一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法及系统与流程

1.本发明涉及平面波导芯片扫描测试技术领域，尤其涉及一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法及系统。


背景技术：

2.芯片的制造过程可概分为晶圆处理工序、晶圆针测工序、构装工序、测试工序等几个步骤，其中晶圆处理工序和晶圆针测工序为前段工序，而构装工序、测试工序为后段工序，针对平面波导芯片，芯片测试工序是芯片制造过程中非常重要的一道工序，一片8寸或12寸的晶圆，经过切割分成很多颗独立的小芯片，通过一些常规和定制的检测手段对其光学性能参数进行测试，看是否能满足客户的特殊需求，最终实现在数据中心和5g等相关网络的顺利搭建和运行，而在平面波导芯片测试中有一项非常重要的测试步骤，需要通过可调激光器配合高速扫描功率计对平面波导芯片的所有输出通道进行光谱扫描测试，从而在光谱中分析每个通道的光学参数指标是否合格等，比如插入损耗、偏振相关损耗、通道平坦度、通道带宽、相邻隔离度、非相邻隔离度和总串扰等，现有技术主要是通过一个工位配置一台可调激光器,然后加上适当通道数量的功率计，再依据电脑通过gpib或usb/rs232分别与可调激光器和功率计进行指令发送，最后返回被测芯片的光谱图，从而实现平面波导芯片的测试，然而，现有技术中一个工位需要配置一台可调激光器，而一台可调激光器的价格在40万人民币左右，这样就导致多个工位需要进行测试，测试成本将会大大提高。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本发明提出一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法及系统，可以解决现有平面波导芯片测试中一个工位需要配置一台可调激光器的缺陷。
4.本发明的技术方案是这样实现的：
5.一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法，具体包括以下步骤：
6.步骤s1，设置可调激光器的扫描参数，并依据所述扫描参数计算出工位的采集点数；
7.步骤s2，多个工位功率计发送指令至服务器，服务器接收指令后向各个工位功率计插入一个标志数据；
8.步骤s3，可调激光器和各个工位功率计依据各自的标志数据和工位采集点数对平面波导芯片进行功率采集，并将采集到的功率发送至服务器中；
9.步骤s4，服务器依据标志数据进行数据处理，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
10.作为所述用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法的进一步可选方案，所述步骤s1中的设置可调激光器的扫描参数包括设置可调激光器的起始波长、终止波长和扫描步距。
11.作为所述用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法的进一步可选方案，所述
步骤s3具体包括以下步骤：
12.步骤s31，各个工位功率计依据各自的标志数据与可调激光器进行同步，并开始对平面波导芯片进行功率采集；
13.步骤s32，当工位功率计实时采集的点数与工位采集点数一致时，结束该工位功率计与可调激光器的同步，完成功率采集。
14.作为所述用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法的进一步可选方案，所述步骤s4具体包括以下步骤：
15.步骤s41，服务器依据各自的标志数据，得到各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率；
16.步骤s42，依据各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
17.一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统，所述系统包括：
18.设置模块，用于设置可调激光器的扫描参数；
19.计算模块，用于依据所述扫描参数计算出工位的采集点数；
20.标志数据插入模块，用于多个工位功率计发送指令至服务器，服务器接收指令后向各个工位功率计插入一个标志数据；
21.采集模块，用于可调激光器和各个工位功率计依据各自的标志数据和工位采集点数对平面波导芯片进行功率采集，并将采集到的功率发送至服务器中；
22.处理模块，用于服务器依据标志数据进行数据处理，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
23.作为所述用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统的进一步可选方案，所述设置模块包括：
24.第一设置模块，用于设置可调激光器的起始波长；
25.第二设置模块，用于设置可调激光器的终止波长；
26.第三设置模块，用于设置可调激光器的扫描步距。
27.作为所述用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统的进一步可选方案，所述采集模块包括：
28.同步模块，用于各个工位功率计依据各自的标志数据与可调激光器进行同步，并开始对平面波导芯片进行功率采集；
29.结束模块，用于当工位功率计实时采集的点数与工位采集点数一致时，结束该工位功率计与可调激光器的同步，完成功率采集。
30.作为所述用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统的进一步可选方案，所述处理模块包括：
31.第一处理模块，用于服务器依据各自的标志数据，得到各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率；
32.第二处理模块，用于依据各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
33.本发明的有益效果是：通过向各个工位功率计插入一个标志数据，能够实现各个工位功率计和可调激光器的实时同步，从而实现一台可调激光器匹配多个工位的效果，进
而大大降低测试的成本。
附图说明
34.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
35.图1为本发明一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法的流程图；
36.图2为本发明一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统的组成图。
具体实施方式
37.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
38.参考图1，一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法，具体包括以下步骤：
39.步骤s1，设置可调激光器的扫描参数，并依据所述扫描参数计算出工位的采集点数；
40.步骤s2，多个工位功率计发送指令至服务器，服务器接收指令后向各个工位功率计插入一个标志数据；
41.步骤s3，可调激光器和各个工位功率计依据各自的标志数据和工位采集点数对平面波导芯片进行功率采集，并将采集到的功率发送至服务器中；
42.步骤s4，服务器依据标志数据进行数据处理，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
43.在本实施例中，通过向各个工位功率计插入一个标志数据，能够实现各个工位功率计和可调激光器的实时同步，从而实现一台可调激光器匹配多个工位的效果，进而大大降低测试的成本。
44.需要说明的是，可调激光器会自动按设定的参数进行快速逐点扫描测试，同时客户端的功率计开启扫描模式，通过电平触发信号接到不同可调光源不同波长值所对应的功率值。当可调光源扫描到结束波长后会自动停止扫描，这时通过指令从功率计内存里读取所有功率值，然后结合扫描的采集点数和功率值进行对应画出产品的光谱图。
45.优选的，所述步骤s1中的设置可调激光器的扫描参数包括设置可调激光器的起始波长、终止波长和扫描步距。
46.优选的，所述步骤s3具体包括以下步骤：
47.步骤s31，各个工位功率计依据各自的标志数据与可调激光器进行同步，并开始对平面波导芯片进行功率采集；
48.步骤s32，当工位功率计实时采集的点数与工位采集点数一致时，结束该工位功率计与可调激光器的同步，完成功率采集。
49.优选的，所述步骤s4具体包括以下步骤：
50.步骤s41，服务器依据各自的标志数据，得到各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率；
51.步骤s42，依据各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
52.一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统，所述系统包括：
53.设置模块，用于设置可调激光器的扫描参数；
54.计算模块，用于依据所述扫描参数计算出工位的采集点数；
55.标志数据插入模块，用于多个工位功率计发送指令至服务器，服务器接收指令后向各个工位功率计插入一个标志数据；
56.采集模块，用于可调激光器和各个工位功率计依据各自的标志数据和工位采集点数对平面波导芯片进行功率采集，并将采集到的功率发送至服务器中；
57.处理模块，用于服务器依据标志数据进行数据处理，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
58.在本实施例中，通过向各个工位功率计插入一个标志数据，能够实现各个工位功率计和可调激光器的实时同步，从而实现一台可调激光器匹配多个工位的效果，进而大大降低测试的成本。
59.需要说明的是，可调激光器会自动按设定的参数进行快速逐点扫描测试，同时客户端的功率计开启扫描模式，通过电平触发信号接到不同可调光源不同波长值所对应的功率值。当可调光源扫描到结束波长后会自动停止扫描，这时通过指令从功率计内存里读取所有功率值，然后结合扫描的采集点数和功率值进行对应画出产品的光谱图。
60.优选的，所述设置模块包括：
61.第一设置模块，用于设置可调激光器的起始波长；
62.第二设置模块，用于设置可调激光器的终止波长；
63.第三设置模块，用于设置可调激光器的扫描步距。
64.优选的，所述采集模块包括：
65.同步模块，用于各个工位功率计依据各自的标志数据与可调激光器进行同步，并开始对平面波导芯片进行功率采集；
66.结束模块，用于当工位功率计实时采集的点数与工位采集点数一致时，结束该工位功率计与可调激光器的同步，完成功率采集。
67.优选的，所述处理模块包括：
68.第一处理模块，用于服务器依据各自的标志数据，得到各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率；
69.第二处理模块，用于依据各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。
70.以上所述仅为本发明的较佳实施方式而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。