一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备的制作方法

1.本发明涉及抛光垫安装技术领域，具体涉及一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备。


背景技术：

2.在cmp(chemical mechanical polishing，化学机械抛光)抛光设备的使用中，其中有一项必不可少的耗材为抛光垫。现有的cmp抛光设备在安装抛光垫时，其抛光垫通常通过手工粘合的方式进行安装固定，此方式虽然安装简单，但在更换安装抛光垫时，手工粘合时很容易造成抛光盘6与抛光垫5位置上的误差(如图1)，影响到抛光垫工作的性能，一定程度上影响了cmp抛光设备的抛光工作。


技术实现要素：

3.因此，本发明要解决的技术问题在于现有技术中在更换安装抛光垫时，手工粘合时很容易造成抛光盘与抛光垫位置上的误差，影响到抛光垫工作的性能，一定程度上影响了cmp抛光设备的抛光工作，从而提供一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备。
4.为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：
5.一种用于抛光垫安装的辅助工具，包括：
6.本体，呈板状结构；
7.限位结构，相对于所述本体垂直设置在所述本体的周边，所述限位结构与所述本体之间形成限位腔，适于限制抛光垫相对于所述本体发生移动。
8.进一步地，所述限位结构为板件和/或杆件。
9.进一步地，所述板件为弧形板，所述板件的凹面朝向所述本体的中心设置。
10.进一步地，所述板件包括多个，多个所述板件呈圆形阵列间隔设置。
11.进一步地，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括凹陷面，位于所述本体的侧面上，且所述凹陷面位于所述本体上相邻的两个所述限位结构之间，以使抛光垫放置在所述限位腔内时抛光垫的边缘伸出所述本体的边缘。
12.进一步地，所述凹陷面包括两个，两个所述凹陷面之间的夹角为180
°
。
13.进一步地，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括设置在所述本体的板面上的镂空孔。
14.进一步地，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括防磨贴纸，设置在所述限位腔的腔体的底部。
15.进一步地，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括聚四氟乙烯涂层，设置在本体及所述限位结构的表面。
16.本发明还提供一种抛光设备，包括上述所述的用于抛光垫安装的辅助工具。
17.本发明技术方案，具有如下优点：
18.本发明提供的用于抛光垫安装的辅助工具，当需要更换抛光垫时，可以将抛光垫
倒扣在限位腔中，随后撕开抛光垫粘胶面的衬纸，将抛光垫的本体安装至抛光盘上，在限位结构的作用下抛光垫无法移动，可以避免抛光盘与抛光垫位置上的误差，保证了抛光垫安装的准确性，使cmp抛光设备的抛光工作顺利进行。
附图说明
19.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为现有技术中抛光垫安装在抛光盘上后存在误差的示意图；
21.图2为本发明实施例中的用于抛光垫安装的辅助工具的整体结构示意图；
22.图3为图2的俯视图；
23.图4为图2的侧视图；
24.图5为本发明实施例中的用于抛光垫安装的辅助工具安装抛光垫时的示意图；
25.图6为图5的俯视图。
26.1、本体；
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2、限位结构；
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3、凹陷面；
27.4、镂空孔；
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5、抛光垫；
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6、抛光盘。
具体实施方式
28.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
32.图2为本发明实施例中的用于抛光垫安装的辅助工具的整体结构示意图；图3为图2的俯视图；图4为图2的侧视图；如图1、图2以及图3所示，本实施例提供一种用于抛光垫安装的辅助工具，包括：本体1，呈板状结构；例如，本体1可以为矩形板，也可以为圆形板，本体1的形状不作具体限制。限位结构2，相对于本体1垂直设置在本体1的周边，例如，限位结构2为板件和/或杆件。限位结构2与本体1之间形成限位腔，适于限制抛光垫5相对于本体1发生
移动。
33.本实施例提供的用于抛光垫安装的辅助工具，当需要更换抛光垫5时，可以将抛光垫5倒扣在限位腔中，随后撕开抛光垫5粘胶面的衬纸，将抛光垫5本体1安装至抛光盘6上，在限位结构2的作用下抛光垫5无法移动，可以避免抛光盘6与抛光垫5位置上的误差，保证了抛光垫5安装的准确性，使cmp抛光设备的抛光工作顺利进行。
34.例如，当限位结构2为板件是，板件为弧形板，板件的凹面朝向本体1的中心设置。并且，板件可以为单个整圈设置的环形板，也可以包括多个呈圆形阵列间隔设置的板件。其中，相邻的两个板件之间的间隔可以相同，也可以不同。例如，板件可以包括四个，每个弧形板的弧度与抛光垫5的尺寸相适配。
35.例如，当限位结构2为杆件时，多个杆件可以呈圆形阵列间隔设置在本体1的边缘，多个杆件围成的圆的大小与抛光垫5的尺寸相适配。
36.图5为本发明实施例中的用于抛光垫安装的辅助工具安装抛光垫时的示意图；图6为图5的俯视图，如图5与图6所示，其中，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括凹陷面3，位于本体1的侧面上，且凹陷面3位于本体1上相邻的两个限位结构2之间，以使抛光垫5放置在限位腔内时抛光垫5的边缘伸出本体1的边缘。例如，当本体1上包括四个弧形板时，凹陷面3可以设置在间隔较大的两个弧形板之间，该凹陷面3可以通过切削本体1的方式形成，切割所形成的凹陷面3可以为平面，也可以为曲面，可以根据实际情况进行设计。由于该凹陷面3的存在，当抛光垫5放置在限位腔内时，抛光垫5与凹陷面3对应的位置处，抛光面的边缘裸露在本体1外，可以便于对抛光垫5进行拿取。
37.优选的，凹陷面3包括两个，两个凹陷面3之间的夹角为180
°
。
38.其中，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括设置在本体1的板面上的镂空孔4。镂空孔4可以是圆形孔，也可以是矩形孔等等。其中，镂空孔4的数目以及尺寸可以根据本体1的尺寸设计。如此设置，可以减轻本体1的质量，并将限位腔的底部与外界的大气相连通，以达到平衡压强的效果。
39.其中，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括防磨贴纸，粘贴在限位腔的腔体的底部。例如，防磨贴纸可以为油纸。如此设置，可以避免抛光垫5直接与本体1接触，对本体1造成磨损，可以对本体1起到一定的保护作用。
40.其中，该用于抛光垫安装的辅助工具还包括聚四氟乙烯涂层，设置在本体1及限位结构2的表面。如此设置，可以增强本体1对化学药剂的抵抗性，防止腐蚀，延长本体1的使用寿命。
41.另一个实施例中还提供一种抛光设备，包括上述的用于抛光垫安装的辅助工具。
42.综上，本技术中的用于抛光垫安装的辅助工具，在cmp抛光设备需要安装抛光垫进行抛光工作时，操作人员可将抛光垫倒扣于该辅助工具上，随后撕开抛光垫粘胶面衬纸，再利用多点固定的方式将抛光垫安装至抛光盘上，保证了抛光垫安装的准确性，避免非必要的抛光性能的损坏及损耗。
43.本技术中的用于抛光垫安装的辅助工具，通过多处定位的设计，在将抛光垫准确安装至cmp抛光设备上时，通过顶层的镂空孔及侧边的多点定位设计，有效避免了因大气压导致抛光垫与抛光盘无法完全水平贴合的情况。通过表面聚四氟乙烯涂层及内表面粘有防磨贴纸的设计，有效避免了因化学反应造成的工艺不良及污染物的情况。
44.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。