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用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具

2022-04-30 02:54:39 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上方设有操作台(2),操作台(2)的上方设有试验试样件传送装置和打包箱,操作台(2)的一侧连接有支撑柱(3),操作台(2)和支撑柱(3)的底端均设有与底座(1)连接的支撑腿(4),支撑柱(3)的内部开设有容纳槽(5),支撑柱(3)的一侧顶端设有位于操作台(2)上方的移动杆(6),移动杆(6)的底端对称设有夹持杆(7),两个夹持杆(7)之间通过距离调节组连接,移动杆(6)的底端设有位于两个夹持杆(7)之间的吸附连接机构,容纳槽(5)的内部设有与移动杆(6)连接的高度调节机构;高度调节机构包括支撑板(11)、固定腿、t形螺纹(12)、内螺纹筒一(13)、支撑座(14)、滑套(15)、滑杆(16)、电动伸缩杆二(26)、驱动器和传动单元,支撑板(11)安装于容纳槽(5)的内底部,支撑板(11)的底端设有固定腿,支撑板(11)的顶端转动连接有t形螺纹(12),t形螺纹(12)的外部螺纹连接有内螺纹筒一(13),支撑板(11)的顶端设有滑杆(16),内螺纹筒一(13)的一侧设有与滑杆(16)滑动连接的滑套(15),t形螺纹(12)上套设有齿轮一(17),内螺纹筒一(13)的顶端设有支撑座(14),支撑座(14)的顶端设有电动伸缩杆二(26),电动伸缩杆二(26)的输出端与移动杆(6)的一侧顶端连接,支撑板(11)的顶端设有与齿轮一(17)和距离调节组连接的驱动器,支撑板(11)上设有传动单元。2.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述支撑柱(3)靠近操作台(2)的一侧开设有开槽(22),电动伸缩杆二(26)的输出端贯穿于开槽(22)的内部。3.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述驱动器包括电机一(18)、转动杆(19)、齿轮二(20)、套杆(21)和锥形齿轮一(23),支撑板(11)的顶端设有电机一(18),电机一(18)的输出轴连接有转动杆(19),转动杆(19)的外部卡接套有套杆(21),套杆(21)的顶端设有锥形齿轮一(23),转动杆(19)上设有与齿轮一(17)啮合连接的齿轮二(20)。4.根据权利要求3所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述电机一(18)的底端设有活动块(32),支撑板(11)的顶端开设有与活动块(32)滑动连接的活动槽(31),活动块(32)的一侧设有与活动槽(31)侧壁连接的弹簧一(33)。5.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述距离调节组包括支撑轴(24)、锥形齿轮二(25)、双向丝杆(27)、内螺纹块(28)和活动槽(35),支撑座(14)的一侧转动连接有支撑轴(24),支撑轴(24)的外部设有与锥形齿轮一(23)啮合连接的锥形齿轮二(25),支撑轴(24)的一端套设有安装于移动杆(6)内部的双向丝杆(27),双向丝杆(27)上对称螺纹连接有内螺纹块(28),内螺纹块(28)安装于夹持杆(7)的顶端,移动杆(6)的底端对称开设有与夹持杆(7)滑动连接的活动槽(35)。6.根据权利要求5所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述内螺纹块(28)的顶端对称设有卡杆(29),移动杆(6)的内壁设有与卡杆(29)滑动连接的卡槽(30)。7.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述传动单元包括通槽(34)、高度调节杆(43)、推块(44)、安装座(45)、摆动杆(46)、转轴(47)、推杆(48)、螺纹块(49)、内螺纹筒二(50)和锁紧件,支撑板(11)上开设有通槽(34),通槽(34)的内部穿插有高度调节杆(43),高度调节杆(43)的顶端设有位于电机一(18)和t形
螺纹(12)之间的推块(44),高度调节杆(43)的底端设有安装座(45),安装座(45)的底端开设有插槽(52),容纳槽(5)的内底端设有穿插于插槽(52)内部的卡座(51),安装座(45)的一侧转动连接有摆动杆(46),摆动杆(46)的中间位置通过转轴(47)与容纳槽(5)内壁连接,摆动杆(46)的一端转动连接有推杆(48),推杆(48)的底端设有螺纹块(49),螺纹块(49)的外部螺纹连接有位于支撑柱(3)下方的内螺纹筒二(50),内螺纹筒二(50)上设有锁紧件。8.根据权利要求7所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述锁紧件包括固定环(53)、卡接槽(54)、稳定环(55)、插接杆(56)和弹簧三(57),内螺纹筒二(50)的外部设有固定环(53),固定环(53)上等距离开设有卡接槽(54),支撑柱(3)的下方设有套设于固定环(53)外部的稳定环(55),稳定环(55)的两侧活动穿插有与卡接槽(54)卡接的插接杆(56),插接杆(56)上套设有位于稳定环(55)内部的弹簧三(57)。9.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述吸附连接机构包括电动伸缩杆一(8)、固定筒(9)、吸盘(10)、伸缩筒(36)、隔板(37)、电动推杆(38)、活塞杆(39)和通气孔(42),电动伸缩杆一(8)安装于移动杆(6)的底端中间位置,电动伸缩杆一(8)的下方设有固定筒(9),固定筒(9)的内部中间位置设有隔板(37),电动伸缩杆一(8)的输出轴贯穿固定筒(9)和隔板(37)并与吸盘(10)连接,吸盘(10)的底端等距离开设有通气孔(42),伸缩筒(36)的内部顶端设有电动推杆(38),电动推杆(38)的输出轴连接有活塞杆(39)。10.根据权利要求9所述的用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其特征在于:所述固定筒(9)的两侧对称穿插有与夹持杆(7)连接的拉杆(40),拉杆(40)上套设有位于固定筒(9)内部的弹簧二(41)。

技术总结
本发明涉及集成电路粒子技术领域,且公开了用于半导体集成电路粒子碰撞噪声试验的夹具,其包括底座,所述底座的上方设有操作台,操作台的上方设有试验试样件传送装置和打包箱,操作台的一侧连接有支撑柱,操作台和支撑柱的底端均设有与底座连接的支撑腿,支撑柱的内部开设有容纳槽,支撑柱的一侧顶端设有位于操作台上方的移动杆;通过配合吸附连接机构的设计,实现对试验试样件的吸附,进而提高了试验试样件的夹持稳定性,可以避免试验试样件在打包过程中掉落而缩短试验试样件使用寿命,进而实现对试验试样件保护,同时提高了试验试样件的打包效率,并降低了劳动力投入。并降低了劳动力投入。并降低了劳动力投入。


技术研发人员:倪天明 杨滔 聂牧 姚亮 卞景昌
受保护的技术使用者:安徽工程大学
技术研发日:2021.09.29
技术公布日:2022/4/29
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