，电动伸缩杆一8安装于移动杆6的底端中间位置，电动伸缩杆一8的下方设有固定筒9，固定筒9的内部中间位置设有隔板37，电动伸缩杆一8的输出轴贯穿固定筒9和隔板37并与吸盘10连接，吸盘10的底端等距离开设有通气孔42，伸缩筒36的内部顶端设有电动推杆38，电动推杆38的输出轴连接有活塞杆39，固定筒9的两侧对称穿插有与夹持杆7连接的拉杆40，拉杆40上套设有位于固定筒9内部的弹簧二41；
43.启动电动推杆38，使电动推杆38推动活塞杆39，使伸缩筒36内部的气体通过吸盘10排出，接着使夹持杆7下移至试验试样件底部并控制夹持杆7的间距，同时会使夹持杆7带动拉杆40在固定筒9中活动，为了增大对试验试样件的夹持稳定性，接着启动电动伸缩杆一8，使电动伸缩杆一8带动伸缩筒36在固定筒9中下移，并使吸盘10下移，进而使吸盘10移动至试验试样件的顶面，接着启动电动推杆38带动活塞杆39上移，进而由于伸缩筒36为负压装置，进而提高了吸盘10对试验试样件的吸附，有效的提高了对试验试样件的夹持稳定性。
44.工作原理：工作时，工作人员将打包箱放置于操作台2的顶端，先抽拉插接杆56，使插接杆56与卡接槽54脱离连接，进而会使弹簧三57压缩，接着旋转内螺纹筒二50，通过内螺纹筒二50与螺纹块49的螺纹连接关系以及转轴47与摆动杆46的连接关系，可以使推杆48升降，进而推杆48带动摆动杆46围绕转轴47转动，进而摆动杆46带动安装座45在卡座51上向上移动，并使安装座45带动高度调节杆43上移，高度调节杆43推动推块44上移，当推块44上移时，使推块44移动至t形螺纹12和转动杆19之间，进而会松开对电机一18的止挡，在弹簧一33的作用力下会推动活动块32在活动槽31中滑动，进而活动块32带动电机一18向t形螺纹12靠近，并使齿轮二20与齿轮一17啮合，并松开插接杆56，使插接杆56插接在卡接槽54中，进而使稳定环55对固定环53进行固定，实现内螺纹筒二50的紧固，进而实现推块44高度固定，通过启动电机一18，使电机一18带动转动杆19旋转，转动杆19带动齿轮二20旋转，通过齿轮二20与齿轮一17的啮合，实现齿轮一17转动，齿轮一17带动t形螺纹12旋转，通过t形螺纹12与内螺纹筒一13的螺纹连接关系以及滑套15与滑杆16的滑动关系，可以使内螺纹筒一13在t形螺纹12的外部高度调节，进而内螺纹筒一13通过支撑座14带动电动伸缩杆二26上移，进而使电动伸缩杆二26带动移动杆6高度调节，并使移动杆6带动夹持杆7下移至试验试样件传送装置上，接着试验试样件传送装置对试验试样件进行传输，当试验试样件移动至打包箱一侧时，则使试验试样件传送装置停止动作，进而来调节夹持杆7的间距；
45.先使插接杆56与卡接槽54脱离连接，进而反向转动内螺纹筒二50，进而可以使推块44下移，推块44移动至电机一18和t形螺纹12之间，增大了电机一18与t形螺纹12的间距，进而会使弹簧一33压缩，同时电机一18会带动转动杆19平移，并使齿轮二20与齿轮一17脱离连接，同时转动杆19带动套杆21和锥形齿轮一23平移，并使锥形齿轮一23与锥形齿轮二25啮合，接着使插接杆56与卡接槽54卡接，进而通过启动电机一18，通过转动杆19和套杆21的连接关系实现锥形齿轮一23的转动，进而使锥形齿轮二25带动锥形齿轮一23旋转，锥形齿轮一23带动双向丝杆27旋转，通过双向丝杆27与内螺纹块28的螺纹连接关系以及配合卡杆29与卡槽30的滑动关系，可以使两个内螺纹块28相互靠近或者相互远离，并使内螺纹块28带动夹持杆7在活动槽35上滑动，便于调节夹持杆7的间距，进而方便夹持杆7对试验试样件进行夹持工作，为了提高对试验试样件的夹持稳定性，启动电动推杆38，使电动推杆38推动活塞杆39，使伸缩筒36内部的气体通过吸盘10排出，接着使夹持杆7下移至试验试样件底部并控制夹持杆7的间距，同时会使夹持杆7带动拉杆40在固定筒9中活动，为了增大对试验试样件的夹持稳定性，接着启动电动伸缩杆一8，使电动伸缩杆一8带动伸缩筒36在固定筒9中下移，并使吸盘10下移，进而使吸盘10移动至试验试样件的顶面，接着启动电动推杆38带动活塞杆39上移，进而由于伸缩筒36为负压装置，进而提高了吸盘10对试验试样件的吸附，有效的提高了对试验试样件的夹持稳定性，进而通过启动电动伸缩杆二26，使移动杆6通过夹持杆7带动试验试样件平移，进而方便使试验试样件移动至打包箱中，完成对试验试样件的打包操作。
46.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备
所固有的要素。
47.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。