一种碳化硅晶体生长用输送系统的制作方法

1.本发明属于输送系统技术领域，具体涉及一种碳化硅晶体生长用输送系统。


背景技术：

2.碳化硅晶体生长需要用到各种反应物料，采用传统搅拌方法，直接通过桨叶进行搅拌。
3.传统桨叶搅拌长时间搅拌会卡死，同时反应物料中存在块状物料，不能够将块状物料碾碎呈粉状物料。
4.因此，亟需开发一种新的碳化硅晶体生长用输送系统，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的是提供一种碳化硅晶体生长用输送系统。
6.为了解决上述技术问题，本发明提供了一种碳化硅晶体生长用输送系统，其包括：第一反应釜、丝杆机构、活动盘、安装盘、破碎机构、搅拌机构和输送机构；其中所述第一反应釜内设置有储存腔，以用于储存物料；所述丝杆机构纵向设置在第一反应釜内，所述活动盘活动连接在丝杆机构上，所述安装盘固定在活动盘的底部，所述破碎机构固定在安装盘的底部，所述搅拌机构活动设置在安装盘的周向上；所述丝杆机构驱动活动盘纵向移动，且所述活动盘在纵向移动过程中在丝杆机构上转动，即所述安装盘带动破碎机构对储存腔内块状物料进行破碎，以将块状物料破碎、研磨成粉状物料；所述安装盘带动搅拌机构对储存腔内物料进行搅拌，并使物料朝向所述破碎机构收拢；所述搅拌机构在安装盘上摆动，且当所述搅拌机构抵住活动盘或储存腔底部时进行打磨、刮料；以及所述输送机构将破碎、搅拌后的物料输送至第二反应釜。
7.进一步，所述丝杆机构包括：丝杆、丝杆螺母、移动杆和丝杆电机；所述丝杆纵向设置在第一反应釜内，所述丝杆螺母活动设置在丝杠上，所述移动杆的一端与第一反应釜的内壁活动连接，所述移动杆的另一端与丝杆螺母固定；所述活动盘与丝杠螺母的底部活动连接，所述活动盘还与丝杆活动连接；所述丝杆电机驱动丝杆转动，以使所述丝杆螺母沿丝杆长度方向进行纵向移动，即所述丝杆带动活动盘转动，且所述丝杆螺母带动活动盘纵向移动。
8.进一步，所述丝杆穿过丝杆螺母、活动盘、安装盘；所述丝杆螺母的内侧壁上开设转动t形槽，所述活动盘的顶部向上延伸形成连接板，且在所述连接板上对应转动t形槽位置处设置第一t形块，以使所述活动盘与丝杆螺母活动限位连接；所述丝杆上开设移动t形槽，所述活动盘的内壁朝向移动t形槽延伸形成第二t形块，以使所述活动盘与丝杆活动限位连接，即所述活动盘在丝杆螺母带动下纵向移动，并随所述丝杆转动。
9.进一步，所述破碎机构包括：若干破碎齿；各所述破碎齿均匀排列并径向设置在安装盘的底部；所述安装盘在纵向移动并转动过程中带动各破碎齿抵住物料进行破碎。
10.进一步，所述安装盘的周向设置若干安装槽，各所述安装槽内设置有滑动杆；所述
搅拌机构包括：若干搅拌组件；各所述搅拌组件铰接在对应安装槽内的滑动杆上；各所述搅拌组件在滑动杆上滑动，并绕所述滑动杆转动，即所述安装盘带动各搅拌组件转动，以使各搅拌组件在相应滑动杆转动以对储存腔内物料进行搅拌，并将物料朝向所述破碎机构收拢；各搅拌组件向下运动或向下运动抵住物料时，各搅拌组件在相应滑动杆上摆动，并抵住活动盘的底部进行打磨、刮料，或各搅拌组件向下运动抵住储存腔底部，直至各搅拌组件在相应滑动杆上摆动抵住活动盘的底部，以使各搅拌组件对活动盘、储存腔底部进行打磨、刮料。
11.进一步，所述搅拌组件包括：铰接套、铰接杆和搅拌板；所述铰接杆的一端连接铰接套，所述铰接杆的另一端连接搅拌板，所述铰接套活动套装在滑动杆上；所述搅拌板呈倾斜设置，且所述搅拌板两侧呈刃口设置；所述铰接套在滑动杆上滑动，并绕所述滑动杆转动，即所述搅拌板在安装盘转动时，以对物料进行搅拌并朝向所述破碎机构收拢；所述安装盘带动搅拌板的一侧抵住储存腔底部，直至所述搅拌板的另一侧抵住活动盘的底部，使所述搅拌板两侧分别对活动盘、储存腔底部进行打磨、刮料。
12.进一步，所述滑动杆的上方、下方均设置有气囊，各所述气囊朝向滑动杆设置有喷油孔，且各所述气囊中储存有润滑油；所述铰接套与铰接杆连接处设置有防尘套，且所述防尘套将安装槽密封，即所述搅拌板在滑动杆上摆动时，所述铰接套、铰接杆抵住相应气囊通过喷油孔向滑动杆喷出润滑油，且所述铰接套在滑动杆上滑动进行润滑。
13.进一步，各所述安装槽间隔设置，所述铰接套在滑动杆上滑动时，当所述铰接套与安装槽的槽壁碰撞，即抖动所述搅拌板将物料振落。
14.进一步，所述输送机构包括：设置在第一反应釜底部的输送阀和输送管道；所述输送阀与储存腔连通，即所述储存腔内物料经输送阀、输送管道送至第二反应釜内。
15.进一步，所述第二反应釜内设置有反应腔，所述反应腔内注入相应助溶剂；籽晶杆纵向插入所述助溶剂内，并轴向转动；对所述籽晶杆上的籽晶生长面浸润处理，并在助溶剂中添加相应量的ni；控制所述籽晶杆的转速，并控制所述反应腔内生长气压。
16.本发明的有益效果是，本发明通过在丝杆机构上活动设置活动盘、安装盘，能够使得安装盘不仅能够转动还能够沿着丝杆机构上下移动，从而实现搅拌机构在储存腔内充分搅拌物料，安装盘上设置的破碎机构能够起到研磨物料的作用，同时搅拌机构能够将物料朝向破碎机构收拢，进而提高对物料搅拌、研磨效果，有助于后续碳化硅晶体的持续生长；在第二反应釜内通过降低助溶剂的粘度（减少高粘度cr等组分，或者增加温度）或增加籽晶杆转速来实现碳溶解的有效溶解及输运，解决助溶剂夹杂问题；通过对籽晶生长面浸润处理（籽晶表面氧化层去除；在助溶剂中添加一定的ni有助于籽晶浸润）；或者降低生长气压来解决气泡夹杂物问题。
17.本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。
18.为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
19.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体
实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1是本发明的碳化硅晶体生长用输送系统的整装图；图2是本发明的第一反应釜的内部结构图；图3是本发明的图2的局部结构图；图4是本发明的活动盘与丝杆螺母的装配图；图5是本发明的活动盘与丝杆的装配图。
21.图中：1、第一反应釜；2、丝杆机构；21、丝杆；211、移动t形槽；22、丝杆螺母；221、转动t形槽；23、移动杆；24、丝杆电机；3、活动盘；31、第一t形块；32、第二t形块；4、安装盘；41、安装槽；42、滑动杆；5、破碎机构；51、破碎齿；6、搅拌机构；61、铰接套；62、铰接杆；63、搅拌板；7、输送机构；71、输送阀；72、输送管道；8、第二反应釜。
具体实施方式
22.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
23.实施例1在本实施例中，如图1至图5所示，本实施例提供了一种碳化硅晶体生长用输送系统，其包括：第一反应釜1、丝杆机构2、活动盘3、安装盘4、破碎机构5、搅拌机构6和输送机构7；其中所述第一反应釜1内设置有储存腔，以用于储存物料；所述丝杆机构2纵向设置在第一反应釜1内，所述活动盘3活动连接在丝杆机构2上，所述安装盘4固定在活动盘3的底部，所述破碎机构5固定在安装盘4的底部，所述搅拌机构6活动设置在安装盘4的周向上；所述丝杆机构2驱动活动盘3纵向移动，且所述活动盘3在纵向移动过程中在丝杆机构2上转动，即所述安装盘4带动破碎机构5对储存腔内块状物料进行破碎，以将块状物料破碎、研磨成粉状物料；所述安装盘4带动搅拌机构6对储存腔内物料进行搅拌，并使物料朝向所述破碎机构5收拢；所述搅拌机构6在安装盘4上摆动，且当所述搅拌机构6抵住活动盘3或储存腔底部时进行打磨、刮料；以及所述输送机构7将破碎、搅拌后的物料输送至第二反应釜8。
24.第一反应釜1第一反应釜1主要起储存物料的作用，通过在第一反应釜1内部安装丝杆机构2、活动盘3、安装盘4、破碎机构5、搅拌机构6和输送机构7，实现对物料的搅拌、研磨和输送。
25.丝杆机构2
丝杆机构2主要起驱动的作用，能够带动活动盘3、安装盘4纵向移动且转动，进而带动搅拌机构6将物料搅拌均匀，并将物料向破碎机构5靠拢，从而实现破碎机构5在安装盘4带动下转动，并且对物料进行研磨，将块状物料碾碎成粉状物料，使得混料更加均匀。
26.活动盘3活动盘3主要起安装、限位的作用，活动盘3与丝杆机构2是活动限位安装，进而能实现活动盘3在丝杆机构2上移动的同时并转动，带动安装盘4纵向移动且转动。
27.安装盘4安装盘4主要起安装的作用，安装盘4上安装破碎机构5、搅拌机构6，同时安装盘4在纵向移动并转动的过程中，能够带动搅拌机构6不断搅拌物料，破碎机构5对物料进行研磨。
28.输送机构7输送机构7主要起到输送物料的作用，能够将破碎、搅拌后的物料输送至第二反应釜8。
29.在本实施例中，本实施例通过在丝杆机构2上活动设置活动盘3、安装盘4，能够使得安装盘4不仅能够转动还能够沿着丝杆机构2上下移动，从而实现搅拌机构6在储存腔内充分搅拌物料，安装盘4上设置的破碎机构5能够起到研磨物料的作用，同时搅拌机构6能够将物料朝向破碎机构5收拢，进而提高对物料搅拌、研磨效果，有助于后续碳化硅晶体持续生长。
30.在本实施例中，所述丝杆机构2包括：丝杆21、丝杆螺母22、移动杆23和丝杆电机24；所述丝杆21纵向设置在第一反应釜1内，所述丝杆螺母22活动设置在丝杠上，所述移动杆23的一端与第一反应釜1的内壁活动连接，所述移动杆23的另一端与丝杆螺母22固定；所述活动盘3与丝杠螺母的底部活动连接，所述活动盘3还与丝杆21活动连接；所述丝杆电机24驱动丝杆21转动，以使所述丝杆螺母22沿丝杆21长度方向进行纵向移动，即所述丝杆21带动活动盘3转动，且所述丝杆螺母22带动活动盘3纵向移动。
31.在本实施例中，移动杆23与第一反应釜1的内壁通过槽块配合，实现移动杆23在第一反应釜1的内壁移动，同时移动杆23对丝杆螺母22起到导向作用，能够使得丝杆电机24驱动丝杆21转动时丝杆螺母22在丝杆21上纵向移动。
32.在本实施例中，所述丝杆21穿过丝杆螺母22、活动盘3、安装盘4；所述丝杆螺母22的内侧壁上开设转动t形槽221，所述活动盘3的顶部向上延伸形成连接板，且在所述连接板上对应转动t形槽221位置处设置第一t形块31，以使所述活动盘3与丝杆螺母22活动限位连接；所述丝杆21上开设移动t形槽211，所述活动盘3的内壁朝向移动t形槽211延伸形成第二t形块32，以使所述活动盘3与丝杆21活动限位连接，即所述活动盘3在丝杆螺母22带动下纵向移动，并随所述丝杆21转动。
33.在本实施例中，活动盘3与丝杆螺母22时通过第一t形块31与转动t形槽221相配合，能够使得活动盘3与丝杆螺母22相对转动，同时活动盘3与丝杆21通过第二t形块32与移动t形槽211相配合，能够使得活动盘3能够在丝杆21上纵向移动，从而实现丝杆21转动带动丝杆螺母22在丝杆21上纵向移动，同时带动活动盘3在丝杆螺母22带动下移动并转动，进而带动安装盘4在丝杆21上移动并转动。
34.在本实施例中，所述破碎机构5包括：若干破碎齿51；各所述破碎齿51均匀排列并
径向设置在安装盘4的底部；所述安装盘4在纵向移动并转动过程中带动各破碎齿51抵住物料进行破碎。
35.在本实施例中，各破碎齿51均匀排列并径向设置在安装盘4的底部，能够起到安装盘4抵压物料的时候对物料进行破碎的作用。
36.在本实施例中，所述安装盘4的周向设置若干安装槽41，各所述安装槽41内设置有滑动杆42；所述搅拌机构6包括：若干搅拌组件；各所述搅拌组件铰接在对应安装槽41内的滑动杆42上；各所述搅拌组件在滑动杆42上滑动，并绕所述滑动杆42转动，即所述安装盘4带动各搅拌组件转动，以使各搅拌组件在相应滑动杆42转动以对储存腔内物料进行搅拌，并将物料朝向所述破碎机构5收拢；各搅拌组件向下运动或向下运动抵住物料时，各搅拌组件在相应滑动杆42上摆动，并抵住活动盘3的底部进行打磨、刮料，或各搅拌组件向下运动抵住储存腔底部，直至各搅拌组件在相应滑动杆42上摆动抵住活动盘3的底部，以使各搅拌组件对活动盘3、储存腔底部进行打磨、刮料。
37.在本实施例中，所述搅拌组件包括：铰接套61、铰接杆62和搅拌板63；所述铰接杆62的一端连接铰接套61，所述铰接杆62的另一端连接搅拌板63，所述铰接套61活动套装在滑动杆42上；所述搅拌板63呈倾斜设置，且所述搅拌板63两侧呈刃口设置；所述铰接套61在滑动杆42上滑动，并绕所述滑动杆42转动，即所述搅拌板63在安装盘4转动时，以对物料进行搅拌并朝向所述破碎机构5收拢；所述安装盘4带动搅拌板63的一侧抵住储存腔底部，直至所述搅拌板63的另一侧抵住活动盘3的底部，使所述搅拌板63两侧分别对活动盘3、储存腔底部进行打磨、刮料。
38.在本实施例中，铰接套61是铰接在滑动杆42上的，安装盘4在转动过程中，铰接套61是在滑动杆42上移动、转动的，同时搅拌板63与物料抵压发生摆动，实现搅拌板63对物料搅拌的作用，同时搅拌板63上刃口被活动盘3打磨，同时搅拌板63对活动盘3进行刮料、清理；搅拌板63上刃口接触储存腔底部被打磨，并对储存腔底部进行打磨、清理。
39.在本实施例中，所述滑动杆42的上方、下方均设置有气囊，各所述气囊朝向滑动杆42设置有喷油孔，且各所述气囊中储存有润滑油；所述铰接套61与铰接杆62连接处设置有防尘套，且所述防尘套将安装槽41密封，即所述搅拌板63在滑动杆42上摆动时，所述铰接套61、铰接杆62抵住相应气囊通过喷油孔向滑动杆42喷出润滑油，且所述铰接套61在滑动杆42上滑动进行润滑。
40.在本实施例中，由于防尘套将安装槽41密封，一方面避免润滑油漏出，另一方面防止物料进入安装槽41内。
41.在本实施例中，铰接套61、铰接杆62在摆动过程能够抵住气囊挤出润滑油，在铰接套61在滑动杆42上滑动时将润滑油抹云，能够防止搅拌组件卡壳，持续工作。
42.在本实施例中，各所述安装槽41间隔设置，所述铰接套61在滑动杆42上滑动时，当所述铰接套61与安装槽41的槽壁碰撞，即抖动所述搅拌板63将物料振落，起到对搅拌板63清理、落料的作用。
43.在本实施例中，所述输送机构7包括：设置在第一反应釜1底部的输送阀71和输送管道72；所述输送阀71与储存腔连通，即所述储存腔内物料经输送阀71、输送管道72送至第二反应釜8内。
44.在本实施例中，所述第二反应釜8内设置有反应腔，所述反应腔内注入相应助溶
剂；籽晶杆纵向插入所述助溶剂内，并轴向转动；对所述籽晶杆上的籽晶生长面浸润处理，并在助溶剂中添加相应量的ni；控制所述籽晶杆的转速，并控制所述反应腔内生长气压。
45.在本实施例中，第二反应釜8内晶体生长过程中容易产生助溶剂夹杂问题及气泡夹杂物问题，通过降低助溶剂的粘度（减少高粘度cr等组分，或者增加温度）或增加籽晶杆转速来实现碳溶解的有效溶解及输运，解决助溶剂夹杂问题；通过对籽晶生长面浸润处理（籽晶表面氧化层去除；在助溶剂中添加一定的ni有助于籽晶浸润）；或者降低生长气压来解决气泡夹杂物问题。
46.综上所述，本发明通过在丝杆机构上活动设置活动盘、安装盘，能够使得安装盘不仅能够转动还能够沿着丝杆机构上下移动，从而实现搅拌机构在储存腔内充分搅拌物料，安装盘上设置的破碎机构能够起到研磨物料的作用，同时搅拌机构能够将物料朝向破碎机构收拢，进而提高对物料搅拌、研磨效果，有助于后续碳化硅晶体持续生长。
47.本技术中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
48.在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
49.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
50.以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。