带通滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种带通滤波器，其特征在于，包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；所述多个串臂谐振器包括依次串联连接在所述输入端和所述输出端之间的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第四谐振器、第五谐振器、第六谐振器和第七谐振器；所述多个并臂谐振器包括第八谐振器、第九谐振器、第十谐振器和第十一谐振器，所述第八谐振器的一端连接在所述第一谐振器和所述第二谐振器之间，所述第九谐振器的一端连接在所述第三谐振器和所述第四谐振器之间，所述第十谐振器的一端连接在所述第五谐振器和所述第六谐振器之间，所述第十一谐振器的一端连接在所述第七谐振器和所述输出端之间，所述第八谐振器、所述第九谐振器、所述第十谐振器和所述第十一谐振器的另一端均连接所述接地端。2.如权利要求1所述的带通滤波器，其特征在于，所述多个串臂谐振器中的各个谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同，所述多个并臂谐振器中的各个谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。3.如权利要求1或2所述的带通滤波器，其特征在于，所述多个串臂谐振器的串联谐振频率和所述多个并臂谐振器的并联谐振频率相同。4.如权利要求1所述的带通滤波器，其特征在于，所述第一谐振器和所述第十谐振器的面积均为63000
±
50μm2，所述第二谐振器的面积为66000
±
50μm2，所述第三谐振器的面积为64000
±
50μm2，所述第四谐振器、所述第五谐振器和所述第六谐振器的面积均为68000
±
50μm2，所述第七谐振器的面积为65000
±
50μm2，所述第八谐振器的面积为56000
±
50μm2，所述第九谐振器的面积为58500
±
50μm2，所述第十一谐振器的面积为33000
±
50μm2，谐振器的面积为谐振器的平行板电容器上下电极的重合面积。5.如权利要求1所述的带通滤波器，其特征在于，所述带通滤波器的版图依次包括牺牲层、下电极层、上电极层、差频层和孔层，所述差频层与所述多个并臂谐振器对应，所述多个串臂谐振器不具有所述差频层，所述孔层中开设有多个释放孔，每个谐振器均设有多个释放通道，每个释放通道对应至少一个释放孔。6.如权利要求5所述的带通滤波器，其特征在于，所述带通滤波器还包括压电层。7.如权利要求6所述的带通滤波器，其特征在于，所述上电极的厚度为所述下电极层的厚度为压电层的厚度为压电层的厚度为所述差频层的厚度为8.如权利要求5-7任一项所述的带通滤波器，其特征在于，所述释放孔的直径为15μm-25μm。9.如权利要求1所述的带通滤波器，其特征在于，所述第一谐振器至所述第七谐振器依次按照“之”字型排布于所述输入端和所述输出端之间，所述第八谐振器和所述第九谐振器位于所述第一谐振器至所述第七谐振器的一侧，所述第十谐振器和所述第十一谐振器位于所述第一谐振器至所述第七谐振器的另一侧。10.如权利要求9所述的带通滤波器，其特征在于，所述“之”字型排布包括：所述第一谐振器、所述第三谐振器、所述第五谐振器和所述第七谐振器的中心位于第一直线上，所述第二谐振器、所述第四谐振器和所述第六谐振器的中心位于第二直线上，所述第一直线和所
述第二直线平行，且所述第一谐振器至所述第七谐振器中相邻的任意三个谐振器的中心连线均构成v字型。

技术总结
本实用新型涉及滤波技术领域，提供了一种带通滤波器。该带通滤波器包括输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；多个串臂谐振器包括依次串联连接在输入端和输出端之间的第一谐振器至第七谐振器；多个并臂谐振器包括第八谐振器、第九谐振器、第十谐振器和第十一谐振器，第八谐振器的一端连接在第一谐振器和第二谐振器之间，第九谐振器的一端连接在第三谐振器和第四谐振器之间，第十谐振器的一端连接在第五谐振器和第六谐振器之间，第十一谐振器的一端连接在第七谐振器和输出端之间，第八谐振器、第九谐振器、第十谐振器和第十一谐振器的另一端均连接接地端。上述带通滤波器提供FBAR带通滤波器的一种新型结构。滤波器提供FBAR带通滤波器的一种新型结构。滤波器提供FBAR带通滤波器的一种新型结构。


技术研发人员：李丽 张仕强 李宏军 王胜福 于江涛 杨亮 李亮 梁东升 韩易 郭建 常广旭 侯晓燕 张玲 田艳华
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2022/3/29