吹扫干燥装置和吹扫干燥系统的制作方法

1.本发明涉及待干燥部件干燥技术领域，尤其是涉及一种吹扫干燥装置和一种吹扫干燥系统。


背景技术：

2.目前，cvd(chemical vapor deposition)成膜工艺是整个集成电路产业和面板产业的基础，直接决定半导体器件的性能和可靠性。例如，在高温下，将真空设备的腔体抽至真空状态时，通入反应气体，将高频电源施加在上部电极（又称扩散器）上形成电场，在电场作用下反应气体电离形成具有很强化学活性的等离子(整体呈电中性)，下部电极及加热基座提供温度并承载玻璃基板，等离子体通过电场作用，在玻璃基板上结合形成所需要的半导体薄膜。在化学气相沉积装置中，扩散器具有将气体均匀扩散在玻璃基板上的扩散作用，同时还起到等离子体电极作用。
3.在实际生产中，扩散器长时间使用后性能下降，容易产生微粒，从而造成产品品质下降，因此需要进行清洗维修。然而，现有的清洗维修方式存在烘烤时间很长（通常大于5小时）、能耗高、人工吹扫劳动强度大，生产效率低等问题。


技术实现要素：

4.针对以上现有技术中存在的至少一个问题，本发明的一个目的是提供一种吹扫干燥装置，该吹扫干燥装置能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，以缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
5.为了实现上述目的，本发明提供一种吹扫干燥装置，该吹扫干燥装置包括支撑台板和支撑侧壁，所述支撑台板用于铺设在框架上，所述支撑台板包括在台板厚度方向上相对布置的上侧板面和下侧板面；所述支撑侧壁设置在所述上侧板面上并围住所述支撑台板的至少一部分板区，所述支撑侧壁和所述至少一部分板区围成气腔，所述支撑侧壁的上部敞开以形成所述气腔的出气口，所述支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在所述支撑侧壁上的所述待干燥部件能够封盖住所述出气口，其中，所述气腔的腔壁上设置有与所述气腔连通的进气结构。
6.在该技术方案中，由于支撑侧壁和至少一部分板区围成气腔，并且支撑侧壁的上部敞开以形成气腔的出气口，同时支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在支撑侧壁上的待干燥部件能够封盖住出气口，这样，该吹扫干燥装置在实际使用中，可以将支撑台板铺设在框架上，将待干燥部件例如扩散器或其他部件等支撑在支撑侧壁上，此时待干燥部件将封盖住出气口以使得气腔形成为密闭空间，这样就可以对待干燥部件进行稳定可靠的支撑，此时，加热的压缩气体可以通过进气结构通入到密闭空间内，进入到密闭空间内的加热的压缩气体将在压力作用下快速流入到待干燥部件的内部并快速流动，以给待干燥部件快速升温进行干燥的同时进行吹扫作业，例如加热的压缩气体快速流过扩散器的气孔以给扩散器快速升温进行干燥的同时对扩散器的气孔进行吹扫作业。这样，该吹扫干燥装
置能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，从而有效缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
7.在本发明的一个实施方式中，所述进气结构设置在所述至少一部分板区上。
8.在本发明的一个实施方式中，所述进气结构包括进气罩和多个进气孔，其中，所述进气罩设置在所述下侧板面上以在所述进气罩和所述下侧板面之间围成进气空间，多个所述进气孔贯穿所述至少一部分板区的台板厚度并位于所述进气空间内，所述进气罩设置有与所述进气空间连通的进气管。
9.在本发明的一个实施方式中，多个所述进气孔以预定间距多行多列布置，所述进气罩为与行数或列数相同的多个，其中，每个所述进气罩罩住各自对应的每一行所述进气孔或每一列所述进气孔。
10.在本发明的一个实施方式中，所述至少一部分板区的上侧板面上活动地设置有调节盖板，所述调节盖板能够调节至少一个所述进气孔的孔口大小。
11.在本发明的一个实施方式中，所述调节盖板上形成有多个调节孔，每个所述调节孔对应每个所述进气孔布置，所述调节盖板活动时能够调整所述调节孔和所述进气孔的重叠面积，以同时调整多个所述进气孔的孔口大小。
12.在本发明的一个实施方式中，所述支撑侧壁能够在所述上侧板面上调整到设定位置以调节所述至少一部分板区的区域面积。
13.在本发明的一个实施方式中，所述上侧板面上设置有多个在从所述上侧板面的中心向外的方向上间隔布置的定位孔，所述支撑侧壁能够分别定位到各个所述定位孔以调整到所述设定位置。
14.在本发明的一个实施方式中，所述支撑侧壁包括环形支撑侧壁和中间支撑侧壁，所述中间支撑侧壁位于所述环形支撑侧壁围成的圈内，以在所述至少一部分板区上形成多个相互隔离的所述气腔，每个所述气腔设置有各自的所述进气结构。
15.在本发明的一个实施方式中，所述中间支撑侧壁能够调整位置以调节各个所述气腔的大小。
16.在本发明的一个实施方式中，所述吹扫干燥装置包括框架，其中，所述支撑台板铺设在所述框架上。
17.此外，本发明提供一种吹扫干燥系统，包括加热器、加热控制器和以上任意所述的吹扫干燥装置，其中，所述加热器包括进气端和出气端，所述加热控制器能够控制所述加热器，所述吹扫干燥装置的进气结构和所述出气端连通。
18.这样，如上所述的，在实际使用中，可以将待干燥部件例如扩散器或其他部件等支撑在支撑侧壁上，此时待干燥部件将封盖住出气口以使得气腔形成为密闭空间，这样就可以对待干燥部件进行稳定可靠的支撑，此时，加热控制器控制加热器加热的压缩气体可以通过进气结构通入到密闭空间内，进入到密闭空间内的加热的压缩气体将在压力作用下快速流入到待干燥部件的内部并快速流动，以给待干燥部件快速升温进行干燥的同时进行吹扫作业，例如加热的压缩气体快速流过扩散器的气孔以给扩散器快速升温进行干燥的同时对扩散器的气孔进行吹扫作业。这样，该吹扫干燥系统能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，从而有效缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
19.显而易见，在以上单个实施方式中描述的元件或特征可以在其它实施方式中单独
或组合使用。
附图说明
20.在附图中，尺寸和比例不代表实际产品的尺寸和比例。附图仅仅是说明性的，并且为了清楚起见，省略了某些非必要的元件或特征。
21.图1是示例性地示出根据本发明的一种实施方式的吹扫干燥装置的俯视视角的立体结构示意图。
22.图2是图1的吹扫干燥装置的俯视结构示意图。
23.图3是图1的吹扫干燥装置的仰视视角的立体结构示意图。
24.图4是图1的吹扫干燥装置的仰视结构示意图。
25.图5是图1的吹扫干燥装置的侧视结构示意图。
26.图6是示例性地示出根据本发明的另一种实施方式的吹扫干燥装置中调节进气孔的孔口大小的示意图。
27.图7是示例性地示出根据本发明的再一种实施方式的吹扫干燥装置的俯视结构示意图。
28.图8是示例性地示出根据本发明的一种实施方式的吹扫干燥系统的简易示意图。
29.附图标记说明1-支撑台板，2-框架，3-上侧板面，4-下侧板面，5-至少一部分板区，6-气腔，7-进气罩，8-进气孔，9-进气管，10-调节盖板，11-调节孔，12-环形支撑侧壁，13-中间支撑侧壁，14-加热器，15-加热控制器，16-吹扫干燥装置，17-支撑台阶，18-调压阀，19-进气阀，20-控制阀。
具体实施方式
30.接下来将参照附图详细描述本发明的弹性模块及弹性垫。这里所描述的仅仅是根据本发明的优选实施方式，本领域技术人员可以在所述优选实施方式的基础上想到能够实现本发明的其他方式，所述其他方式同样落入本发明的范围。
31.图1示例性地示出了根据本发明的一种实施方式的吹扫干燥装置，图7示例性地示出了根据本发明的另一种实施方式的吹扫干燥装置。参考图1-图6和图7，本发明提供的吹扫干燥装置包括支撑台板1和支撑侧壁，其中，支撑台板1用于铺设在框架2上，在此需要说明的是，“用于铺设在框架2上”在此用于说明支撑台板1的用途，也就是，吹扫干燥装置可以作为一个独立产品，此时，该独立产品可以不包括框架2，而在实际使用中，支撑台板1将铺设在框架2上，同时，支撑台板1包括在台板厚度方向上相对布置的上侧板面3和下侧板面4；支撑侧壁设置在上侧板面3上并围住支撑台板1的至少一部分板区5，支撑侧壁和至少一部分板区5围成气腔6，支撑侧壁的上部敞开以形成气腔6的出气口，支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在支撑侧壁上的待干燥部件能够封盖住出气口，其中，气腔6的腔壁上设置有与气腔6连通的进气结构，也就是，进气结构可以设置在气气腔6的支撑侧壁上，或者可以设置在气腔6的底壁（也就是至少一部分板区5）上。
32.在该吹扫干燥装置中，由于支撑侧壁和至少一部分板区5围成气腔6，并且支撑侧壁的上部敞开以形成气腔6的出气口，同时支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支
撑在支撑侧壁上的待干燥部件能够封盖住出气口，这样，该吹扫干燥装置在实际使用中，可以将支撑台板1铺设在框架2上，将待干燥部件例如扩散器或其他部件等支撑在支撑侧壁上，此时待干燥部件将封盖住出气口以使得气腔形成为密闭空间，这样就可以对待干燥部件进行稳定可靠的支撑，此时，加热的压缩气体可以通过进气结构通入到密闭空间内，进入到密闭空间内的加热的压缩气体将在压力作用下快速流入到待干燥部件的内部并快速流动，以给待干燥部件快速升温进行干燥的同时进行吹扫作业，例如加热的压缩气体快速流过扩散器的气孔以给扩散器快速升温进行干燥的同时对扩散器的气孔进行吹扫作业。这样，该吹扫干燥装置能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，从而有效缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
33.如上所述的，进气结构可以设置在气腔6的腔壁的任何位置处。例如，一种实施方式中，参考图1-图5，进气结构设置在气腔6的底壁上也就是至少一部分板区5上。这样，设置在至少一部分板区5上的进气结构可以和气腔6的出气口相对布置，使得从进气结构进入到密闭空间内的加热的压缩气体可以直接吹到待干燥部件，从而进一步缩短烘干时间。
34.另外，在该吹扫干燥装置中，进气结构可以包括多种类型，不论进气结构采用何种类型，只要能够设置在至少一部分板区5上并能够将加热的压缩气体送入到气腔6即可。例如，进气结构的一种类型中，进气结构包括进气管，该进气管可以直接穿过至少一部分板区5伸入到气腔6内。或者，进气结构的另一种类型中，参考图1-图7，进气结构包括进气罩7和多个进气孔8，其中，进气罩7设置在下侧板面4上以在进气罩7和下侧板面4之间围成进气空间，多个进气孔8贯穿至少一部分板区5的台板厚度并位于进气空间内，进气罩7设置有与进气空间连通的进气管9。这样，加热的压缩气体可以从进气管9进入到进气空间内，然后在整个进气空间内从多个进气孔8进入到气腔6内并直接吹向罩在出气口上的待干燥部件。
35.另外，多个进气孔8可以非规则地布置，或者，多个进气孔8可以规则地布置，例如，多个进气孔8可以形成为多圈进气孔。或者，参考图1，图2和图7，多个进气孔8以预定间距多行多列布置，行间距和列间距可以根据实际需求来选择任何所需的数值，例如，可以按照固定的预定间距开45个进气孔8，并以5行9列布置，行间距可以为40~60cm，列间距可以为40~50cm，进气孔8的直径可以为25.4mm或其他数值。进气罩7为与行数或列数相同的多个，其中，每个进气罩7罩住各自对应的每一行进气孔8或每一列进气孔8。例如，参考图3和图4，各个进气罩7罩住每一行进气孔8。这样，进气罩7就可以不用罩住行之间或列之间的部分，从而相应地缩小进气空间，以减少加热的压缩气体进入到进气空间的扩散性，以便于更快速地吹向出气口处的待干燥部件，提升干燥效率。
36.另外，参考图6，至少一部分板区5的上侧板面上活动地设置有调节盖板10，调节盖板能够调节至少一个进气孔8的孔口大小。这样，可以根据待干燥部件的类型，可以调整进气孔8的孔口大小，从而调整加热的压缩气体的进气量，例如，当需要大量的加热的压缩气体时，可以将进气孔8的孔口调大，以增大加热的压缩气体的进气量。
37.另外，调节盖板10可以转动或者移动设置。另外，可以在每个进气孔8处设置各自对应的调节盖板10。或者，调节盖板10上形成有多个调节孔11，每个调节孔11对应每个进气孔8布置，调节盖板10活动例如移动或转动时能够调整调节孔11和进气孔8的重叠面积，以同时调整多个进气孔8的孔口大小。也就是，一个调节盖板10可以同时调整多个进气孔8的孔口大小。例如，调节盖板10可以通过滑块和滑槽的配合而滑动设置在支撑台板1上，这样，
移动调节盖板10即可调整多个调节孔11和多个进气孔8的重叠面积，以同时调整多个进气孔8的孔口大小。
38.另外，本技术的吹扫干燥装置的一种实施方式中，支撑侧壁能够在上侧板面3上调整到设定位置以调节至少一部分板区5的区域面积。这样，可以根据待干燥部件的尺寸，来调整支撑侧壁在上侧板面3上的位置，从而以更好地支撑对应规格的待干燥部件，从而使得同一个吹扫干燥装置能够对不同尺寸大小的待干燥部件进行支撑烘干。
39.另外，可以通过多种方式来调整支撑侧壁的位置，例如，一种方式中，上侧板面3上设置有多个在从上侧板面3的中心向外的方向上间隔布置的定位孔，支撑侧壁能够分别定位到各个定位孔以调整到设定位置，这样，根据待干燥部件的尺寸，只需将支撑侧壁定位到各个位置对应的各个定位孔以固定即可。或者，另一种方式中，上侧板面3上设置有多个在从上侧板面3的中心向外的方向上间隔布置的可释放卡扣，而支撑侧壁则可以卡接到各个可释放卡扣处。支撑侧壁可以包括首尾连接的多段侧壁，在调整时，可以仅调整多段侧壁中的一个或两个，例如，四段侧壁围成长方形，调整时，可以仅调整宽度侧壁或长度侧壁。或者，支撑侧壁包括多个大小不同的环形侧壁，当需要调整时，只需将不同大小的环形侧壁设置在上侧板面3上即可。
40.另外，吹扫干燥装置的一种实施方式中，参考图7，支撑侧壁包括环形支撑侧壁12和中间支撑侧壁13，中间支撑侧壁13位于环形支撑侧壁12围成的圈内，以在至少一部分板区5上形成多个相互隔离的气腔，每个气腔设置有各自的进气结构。这样，可以根据待干燥部件的尺寸大小，将待干燥部件放置在其对应的气腔的出气口上，然后通过其对应的进气结构仅向其对应的气腔通入加热的压缩气体进气，而不用向其他气腔通入加热的压缩气体。也就是，这样设置的吹扫干燥装置可以同时对几个待干燥部件进行干燥吹扫，或者可以对不同尺寸大小的待干燥部件进行干燥吹扫。
41.中间支撑侧壁13可以具有多种形状，例如，中间支撑侧壁13可以为单个条状侧壁，或者可以为十字形侧壁，或者可以为y形侧壁，或者可以为直径小于环形支撑侧壁12的环形侧壁。环形侧壁的个数可以为1个或者可以为多个。
42.另外，中间支撑侧壁13能够调整位置以调节各个气腔的大小。这样，可以根据待干燥部件所需的气腔大小，调整中间支撑侧壁的位置以调整所需气腔的大小。例如，中间支撑侧壁13包括固定侧壁和摆动侧壁，摆动侧壁的一端和固定侧壁连接，这样，调整摆动侧壁的位置，即可调整各个气腔的大小。
43.另外，吹扫干燥装置的一种实施方式中，参考图1和图2，支撑侧壁的内侧形成有支撑台阶17，支撑台阶17配置为用于支撑待干燥部件。这样，待干燥部件的底部的一部分可以支撑在支撑台阶17上并位于支撑侧壁内，以使得支撑侧壁则可以对待干燥部件进行限位，从而提升待干燥部件支撑的可靠性和稳定性。
44.此外，如上所述的，吹扫干燥装置作为一种独立的产品，可以不包括框架2，而在使用中，可以将支撑台板1铺设在框架2上。或者，可选择的实施方式中，参考图1，吹扫干燥装置包括框架2，其中，支撑台板1铺设在框架2上。此时，在使用中，只需将待干燥部件例如扩散器支撑在支撑侧壁上即可。
45.另外，参考图1，框架2可以设置有行走轮，这样，可以将该吹扫干燥装置推动到任何所需的位置处，提升了该吹扫干燥装置使用的便捷性。
46.另外，参考图3、图4和图5，框架2具有内部空间，而进气结构可以设置在支撑台板1并位于框架2的内部空间内。这样，框架2的内部空间可以对进气结构提供防护。
47.以下详细说明书图1-图5所示的吹扫干燥装置的具体实施例，如图所示，框架2具有内部空间，框架2的上部框形成有开口，支撑台板1铺设固定在上部框上，支撑台板1上形成有多行多列的进气孔8，支撑台板1上设置有环形支撑侧壁12，环形支撑侧壁12的内侧形成有支撑台阶17，支撑台板1的下侧板面4上设置有多个进气罩7，各个进气罩7罩住每行的多个进气孔8，每个进气罩7设置有进气管9。这样，在实际使用中，可以将待干燥部件例如扩散器支撑在环形支撑侧壁12上，并让待干燥部件的底部的一部分支撑在支撑台阶17上以封盖出气口，使得气腔形成为密闭空间，此时，支撑台阶17可以对待干燥部件提供横向方向的限位，提升待干燥部件例如扩散器支撑的可靠性和稳定性，然后加热的压缩气体例如压缩空气从进气管9进入到进气罩7，然后通过各行的各个进气孔8进入到密闭空间内，进入到密闭空间内的加热的压缩气体将在压力作用下快速流入到待干燥部件的内部并快速流动，以给待干燥部件快速升温进行干燥的同时进行吹扫作业，例如加热的压缩气体快速流过扩散器的气孔以给扩散器快速升温进行干燥的同时对扩散器的气孔进行吹扫作业。
48.最后，参考图8，本技术提供一种吹扫干燥系统，该吹扫干燥系统包括加热器14、加热控制器15和以上任意所述的吹扫干燥装置16，其中，加热器14包括进气端和出气端，加热控制器15能够控制加热器14以控制加热温度，进气结构和出气端连通。
49.这样，如上所述的，在实际使用中，可以将待干燥部件例如扩散器或其他部件等支撑在支撑侧壁上，此时待干燥部件将封盖住出气口以使得气腔形成为密闭空间，这样就可以对待干燥部件进行稳定可靠的支撑，此时，加热控制器控制加热器加热的压缩气体可以通过进气结构通入到密闭空间内，进入到密闭空间内的加热的压缩气体将在压力作用下快速流入到待干燥部件的内部并快速流动，以给待干燥部件快速升温进行干燥的同时进行吹扫作业，例如加热的压缩气体快速流过扩散器的气孔以给扩散器快速升温进行干燥的同时对扩散器的气孔进行吹扫作业。这样，该吹扫干燥系统能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，从而有效缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
50.另外，参考图8，该吹扫干燥系统可以包括控制阀20，控制阀20可以设置在进气管9上并位于吹扫干燥装置和加热器14之间以调节加热的压缩气体的进气流量，而加热器14的进气管路上可以设置调压阀18和进气阀19，进气阀19开启后，调压阀18可以调节进气压力。
51.这样，一种实际使用方法中，可以按照扩散器大小调节特氟龙材质的支撑侧壁位置，然后将扩散器吊装至支撑侧壁上，并将吹扫干燥装置16推入烘箱内；然后使用蝶阀（控制阀20的一种形式）将加热器14与进气管9连接；打开进气阀19，调节调压阀18压力至所需压力，例如0.3~0.7mpa；打开加热器14的电源开关，在加热控制器15上调节温度至所需温度，例如60~80℃；关闭烘箱门，烘箱开始加热，温度60~80℃，时间3~5h。这样，扩散器在烘箱进行烘干的同时进行扩散器吹扫，缩短作业时间，提高生产效率，减少人力吹扫烘干成本。
52.本发明的保护范围仅由权利要求限定。得益于本发明的教导，本领域技术人员容易认识到可将本发明所公开结构的替代结构作为可行的替代实施方式，并且可将本发明所公开的实施方式进行组合以产生新的实施方式，它们同样落入所附权利要求书的范围内。