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压电泵以及泵单元的制作方法

2022-03-23 09:06:01 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种压电泵,具备:压电元件,具有贯通孔;第1弹性板,覆盖所述贯通孔的一个开口,具有与所述贯通孔连通的连通孔;和第2弹性板,覆盖所述贯通孔的另一个开口。2.根据权利要求1所述的压电泵,其中,所述第1弹性板以及所述第2弹性板的至少一方具有向所述贯通孔的轴线方向内侧陷入的凹部。3.根据权利要求2所述的压电泵,其中,具有所述凹部的所述第1弹性板以及所述第2弹性板的至少一方具有:包围所述凹部的平坦部、和位于所述凹部与所述平坦部之间的槽状部。4.根据权利要求1所述的压电泵,其中,所述第1弹性板以及所述第2弹性板的至少一方具有向所述贯通孔的轴线方向外侧突出的凸部。5.根据权利要求4所述的压电泵,其中,具有所述凸部的所述第1弹性板以及所述第2弹性板的至少一方具有:包围所述凸部的平坦部、和位于所述凸部与所述平坦部之间的槽状部。6.一种泵单元,具有:权利要求1至5的任意一项所述的压电泵;和壳体,容纳所述压电泵,所述壳体在与所述第1弹性板的所述连通孔对置的部分具有喷出口。

技术总结
泵单元具备压电泵、和容纳压电泵的壳体。压电泵具备:具有贯通孔的压电元件、覆盖贯通孔的一个开口的第1弹性板、和覆盖贯通孔的另一个开口的第2弹性板。第1弹性板具有与压电元件的贯通孔连通的连通孔。件的贯通孔连通的连通孔。件的贯通孔连通的连通孔。


技术研发人员:绪方一广
受保护的技术使用者:京瓷株式会社
技术研发日:2020.09.07
技术公布日:2022/3/22
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