衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法与流程

技术特征：
1.一种衬底洗净装置，其具备：第1衬底保持部，保持衬底的外周端部；第2衬底保持部，在所述第1衬底保持部下方的位置吸附保持所述衬底的下表面中央部；移动部，使所述衬底在所述第1衬底保持部与所述第2衬底保持部之间移动；洗净具，与所述衬底的下表面接触来洗净所述衬底的下表面；洗净具升降部，从下方支撑所述洗净具，且使所述洗净具在所述洗净具与利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的下表面接触的第1洗净高度位置、与所述洗净具与利用所述第2衬底保持部保持的所述衬底的下表面接触的第2洗净高度位置之间升降；旋转驱动部，从下方支撑所述第2衬底保持部，且使所述第2衬底保持部绕上下方向的轴旋转；台座部，以俯视下所述洗净具与所述第2衬底保持部相互分开的方式，支撑所述洗净具升降部及所述旋转驱动部；及台座移动部，在利用所述第1衬底保持部保持所述衬底的状态下，使所述台座部在所述第2衬底保持部与所述衬底的所述下表面中央部对向且所述洗净具与包围所述衬底的所述下表面中央部的下表面外侧区域对向的第1水平位置、与所述第2衬底保持部与所述衬底的所述下表面外侧区域对向且所述洗净具与所述衬底的所述下表面中央部对向的第2水平位置之间移动。2.根据权利要求1所述的衬底洗净装置，其中还具备安装所述洗净具的被安装部件，所述洗净具升降部通过能够升降地支撑所述被安装部件而支撑所述洗净具。3.根据权利要求2所述的衬底洗净装置，其中还具备：洗净液供给部，安装于所述被安装部件，在利用所述洗净具洗净所述衬底的下表面时，对所述衬底的下表面供给洗净液。4.根据权利要求2或3所述的衬底洗净装置，其中所述被安装部件具有在远离所述第2衬底保持部的方向上向斜下方倾斜的上表面。5.根据权利要求2到4中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中还具备在所述洗净具与所述第2衬底保持部之间产生带状气流的气流产生部。6.根据权利要求5所述的衬底洗净装置，其中所述气流产生部还安装在所述被安装部件。7.根据权利要求5或6所述的衬底洗净装置，其中所述气流产生部通过向所述衬底的下表面喷射带状气体，而在所述洗净具与所述第2衬底保持部之间形成气体幕。8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中与所述衬底的下表面接触的所述洗净具的接触部分的面积大于吸附保持所述衬底的下表面中央部的所述第2衬底保持部的吸附部分的面积。9.根据权利要求1到8中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中所述洗净具升降部在所述台座部中能够相对于所述第2衬底保持部在水平方向移动地受支撑，所述衬底洗净装置还具备：移动驱动部，在所述台座部中使所述洗净具升降部相对于所述第2衬底保持部在水平方向移动。10.根据权利要求1到9中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中还具备使所述洗净
具绕在上下方向延伸的轴旋转的洗净具旋转驱动部。11.一种衬底洗净装置，其具备：第1衬底保持部，不使衬底旋转而在第1高度位置保持所述衬底的外周端部；第2衬底保持部，在第1高度位置下方的第2高度位置吸附保持所述衬底的下表面中央部且绕上下方向的轴旋转；衬底移动部，使所述衬底在所述第1高度位置与所述第2高度位置之间移动；洗净具，与所述衬底的下表面接触来洗净所述衬底的下表面；洗净具升降部，通过使所述洗净具升降，而使所述洗净具在所述洗净具与利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的下表面接触的第1状态、与所述洗净具与利用所述第2衬底保持部保持的所述衬底的下表面接触的第2状态转移；洗净具移动部，在利用所述第1或所述第2衬底保持部保持的所述衬底的下方的位置，使所述洗净具相对于所述衬底在水平方向移动；洗净液供给部，对所述衬底的下表面供给洗净液；及处理杯，以俯视下包围所述第2衬底保持部的方式设置，在从所述洗净液供给部对利用所述第2衬底保持部吸附保持且旋转的所述衬底供给洗净液的情况下接住从所述衬底飞散的洗净液；且所述第1高度位置高于所述处理杯的上端部；所述第2高度位置在所述衬底由所述第2衬底保持部保持的状态下由所述洗净具洗净时，低于所述处理杯的上端部。12.根据权利要求11所述的衬底洗净装置，其中还具备控制所述第1衬底保持部、所述第2衬底保持部、所述衬底移动部、所述洗净具升降部、所述洗净具移动部及所述洗净液供给部的控制部，所述控制部在洗净所述衬底的下表面中央部时，以利用所述洗净具洗净利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的所述下表面中央部的方式，控制所述第1衬底保持部、所述洗净具升降部及所述洗净液供给部，在洗净包围所述衬底的所述下表面中央部的下表面外侧区域时，以对利用所述第2衬底保持部保持的所述衬底的下表面供给洗净液且利用所述洗净具洗净所述下表面外侧区域的方式，控制所述第2衬底保持部、所述洗净具升降部、所述洗净具移动部及所述洗净液供给部，以将所述衬底在所述第1衬底保持部与所述第2衬底保持部之间移动的方式，控制所述第1衬底保持部、所述第2衬底保持部及所述衬底移动部。13.根据权利要求11或12所述的衬底洗净装置，其中所述洗净具移动部在所述洗净具接触利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的下表面的状态及所述洗净具接触利用所述第2衬底保持部保持的所述衬底的下表面的状态中的至少一个状态下，使所述洗净具相对于所述衬底在水平方向移动。14.根据权利要求11到13中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中还具备：气体供给部，构成为能够对所述第1衬底保持部所保持的所述衬底的所述下表面供给气体，且能够对所述第2衬底保持部所保持的所述衬底的所述下表面供给气体。
15.根据权利要求11到14中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中还具备使所述洗净具绕上下方向的轴旋转的洗净具旋转驱动部。16.根据权利要求11到15中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中与所述衬底的下表面接触的所述洗净具的接触部分的面积大于吸附保持所述衬底的下表面中央部的所述第2衬底保持部的吸附部分的面积。17.根据权利要求11到16中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中还具备：处理杯驱动部，使所述处理杯在所述处理杯的上端部高于所述第2高度位置的上杯位置、与所述处理杯的上端部低于所述第2高度位置的下杯位置之间升降；且所述处理杯驱动部在所述衬底由所述第2衬底保持部保持的状态下由所述洗净具洗净时将所述处理杯保持在所述上杯位置，在利用所述第2衬底保持部保持的所述衬底的洗净前或洗净后将所述处理杯保持在所述下杯位置。18.一种衬底洗净装置，其具备：第1衬底保持部，保持衬底的外周端部；第2衬底保持部，在所述第1衬底保持部下方的位置保持所述衬底的下表面中央区域；交接部，在所述第1衬底保持部与所述第2衬底保持部之间进行所述衬底的交接；洗净具，与所述衬底的下表面接触来洗净所述衬底的下表面；及洗净控制部，以所述衬底由所述第1衬底保持部保持时所述衬底的中心位于第1位置的状态下洗净所述衬底的所述下表面中央区域，在所述衬底由所述第2衬底保持部保持时所述衬底的中心位于所述第1位置下方的第2位置的状态下洗净包围所述衬底的所述下表面中央区域的下表面外侧区域的方式，控制所述洗净具。19.根据权利要求18所述的衬底洗净装置，其中还具备：交接控制部，以将在所述第1衬底保持部中洗净所述下表面中央区域的所述衬底传递到所述第2衬底保持部的方式控制所述交接部。20.根据权利要求19所述的衬底洗净装置，其中所述交接控制部还以将在所述第2衬底保持部中洗净所述下表面外侧区域的所述衬底再次传递到所述第1衬底保持部的方式控制所述交接部，所述洗净控制部以再次洗净利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的所述下表面中央区域的方式控制所述洗净具。21.根据权利要求18所述的衬底洗净装置，其中还具备：交接控制部，以将在所述第2衬底保持部中洗净所述下表面外侧区域的所述衬底传递到所述第1衬底保持部的方式控制所述交接部。22.根据权利要求18到21中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中所述衬底洗净装置构成为在第1洗净模式与第2洗净模式下选择性动作，所述洗净控制部在所述第1洗净模式下，以在所述衬底由所述第1衬底保持部保持时洗净所述衬底的所述下表面中央区域，在所述衬底由所述第2衬底保持部保持时洗净所述衬底的所述下表面外侧区域的方式，控制所述洗净具，在所述第2洗净模式下，以在所述衬底由所述第1衬底保持部保持时不洗净所述衬底，在所述衬底由所述第2衬底保持部保持时洗净所述衬底的所述下表面外侧区域的方式，控
制所述洗净具。23.根据权利要求18到22中任一权利要求所述的衬底洗净装置，其中所述第2衬底保持部构成为能够保持所述衬底并旋转，所述衬底洗净装置还具备：台座部，支撑所述洗净具及所述第2衬底保持部；台座驱动部，使所述台座部在所述洗净具位于应利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的中心的下方的第1状态、与所述第2衬底保持部的旋转中心位于应利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的中心的下方的第2状态之间移动；及台座控制部，以洗净所述第1衬底保持部的所述衬底时所述台座部位于所述第1状态，在所述第1衬底保持部与所述第2衬底保持部之间交接所述衬底时所述台座部位于所述第2状态的方式，控制所述台座驱动部。24.一种衬底处理装置，其具备：权利要求11到17中任一权利要求所述的衬底洗净装置；及衬底搬送部，包含构成为能够保持衬底的第1搬送保持部与构成为在所述第1搬送保持部下方能够保持衬底的第2搬送保持部；且所述第1搬送保持部对所述衬底洗净装置的所述第1衬底保持部进行衬底的交接；所述第2搬送保持部对所述衬底洗净装置的所述第2衬底保持部进行衬底的交接。25.一种衬底洗净方法，其包含以下步骤：在衬底的外周端部由第1衬底保持部保持时，在所述衬底的中心位于第1位置的状态下利用与所述衬底的下表面接触的洗净具洗净所述衬底的下表面中央区域；在所述第1衬底保持部下方的位置所述衬底的所述下表面中央区域由第2衬底保持部保持时，在所述衬底的中心位于所述第1位置下方的第2位置的状态下利用所述洗净具洗净包围所述衬底的所述下表面中央区域的下表面外侧区域；及在所述第1衬底保持部与所述第2衬底保持部之间进行所述衬底的交接。26.根据权利要求25所述的衬底洗净方法，其中进行所述衬底的交接的步骤包含将在所述第1衬底保持部中洗净所述下表面中央区域的所述衬底传递到所述第2衬底保持部。27.根据权利要求26所述的衬底洗净方法，其中还包含以下步骤：将在所述第2衬底保持部中洗净所述下表面外侧区域的所述衬底再次传递到所述第1衬底保持部；及利用所述洗净具再次洗净从所述第2衬底保持部传递且利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的所述下表面中央区域。28.根据权利要求25所述的衬底洗净方法，其中进行所述衬底的交接的步骤包含将在所述第2衬底保持部中洗净所述下表面外侧区域的所述衬底传递到所述第1衬底保持部。29.根据权利要求25到28中任一权利要求所述的衬底洗净方法，其中洗净所述衬底的下表面中央区域的步骤包含在第1洗净模式下，洗净所述衬底的所述下表面中央区域，在第2洗净模式下，不洗净所述衬底，且洗净所述下表面外侧区域的步骤包含在所述第1及第2洗净模式下，洗净所述衬底的所述下表面外侧区域。30.根据权利要求25到29中任一权利要求所述的衬底洗净方法，其中洗净所述衬底的
下表面中央区域的步骤包含将支撑所述洗净具及所述第2衬底保持部的台座部设为第1状态，洗净所述下表面外侧区域的步骤包含将所述台座部设为第2状态，所述第2衬底保持部构成为能够保持所述衬底并旋转，在所述第1状态下，所述洗净具位于应利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的中心的下方，在所述第2状态中，所述第2衬底保持部的旋转中心位于应利用所述第1衬底保持部保持的所述衬底的中心的下方。

技术总结
本发明涉及一种衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法。本发明的第1衬底保持部保持衬底的外周端部。第2衬底保持部在第1衬底保持部下方的位置吸附保持衬底的下表面中央区域。下表面刷在与利用第1衬底保持部保持的衬底的下表面接触的位置、与下表面刷与利用第2衬底保持部保持的衬底的下表面接触的位置之间升降。第2衬底保持部及下表面刷设置在能够在水平方向移动的可动台座上。可动台座在下表面刷与衬底的下表面外侧区域对向的位置、与下表面刷与衬底的下表面中央区域对向的位置之间移动。洗净利用第1衬底保持部保持的衬底的下表面中央区域。这时，衬底的高度位置高于处理杯的上端部。洗净利用第2衬底保持部保持的衬底的下表面外侧区域。这时，衬底的高度位置低于处理杯的上端部。低于处理杯的上端部。低于处理杯的上端部。


技术研发人员：筱原智之 冈田吉文 冲田展彬 加藤洋 筱原敬
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.09.15
技术公布日：2022/3/18