具有槽孔的合金板的蚀刻方法以及蚀刻装置与流程

技术特征：
1.一种具有槽孔的合金板的蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻方法包括：提供一合金板，所述合金板具有槽孔；提供一电解液，在所述电解液中插入阴极；以所述合金板作为阳极，控制所述电解液流经所述槽孔；在所述阴极和所述阳极之间通电，使得所述槽孔的内壁经阳极氧化后形成氧化层。2.如权利要求1所述的具有槽孔的合金板的蚀刻方法，其特征在于，所述通电电压为30-40v，电流密度为0.8-1.5a/dm2。3.如权利要求2所述的具有槽孔的合金板的蚀刻方法，其特征在于，所述电解液流经所述槽孔的流速为150-180ml/s。4.如权利要求1所述的具有槽孔的合金板的蚀刻方法，其特征在于，按体积分数计，所述电解液包括50％-70％的冰醋酸和5％-15％的氯盐，所述氯盐包括氯化钠或氯化钾中一种。5.如权利要求4所述的具有槽孔的合金板的蚀刻方法，其特征在于，按体积分数计，所述电解液还包括15％-20％的丙二醇和1％-3％的硫酸铝。6.一种蚀刻装置，用于执行如权利要求1-5任一项所述的具有槽孔的合金板的蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻装置包括：固定组件，用于固定所述合金板；抽液泵，用于连通所述电解液，所述抽液泵用于控制所述电解液流经所述槽孔。7.如权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，所述固定组件包括相对设置的第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和所述第二固定块之间形成用于安装所述合金板的容纳腔，所述第一固定块具有第一穿孔，所述第二固定块具有第二穿孔，所述第一穿孔和所述第二穿孔用于与所述槽孔连通并供所述电解液通过。8.如权利要求7所述的蚀刻装置，其特征在于，所述固定组件还包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一固定块具有朝向所述第二固定块的第一表面，所述第一表面部分内凹形成第一容纳槽，所述第一密封圈容置于第一容纳槽内；所述第二固定块具有朝向所述第一固定块的第二表面，所述第二表面部分内凹形成第二容纳槽，所述第二密封圈容置于所述第二容纳槽内，所述第一密封圈和所述第二密封圈相对设置，以密封位于所述第一固定块和所述第二固定块与所述合金板的连接处。9.如权利要求7所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一穿孔和所述第二穿孔的中心轴平行且不共线。10.如权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置还包括用于容置所述电解液的电解槽，所述合金板位于所述电解槽外。11.如权利要求10所述的蚀刻装置，其特征在于，所述电解槽包括密封的腔体。12.如权利要求10所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置还包括第一导管和第二导管，所述第一导管和所述第二导管连通所述电解槽，并分别连通所述槽孔的两端，所述抽液泵与所述第一导管连通，所述电解液经由所述第一导管、所述第二导管和所述电解槽形成持续闭合的回路。

技术总结
本申请提供了一种具有槽孔的合金板的蚀刻方法以及蚀刻装置。所述蚀刻方法包括：提供一合金板，所述合金板具有槽孔。提供一电解液，在所述电解液中插入阴极。以所述合金板作为阳极，控制所述电解液流经所述槽孔。在所述阴极和所述阳极之间通电，使得所述槽孔的内壁经阳极氧化后形成氧化层。本申请采用上述蚀刻方法，可以在槽孔内壁形成均匀氧化层，普适性强。普适性强。普适性强。


技术研发人员：马磊 王路 张果 赖建昌 阳高 许兵
受保护的技术使用者：鸿富锦精密电子（成都）有限公司
技术研发日：2021.12.20
技术公布日：2022/3/22