一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，包括：本体，呈板状结构；限位结构，相对于所述本体垂直设置在所述本体的周边，所述限位结构与所述本体之间形成限位腔，适于限制抛光垫相对于所述本体发生移动。2.根据权利要求1所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，所述限位结构为板件和/或杆件。3.根据权利要求2所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，所述板件为弧形板，所述板件的凹面朝向所述本体的中心设置。4.根据权利要求3所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，所述板件包括多个，多个所述板件呈圆形阵列间隔设置。5.根据权利要求1-4中任一项所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，还包括凹陷面，位于所述本体的侧面上，且所述凹陷面位于所述本体上相邻的两个所述限位结构之间，以使抛光垫放置在所述限位腔内时抛光垫的边缘伸出所述本体的边缘。6.根据权利要求5所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，所述凹陷面包括两个，两个所述凹陷面之间的夹角为180
°
。7.根据权利要求1-4中任一项所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，还包括设置在所述本体的板面上的镂空孔。8.根据权利要求1-4中任一项所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，还包括防磨贴纸，设置在所述限位腔的腔体的底部。9.根据权利要求1-4中任一项所述的用于抛光垫安装的辅助工具，其特征在于，还包括聚四氟乙烯涂层，设置在本体及所述限位结构的表面。10.一种抛光设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的用于抛光垫安装的辅助工具。

技术总结
本发明涉及抛光垫安装技术领域，提供了一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备，该用于抛光垫安装的辅助工具，包括：本体，呈板状结构；限位结构，相对于所述本体垂直设置在所述本体的周边，所述限位结构与所述本体之间形成限位腔，适于限制抛光垫相对于所述本体发生移动。本发明提供的用于抛光垫安装的辅助工具，当需要更换抛光垫时，可以将抛光垫倒扣在限位腔中，随后撕开抛光垫粘胶面的衬纸，将抛光垫的本体安装至抛光盘上，在限位结构的作用下抛光垫无法移动，可以避免抛光盘与抛光垫位置上的误差，保证了抛光垫安装的准确性，使CMP抛光设备的抛光工作顺利进行。设备的抛光工作顺利进行。设备的抛光工作顺利进行。


技术研发人员：张宇哲 胡兴臣
受保护的技术使用者：北京烁科精微电子装备有限公司
技术研发日：2022.01.28
技术公布日：2022/4/12