一种实现表面精细结构的抛光方法及装置与流程

技术特征：
1.一种实现表面精细结构的抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)向被抛光面供给含有抛光颗粒的抛光液，抛光液通过设置在被抛光面前侧的透明导流板整流，使得抛光液以与被抛光面平行的方向快速流动形成抛光液流层；(2)将脉冲激光器对准扩束器，脉冲激光器输出的脉冲激光束经过扩束后得到扩束后的脉冲激光束；(3)将扩束后的脉冲激光束对准模板上的小孔，所述小孔的形状投影到被抛光面，处于该投影区域内的被抛光面能得到有效抛光；扩束后的脉冲激光束经过模板的小孔后得到具有特定图案的脉冲激光束；(4)将具有特定图案的脉冲激光束对准聚焦透镜组，经过聚焦后得到聚焦后的脉冲激光束；聚焦后的脉冲激光束入射到透明导流板，并在透明导流板的后表面形成一个聚焦光斑；透明导流板后侧的抛光液流层吸收激光脉冲能量在瞬间产生热膨胀，导致抛光液流层在各个方向膨胀，其中，沿与脉冲激光束方向平行且垂直于被抛光面方向的膨胀将动能传递给抛光液中的抛光颗粒，使抛光颗粒获得一个向被抛光面方向的动量，并使抛光颗粒与被抛光面产生碰撞，实现特定区域、特定图案的抛光。2.实施如权利要求1所述的一种实现表面精细结构的抛光方法的装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的脉冲激光器、扩束器、模板、成像系统、透明导流板和被抛光件；脉冲激光器输出脉冲激光束，脉冲激光束经由扩束器扩束处理后输出扩束后的脉冲激光束；扩束后的脉冲激光束经模板上的图案孔后，输出具有特定图案的脉冲激光束；具有特定图案的脉冲激光束射入成像系统，成像系统进行聚焦处理后输出聚焦后的脉冲激光束；所述被抛光件竖直设置，被抛光件的前侧设有竖直的透明导流板；透明导流板的上方设有射流喷嘴，射流喷嘴向下喷出抛光液，抛光液以90度入射到透明导流板的上方，抛光液沿透明导流板的后表面形成抛光液流层，抛光液流层与被抛光件的被抛光面平行；所述聚焦后的脉冲激光射入透明导流板作用于抛光液流层。3.如权利要求2所述的一种实现表面精细结构抛光的装置，其特征在于：所述成像系统包括聚焦透镜组，聚焦透镜组包括沿光路依次设置的第一聚焦透镜和第二聚焦透镜。4.如权利要求2所述的一种实现表面精细结构抛光的装置，其特征在于：所述模板上小孔的形状是圆形、方形、三角形、菱形或十字形。

技术总结
一种实现表面精细结构的抛光方法，包括以下步骤：(1)向被抛光面供给含有抛光颗粒的抛光液；(2)将脉冲激光器对准扩束器得到扩束后的脉冲激光束；(3)将扩束后的脉冲激光束对准模板上的小孔得到具有特定图案的脉冲激光束；(4)将具有特定图案的脉冲激光束对准聚焦透镜组得到聚焦后的脉冲激光束；聚焦后的脉冲激光束入射到透明导流板，作用于抛光液流层。本发明还提供一种实现表面精细结构的抛光方法的装置。本发明将聚焦透镜将脉冲激光能量汇聚到一个较小的区域，有效圈定需要实现的抛光区域，实现定区域抛光，从而实现对表面具有精细激结构器件的超精密抛光。激结构器件的超精密抛光。激结构器件的超精密抛光。


技术研发人员：陆惠宗 吴俊杰 吕冰海 邓乾发
受保护的技术使用者：浙江工业大学
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2022/3/25