原料气体供给系统和原料气体供给方法与流程

技术特征：
1.一种对处理装置供给原料气体的原料气体供给系统，所述原料气体是通过将固体原料气化来生成的，所述原料气体供给系统的特征在于，包括：将所述固体原料气化来生成所述原料气体的气化装置；送出机构，其从贮存有分散系的贮存容器向所述气化装置送出所述分散系，其中，所述分散系是在液体中分散所述固态原料而成的；和分离机构，其在所述气化装置内从所述分散系中分离出所述固体原料。2.如权利要求1所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述分离机构具有过滤器，所述过滤器形成有多个比所述固体原料小的孔且设置在所述气化装置内。3.如权利要求2所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述过滤器在剖面观察时形成为波形形状。4.如权利要求2或3所述的原料气体供给系统，其特征在于：在所述过滤器的上方，所述气化装置的壳体具有所述分散系的补充口，所述过滤器沿所述气化装置的壳体的侧壁的内周面设置，且该过滤器的上表面是随着去往径向外侧而下降的倾斜面。5.如权利要求4所述的原料气体供给系统，其特征在于：包括对所述壳体的侧壁进行加热的加热机构。6.如权利要求2～5中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述气化装置的壳体具有通向载气的供给源的载气导入口和通向所述处理装置的气体供给口，在所述壳体的隔着所述过滤器的两侧中的一侧设置有所述载气导入口，在另一侧设置有所述气体供给口。7.如权利要求1～6中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于，包括：对所述气化装置的所述分散系的补充口进行开闭的补充阀；和对所述补充阀的密封面供给流体来清洗该密封面的清洗机构。8.如权利要求1～7中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述气化装置暂时贮存所述分散系，所述分离机构使暂时贮存于所述气化装置中的所述分散系的分散介质蒸发来分离出所述固体原料。9.如权利要求8所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述气化装置具有多个收纳所述分散系的搁架。10.如权利要求9所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述搁架在上下方向上层叠。11.如权利要求10所述的原料气体供给系统，其特征在于：在上下方向上相邻的所述搁架以彼此向不同的方向伸出的方式形成。12.如权利要求10所述的原料气体供给系统，其特征在于：载气的流路呈螺旋状地形成，所述搁架沿所述流路排列。13.如权利要求1～12中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于：
所述送出机构从所述贮存容器向所述气化装置进行所述分散系的加压输送。14.如权利要求1～13中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述送出机构通过作用于所述分散系的重力来将该分散系送出。15.如权利要求1～14中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于，包括：彼此并排地连接的多个所述气化装置；和控制装置，其构成为能够输出控制信号，以使得在多个所述气化装置中的一部分气化装置为能够向所述处理装置供给原料气体的状态时，从所述贮存容器向其他所述气化装置送出所述分散系来在所述气化装置内从该分散系分离出所述固体原料。16.如权利要求1～15中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述分散系是以所述固体原料为分散质的悬浊液。17.如权利要求16所述的原料气体供给系统，其特征在于：包括对所述贮存容器内的所述悬浊液进行搅拌的搅拌装置。18.如权利要求1～15中任一项所述的原料气体供给系统，其特征在于：所述分散系是以所述固体原料为分散质的溶胶。19.一种对处理装置供给原料气体的原料气体供给方法，所述原料气体是通过将固体原料气化来生成的，该原料气体供给方法的特征在于，包括：从贮存有分散系的贮存容器向气化装置送出所述分散系的步骤，其中，所述分散系是在液体中分散所述固态原料而成的；在所述气化装置内，从所述分散系中分离出所述固体原料的步骤；在所述气化装置内，使分离出的所述固体原料气化来生成原料气体的步骤；和将所生成的原料气体供给到所述处理装置的步骤。

技术总结
本发明为一种对处理装置供给原料气体的原料气体供给系统，所述原料气体是通过将固体原料气化来生成的，所述原料气体供给系统包括：将所述固体原料气化来生成所述原料气体的气化装置；送出机构，其从贮存有分散系的贮存容器向所述气化装置送出所述分散系，其中，所述分散系是在液体中分散所述固态原料而成的；和分离机构，其在所述气化装置内从所述分散系中分离出所述固体原料。中分离出所述固体原料。中分离出所述固体原料。


技术研发人员：冈部庸之 大仓成幸 小森荣一
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2020.09.09
技术公布日：2022/4/22