一种多功能晶圆裂片机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及一种多功能晶圆裂片机。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆在加工过程中需要使用裂片机对其进行裂片加工。
3.裂片机是通过激光切割将晶圆进行切割，再通过胶辊碾压的方式将激光切割后的晶圆分离开，在胶辊碾压的过程中，胶辊在碾压晶圆的过程中会出现晶圆附着在胶辊的现象，随着胶辊转动导致附着的晶圆出现损坏的现象，降低了胶辊对晶圆的分离质量。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种多功能晶圆裂片机，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多功能晶圆裂片机，包括：
6.工作台，所述工作台的顶端设置有台盘，所述工作台顶端的两侧均滑动设置有滑块，两个所述滑块相对的一侧均固定连接有固定块，两个所述固定块之间设置有辊压机构；
7.辅助机构，所述辅助机构设有两组，所述辅助机构由橡胶刮板、两个连接块和弹簧组成，所述橡胶刮板设置于两个固定块之间，两个所述连接块分别固定连接于橡胶刮板的两侧，两个所述固定块相对的一侧均开设有第一滑槽，两个所述连接块分别滑动连接于两个第一滑槽的内壁，两个所述弹簧分别设置于两个第一滑槽的内部。
8.优选的，所述弹簧的一端与连接块的正面固定连接，所述弹簧的另一端与第一滑槽的内壁固定连接。
9.优选的，所述辊压机构包括胶辊，两个所述固定块相对的一侧均固定连接有固定轴，所述胶辊转动连接于两个固定轴之间，所述橡胶刮板的边侧与胶辊的外壁贴合设置。
10.优选的，所述第一滑槽内壁的顶端和底端均开设有第一限位槽，所述连接块的顶端和底端均固定连接有第一限位块，两个第一限位块的外壁分别与两个第一限位槽的内壁滑动连接。
11.优选的，所述工作台的顶端固定连接有两个固定条，两个所述滑块的底端均开设有第二滑槽，两个所述固定条的外壁分别与两个第二滑槽的内壁滑动连接，所述第二滑槽内壁的一侧固定连接有第二限位块，所述固定条的一侧开设有第二限位槽，所述第二限位块的外壁与第二限位槽的内壁滑动连接。
12.优选的，所述第二滑槽的内壁对称转动连接有两个转轴，两个所述转轴之间设置有滚轮，所述滚轮的外壁与固定条的顶端贴合设置。
13.本实用新型的技术效果和优点：
14.(1)本实用新型利用橡胶刮板、连接块和弹簧的设置，通过弹簧的弹性作用，使得弹簧一直挤压连接块，连接块将这个挤压力作用到橡胶刮板上，使得橡胶刮板一直挤压这
胶辊的外壁，从而使得晶圆在附着到胶辊上还没转动半圈便被橡胶刮板刮下，避免晶圆继续转动受到损坏，提高了胶辊对晶圆的分离质量；
15.(2)本实用新型利用第一限位槽和第一限位块的设置，通过第一限位槽对第一限位块进行限位，使得连接块可以一直稳定的第一滑槽内滑动，避免连接块与第一滑槽分离，同时避免连接块出现转动的现象，即可有效的使得橡胶刮板一直贴合这胶辊的外壁，提高橡胶刮板使用的稳定性。
附图说明
16.图1为本实用新型整体结构示意图。
17.图2为本实用新型图1的a处局部放大结构示意图。
18.图3为本实用新型连接块侧面剖视结构示意图。
19.图4为本实用新型滑块正面剖剖视结构示意图。
20.图中：1、工作台；2、台盘；3、滑块；4、固定块；5、胶辊；6、固定轴；7、橡胶刮板；8、连接块；9、第一滑槽；10、弹簧；11、第一限位槽；12、第一限位块；13、固定条；14、第二滑槽；15、第二限位槽；16、第二限位块；17、转轴；18、滚轮。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.本实用新型提供了如图1-4所示的一种多功能晶圆裂片机，包括工作台1，工作台1的顶端设置有台盘2，晶圆放在台盘2上进行碾压分离，工作台1顶端的两侧均滑动设置有滑块3，两个滑块3相对的一侧均固定连接有固定块4，两个固定块4之间设置有辊压机构，辊压机构包括胶辊5，两个固定块4相对的一侧均固定连接有固定轴6，胶辊5转动连接于两个固定轴6之间，橡胶刮板7的边侧与胶辊5的外壁贴合设置；
23.辅助机构，辅助机构设有两组，辅助机构由橡胶刮板7、两个连接块8和弹簧10组成，橡胶刮板7设置于两个固定块4之间，两个连接块8分别固定连接于橡胶刮板7的两侧，两个固定块4相对的一侧均开设有第一滑槽9，两个连接块8分别滑动连接于两个第一滑槽9的内壁，两个弹簧10分别设置于两个第一滑槽9的内部，弹簧10的一端与连接块8的正面固定连接，弹簧10的另一端与第一滑槽9的内壁固定连接，通过弹簧10的弹性作用使得弹簧10一直挤压连接块8，从而使得橡胶刮板7一直挤压胶辊5的外壁，从而将附着在胶辊5外壁的晶圆刮下，避免晶圆一直附着在胶辊5的外壁进行转动导致出现损坏的现象；
24.第一滑槽9内壁的顶端和底端均开设有第一限位槽11，连接块8的顶端和底端均固定连接有第一限位块12，两个第一限位块12的外壁分别与两个第一限位槽11的内壁滑动连接，通过第一限位槽11对第一限位块12进行限位，使得连接块8不会与第一滑槽9分离；
25.工作台1的顶端固定连接有两个固定条13，两个滑块3的底端均开设有第二滑槽14，两个固定条13的外壁分别与两个第二滑槽14的内壁滑动连接，第二滑槽14内壁的一侧固定连接有第二限位块16，固定条13的一侧开设有第二限位槽15，第二限位块16的外壁与
第二限位槽15的内壁滑动连接，第二限位槽15对第二限位块16进行限位，使得滑块3可以稳定的固定条13上进行滑动；
26.第二滑槽14的内壁对称转动连接有两个转轴17，两个转轴17之间设置有滚轮18，滚轮18的外壁与固定条13的顶端贴合设置，通过滚轮18的转动减小了滑块3滑动时的摩擦力，使得滑块3与固定条13之间的磨损减少。
27.本实用新型工作原理：
28.当台盘2上的晶圆经过激光切割后，此时即可移动两个滑块3，使得两个滑块3在两个固定条13上滑动，同时两个滚轮18贴合这固定条13的顶端转动，两个滑块3移动带动胶辊5同时移动，使得胶辊5移动至台盘2的上方与台盘2上激光切割后的晶圆接触，胶辊5与晶圆接触便在两个固定轴6之间进行转动，从而对晶圆进行碾压，当晶圆附着在胶辊5上后，晶圆会随着胶辊5转动一点便于橡胶刮板7接触，通过橡胶刮板7将附着的晶圆刮下，即可避免晶圆继续随着胶辊5进行转动。
29.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。