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一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的制作方法

2022-04-06 17:40:07 来源:中国专利 TAG:


1.本发明涉及硅片加工设备技术领域,具体为一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机。


背景技术:

2.多晶硅片,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅片的生产需要使用切片机。
3.传统的硅片切片机一般都是通过金刚线切割,当需要调节硅片切片厚度时,需要通过改变金刚线之间的间距来实现,因此就需要将切片机上的金刚线更换成需要间距的金刚线,而目前更换切片机上的金刚线较为费力,为此,我们提出一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机。


技术实现要素:

4.本发明的目的在于提供一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机,包括,基础组件,包括底座,所述底座的顶部设置有电动推杆,且电动推杆的动力端与固定台连接,所述底座顶部后侧的两端均设置有竖杆,右侧所述竖杆的左侧设置有电机,两组所述竖杆的前侧均与固定板固定连接,所述固定板前侧的两端均设置有支撑杆;金刚线组件,包括安装板,所述安装板的两侧均设置有安装块,且两组所述安装块分别套设在两组所述支撑杆上,两组所述安装块上均设置有与固定板连接的锁紧螺栓,所述安装板上通过轴承转动连接有两组结构相同的转轴,且两所述转轴的前侧均设置有主辊,两组所述主辊上缠绕有环形的金刚线,且金刚线位于固定台的上方,右侧所述转轴的后端设置有插接在电机动力端内的十字杆。
6.作为本发明所述一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的一种优选方案,其中:所述安装板底部的两侧均设置有连接板,两组所述连接板的底部均设置有万向轮,且万向轮的底部与底座相接触。
7.作为本发明所述一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的一种优选方案,其中:所述安装板底部的两侧均设置有握杆,且两组所述握杆分别位于两组所述连接板相互远离的一侧。
8.作为本发明所述一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的一种优选方案,其中:所述握杆呈l型结构,且握杆的竖直段与安装板连接,所述握杆的水平段位于底座的上方。
9.作为本发明所述一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的一种优选方案,其中:所述电机的动力端通过轴承与固定板转动连接。
10.作为本发明所述一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的一种优选方案,其中:所述安装板的后侧设置有贯穿固定板的固定块。
11.作为本发明所述一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的一种优选方案,其中:所述固定板的顶部贴合连接有连接块,所述连接块的底部均匀设置有竖杆,且竖杆依次贯穿固定板和固定块。
12.与现有技术相比,本发明的有益效果是:通过握杆和万向轮,可以轻松推动安装板,进而通过支撑杆和固定块的定位,使得安装块可以与固定板接触,以便于快速安装锁紧螺栓,同时十字杆插进电机的动力端内,即可实现金刚线的快速更换,从而能够通过快速更换不同间距的金刚线来改变硅片的切片厚度,通过设置有竖杆和连接块,可以对固定块进一步定位,提高金刚线使用时的稳定性。
附图说明
13.图1为本发明一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的整体结构前视示意图;
14.图2为本发明一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的整体结构俯视示意图;
15.图3为本发明一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机的a处结构示意图。
16.图中:100、基础组件;101、底座;102、固定台;103、竖杆;104、电机;105、固定板;106、支撑杆;200、金刚线组件;201、安装板;202、安装块;203、转轴;204、主辊;205、金刚线;206、十字杆;207、连接板;208、万向轮;209、握杆;300、固定块;400、竖杆;500、连接块。
具体实施方式
17.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
18.实施例1
19.参照图1至图3,一种硅片切片厚度可调的多晶硅片加工用切片机,包括,基础组件100,包括底座101,底座101的顶部设置有电动推杆,且电动推杆的动力端与固定台102连接,固定台102用于固定住硅锭,电动推杆用于驱动硅锭向上移动被金刚线205切片,底座101顶部后侧的两端均设置有竖杆103,右侧竖杆103的左侧设置有电机104,两组竖杆103的前侧均与固定板105固定连接,固定板105前侧的两端均设置有支撑杆106;
20.金刚线组件200,包括安装板201,安装板201的两侧均设置有安装块202,且两组安装块202分别套设在两组支撑杆106上,可以起到定位和支撑安装板201的作用,两组安装块202上均设置有与固定板105连接的锁紧螺栓,用于固定住安装板201,安装板201上通过轴承转动连接有两组结构相同的转轴203,且两转轴203的前侧均设置有主辊204,两组主辊204上缠绕有环形的金刚线205,且金刚线205位于固定台102的上方,右侧转轴203的后端设置有插接在电机104动力端内的十字杆206,通过电机104驱动动力端旋转,使得十字杆206可以正好插进其动力端内,进而在电机104驱动动力端旋转时,通过十字杆206可以带动主
辊204旋转,进而使得金刚线205旋转,通过电动推杆驱动固定台102向上移动,使得硅锭与金刚线205接触,随着固定台102继续向上移动,即可对硅锭进行切片。
21.参照图1至图3,安装板201底部的两侧均设置有连接板207,两组连接板207的底部均设置有万向轮208,且万向轮208的底部与底座101相接触,使得使用者在推动安装板201时,万向轮208可以在底座101上滚动,较为省力。
22.参照图1至图2,安装板201底部的两侧均设置有握杆209,且两组握杆209分别位于两组连接板207相互远离的一侧,握杆209呈l型结构,且握杆209的竖直段与安装板201连接,握杆209的水平段位于底座101的上方,方便使用者拉推握杆209,以此来带动安装板201移动。
23.参照图1至图2,电机104的动力端通过轴承与固定板105转动连接,可以起到支撑电机104动力端的作用。
24.参照图1至图3,安装板201的后侧设置有贯穿固定板105的固定块300,可以对安装板201进行定位。
25.当需要安装需要间距的金刚线205时,以改变切片厚度时,通过握杆209和万向轮208,可以轻松推动安装板201,然后通过支撑杆106和固定块300的定位,使得安装块202可以与固定板105接触,以便于快速安装锁紧螺栓,同时十字杆206能够插进电机104的动力端内,即可实现金刚线205的快速更换,此时通过两组主辊204带动金刚线205旋转,即可对不断上升固定台102上的硅锭进行切片。
26.实施例2
27.参照图1至图2,固定板105的顶部贴合连接有连接块500,连接块500的底部均匀设置有竖杆400,且竖杆400依次贯穿固定板105和固定块300,通过连接块500使得竖杆400不会掉落,进而通过竖杆400能够对固定块300进行限位,从而可以对安装板201进行进一步限位,使得金刚线205在切片时比较稳定。
28.其余结构均与实施例1相同。
29.尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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