一种变换角度的提升装置的制作方法

1.本实用新型涉及提升装置领域，更具体涉及一种变换角度的提升装置。


背景技术：

2.在半导体制造过程中，经常会遇见需要将工件从一个工序搬运至另一工序的情况。例如在晶圆干燥设备中，需要将清洗后的晶圆从清洗池中提升至干燥室内进行干燥，以干燥清洗后留存于晶圆表面的清洗液，来避免晶圆的表面留有水渍而影响晶圆的质量。在清洗池内清洗晶圆时，为了促进晶圆表面的清洁，需要将收容晶圆的花篮以一定角度倾斜放置。然而，在干燥室内干燥晶圆时，需要将花篮竖直放置以便将晶圆顶入干燥室内。由此需要提供提升装置，将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置，并在提升后变换角度得以将花篮竖直放置。
3.有鉴于此，有必要对现有技术中的提升装置予以改进，以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于公开一种变换角度的提升装置，得以解决背景技术中需要提供一种提升装置，将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置，并在提升后变换角度得以将花篮竖直放置的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了一种变换角度的提升装置，包括：
6.滑动载台，沿所述滑动载台作线性运动的第一滑块与第二滑块，所述第一滑块位于第二滑块的上方，以及两个分别安装于所述滑动载台两侧的支架，所述支架接近所述滑动载台的一侧形成滑动轨道；
7.所述第一滑块上固定设置第一握持部，所述第二滑块上活动铰接第二握持部，所述第二握持部的两侧分别固定设置用于在所述滑动轨道内滚动的滚轮；
8.其中，所述滑动轨道包括与所述滑动载台平行的平行轨道以及用于改变所述滚轮的运动方向的变角轨道。
9.作为本实用新型的进一步改进，还包括用于向上托持并固定所述滑动载台的安装座，所述安装座包括底板，所述底板自上而下包括托持面以及安装面；
10.其中，所述托持面用于托持所述滑动载台，所述安装面与水平面齐平，所述托持面与所述安装面形成夹角α。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述支架接近所述滑动载台的一侧凹陷形成沿滑动载台方向延伸且宽度相等的滑槽，所述滑槽的侧壁贴合设置引导块，所述引导块包括与所述滑槽的延伸方向平行且宽度相等的第一分段以及向与所述滑槽的贴合一侧逐渐收缩的第二分段，所述引导块与所述支架配合形成用于引导所述滚轮滚动方向的滑动轨道；
12.其中，所述第一分段与所述支架配合形成所述平行轨道，所述第二分段与所述支架配合形成所述变角轨道。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述第一分段的宽度与所述滚轮直径之和等于所
述滑槽的宽度，所述第二分段的收缩端形成夹角β，所述夹角β与所述夹角α相等。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述支架包括平行于所述滑动载台的平行段以及自所述平行段的顶端向远离于所述滑动载台方向偏离的倾斜段，所述支架对应于所述滑动载台的一侧凹陷形成与所述支架延伸方向一致且宽度恒定的滑动轨道。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述滑动轨道的宽度等于所述滚轮的直径，所述倾斜段偏离于所述平行段形成夹角γ，所述夹角γ与所述夹角α相等。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述滑动载台包括用于供所述第一滑块及所述第二滑块滑行的导轨以及第一驱动单元与第二驱动单元，所述第一驱动单元用于驱动第一滑块，所述第二驱动单元用于驱动第二滑块。
17.作为本实用新型的进一步改进所述第一驱动单元包括第一丝杠以及第一电机，所述第一电机与第一丝杠连接，所述第一丝杠连接于第一滑块用于驱动第一滑块沿所述导轨滑行；所述第二驱动单元包括第二电机以及第二丝杠，所述第二电机与第二丝杠连接，所述第二丝杠连接于第二滑块用于驱动第二滑块沿所述导轨滑行。
18.作为本实用新型的进一步改进，所述第一握持部固定握持第一执行杆，所述第一执行杆上固定用于向上顶起晶圆的顶块。
19.作为本实用新型的进一步改进，所述第二握持部固定握持第二执行杆，所述第二执行杆上固定用于支撑花篮的支撑座，所述支撑座上设置有若干用于固定花篮的固定块。
20.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
21.本技术中，通过设置滑动载台并在滑动载台上设置可沿滑动载台滑动的第一滑块以及第二滑块，同时，滑动载台的两侧设置有形成滑动轨道的支架，第二滑块上活动铰接第二握持部，第二握持部的两侧凸伸设置可在滑动轨道内滚动的滚轮，滑动轨道包括与滑动载台平行的平行轨道以及用于改变滚轮的运动方向的变角轨道，从而可以通过滚轮在滑动轨道内的运动改变第二握持部的倾斜方向且进一步带动通过第二执行杆连接于第二握持部的花篮的布置方向，得以实现将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置，并在提升后变换角度将花篮竖直放置。
附图说明
22.图1为本实用新型所揭示的一种变换角度的提升装置在干燥机中实施时的示意图；
23.图2为本实用新型所揭示的一种变换角度的提升装装置搬运晶圆花篮时的示意图；
24.图3为本实用新型所揭示的一种变换角度的提升装置的立体图；
25.图4为本实用新型中安装座的立体图；
26.图5为图4所示的安装座的侧视图；
27.图6为本实用新型中滑动载台的示意图；
28.图7为本实用新型中变角轨道以及第二滑块的装配立体图；
29.图8为图7所示的变角轨道以及第二滑块的装配主视图；
30.图9为图8中b-b方向的剖视图；
31.图10为本实用新型中第二滑块的爆炸图；
32.图11为本实用新型中支架的另一种实施方式的示意图。
具体实施方式
33.下面结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本实用新型的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本实用新型的保护范围之内。
34.需要理解的是，在本技术中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术方案的限制。
35.在详细阐述本实用新型的一种变换角度的提升装置之前，对涉及的技术概念予以必要说明。本实用新型所揭示的一种变换角度的提升装置10以图1与图2所示出的装配关系安装于干燥机中，用于托持收容晶圆401的花篮40，并将花篮40自清洗池30提升至干燥室20中。因此，表示方位的术语“上”、“下”、“上方”、“下方”均是相对于图1所示的视角而言的，其中，接近干燥室20的方向为“上”、“上方”，接近清洗池30的方向为“下”、“下方”。
36.实施例一：
37.参图1至图10所揭示的本实用新型一种变换角度的提升装置的一种具体实施方式。
38.本实施例所揭示的一种变换角度的提升装置10，其包括：滑动载台11，以及可以沿滑动载台11的延伸方向作线性运动的第一滑块15与第二滑块16，其中，第一滑块15布置于第二滑块16的上方。滑动载台11的两侧分别安装有支架12，支架12对应滑动载台11的一侧形成滑动轨道122。支架12通过套设于滑动载台11上方的支撑架13固定于滑动载台11的两侧。滑动载台11安装并固定于套设在滑动载台11下方的安装座14上。
39.参图4至图5所示，进一步的，安装座14用于向上托持并固定滑动载台11。安装座14包括底板142、支撑板141以及筋板143，其中，安装板14用于向上托持滑动载台11，安装板14自上而下依次包括托持面1421以及安装面1422，托持面1421与安装面1422形成夹角α；支撑板141用于支撑滑动载台11；筋板143用于加强安装座14的稳定性。由于本实施例中，滑动载台11的下端安装有电机，故底板142开设固定孔144，用于将电机嵌设在固定孔144内从而使滑动载台11得到稳定的支撑。本实施例中，托持面1421与滑动载台11接触用于向滑动载台11提供向上的支撑力，安装面1422安装于水平面上，保持与水平面齐平。但是需要进一步说明的是，夹角α的角度并不固定，可以参照在实际实施中晶圆的清洗效果进行调整，优选地，在实际实施时，将夹角α的角度调整为5
°
时，晶圆在清洗池30中的清洗效果最佳；同理，安装面1422也并非必须与水平面齐平，因为在具体实施时，对花篮40的摆放角度起到决定作用的是滑动载台11的倾斜角度，但是安装座14的安装方式以及夹角α的角度共同决定了滑动载台11的倾斜角度，将安装面1422安装至与水平面齐平为本领域技术人员的惯用手段，为了安装后滑动载台的稳定性以及将水平面作为参考平面便于确定滑动载台11的倾斜角度。
40.参图6所示，具体地，滑动载台11包括用于供第一滑块15以及第二滑块16滑行的导轨114以及第一驱动单元与第二驱动单元。第一滑块15包括第一底座152以及扣合于第一底
座152上的第一盖板151，第一底座152与第一盖板151扣合并套设于导轨114；第二滑块16包括第二底座162以及扣合于第二底座162上的第二盖板161，第二底座162与第二盖板161扣合并套设于导轨114。第一驱动单元用于驱动第一滑块15在导轨114上滑行，第二驱动单元用于驱动第二滑块16在导轨114上滑行。第一驱动单元包括第一电机110以及与第一电机110传动连接的第一丝杠(未示出)，第一丝杠传动连接于第一滑块15从而驱动第一滑块15在导轨114上滑行；第二驱动单元包括第二电机111以及与第二电机111传动连接的第二丝杠(未示出)，第二丝杠传动连接于第二滑块16从而驱动第二滑块16在导轨114上滑行。滑动载台还包括丝杠座113用于收容第一丝杠以及第二丝杠，从而保护提升装置的传动稳定性。需要进一步说明的是，本实施例中，第一驱动单元以及第二驱动单元采用电机-丝杠的传动方式，该传动方式为本领域技术人员惯用的传动方式，故在具体实施对第一滑块15以及第二滑块16的驱动时，本领域人员通常使用的现有技术均可采用，并不唯一。丝杠座113的外侧固定有若干传感器115，用于采集第一滑块15以及第二滑块16的位置数据，并将数据提供给第一电机110以及第二电机111(本实施例中第一电机110以及第二电机111均采用伺服电机)，从而控制第一滑块15以及第二滑块16的运动步骤，传感器115的具体数量由实际实施的需要决定，只需能保证完成操作动作即可。
41.参图7至图10所示，支架12安装于第二滑块16的两侧，支架12接近第二滑块16的一侧形成滑动轨道122。第二滑块16还包括活动铰接于第二盖板16上的第二握持部，第二握持部对应于支架12的两侧固定设置用于在滚动的滚轮1671。滑动轨道122包括与滑动载台11平行的平行轨道1222以及用于改变滚轮1671的运动方向的变角轨道1221。
42.具体地，参图9所示，支架12接近第二滑块16的一侧凹陷形成沿滑动载台11的方向延伸且宽度相等的滑槽121，滑槽121的侧壁贴合设置引导块123，引导块123包括与滑槽121的延伸方向平行且宽度相等的第一分段1231以及向滑槽121贴合引导块123一侧逐渐收缩的第二分段1232。引导块123与支架12配合形成用于引导滚轮1671滚动方向的滑动轨道122，其中，第一分段1231与支架12配合形成平行轨道1222，第二分段1232与支架12配合形成变角轨道1221。进一步地，第一分段1231的宽度与滚轮1641的直径之和等于滑槽121的宽度，用于夹持滚轮1671并保证滚轮1671在平行轨道1222内得以稳定的沿平行轨道1222的方向滚动。第二分段1221的收缩端形成夹角β，夹角β与夹角α相等，用于补偿在安装座14上安装滑动载台11时产生的倾斜角度，从而使得滚轮在滚动至变角轨道1221时，第二握持部的角度改变。
43.参图10所示，第二滑块16包括第二底座162以及扣合于第二底座162的第二盖板161，第二盖板161上垂直固定设置耳板163，耳板163对应于支架12的两侧开始阶梯孔163，阶梯孔163内横向穿设轴164，轴164的两端分别一个套设轴承165，轴承165收容于阶梯孔163中。轴164的两端分别固定连接一个侧板166，从而使侧板166可以绕轴164的轴线作圆周运动，侧板166的两侧向远离第二滑块16的方向固定设置滚轮座167，滚轮座167上嵌设滚轮1671。两个侧板166夹持固定支撑块168，支撑块168的上端固定夹持块169，夹持块169开设两个夹持孔1691。侧板166、支撑块168以及夹持块169共同组成第二握持部。第二握持部通过轴164以及轴承165铰接于耳板163。
44.参图3所示，第一盖板151上垂直固定第一握持部153，第一握持部153固定连接第一执行杆154。第一执行杆154包括与滑动载台11平行的第一段以及与滑动载台11垂直的第
二段，在第二段上凸设四根与第一段平行的撑杆155，两个撑杆155上固定一个用于向上顶起晶圆的顶块156。开设于夹持块169上的两个夹持孔1691分别夹持一个第二执行杆172，两个第二执行杆172共同支撑垂直于滑动载台11布置的支撑座17，支撑座17上设置有若干用于固定花篮的固定块171。
45.参图1至图10对本实用新型的具体应用作进一步阐述，第一滑块15通过第一握持部带动第一执行杆154运动，第二滑块16通过第二握持部带动第二执行杆172运动。第一滑块15一直沿导轨114上下滑动，从而通过第一握持部带动第一执行杆154在滑动载台11的延伸方向上进行上下运动。当滚轮1671在平行轨道1222内滚动时，第二滑块16通过第二握持部带动第二执行杆在滑动载台11的延伸方向上滑动，此时承托花篮40的支撑座17以与夹角α相等的角度倾斜上升；当滚轮1671滚动至变角轨道1221内时，由于花篮40通过自身重力对夹持块169施加竖直向下的牵引力并在滚轮1671的带动下，第二握持部改变倾斜方向，同时由于引导块123的收缩端形成夹角β且夹角β与夹角α的角度相等，使得第二握持部变为呈竖直布置并通过第二执行杆172将花篮40由倾斜放置变为竖直放置，从而实现了将收容晶圆401的花篮40以一定角度初始放置，并在提升后变换角度得以将花篮40竖直放置。
46.实施例二：
47.本实施例所揭示的一种变换角度的提升装置与实施例一所揭示的一种变换角度的提升装置相比，其区别点在于：
48.参图11所示，在本实施例中，支架12a包括平行于滑动载台的平行段125以及自平行段125的顶端向远离于滑动载台方向偏离的倾斜段124。支架12a对应于滑动载台的一侧凹陷形成与支架12a延伸方向一致且宽度恒定的滑动轨道122a。
49.进一步地，滑动轨道122a的宽度与滚轮1671的直径相等，倾斜段124偏离于平行段125形成夹角γ，夹角γ与夹角α相等。
50.本实施例与实施例一的主要区别点在于滑动轨道122a的形成方式，其余技术方案与实施例一相同，在此不做赘述。
51.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。
52.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。