一种晶硅SE电池片热氧化处理装置的制作方法

一种晶硅se电池片热氧化处理装置
技术领域
1.本发明涉及晶体硅太阳电池技术领域，尤其涉及一种晶硅se电池片热氧化处理装置。


背景技术：

2.随着晶体硅太阳电池技术的发展，良好的表面钝化成为制备高效电池必不可少的条件。表面钝化就是降低半导体的表面活性，使表面的复合速率降低，其主要的方式是饱和半导体表面处的悬挂键，降低表面活性，增加表面的清洁程度，避免由于杂质在表面层的引入而形成复合中心，以此来降低少数载流子的表面复合速率，使器件稳定工作。
3.现有技术中，大多采用热氧化法，在晶体硅太阳电池的硅片的表面生成二氧化硅氧化层，从而达到表面钝化的效果，在对硅片进行热氧化时，往往需要通过人工在氧化炉内对硅片进行上下料，加工效率较慢。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种晶硅se电池片热氧化处理装置，解决现有技术中的在对硅片进行热氧化时，往往需要通过人工在氧化炉内对硅片进行上下料，加工效率较慢的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供了一种晶硅se电池片热氧化处理装置，所述晶硅se电池片热氧化处理装置包括输送架、输送带、加热室、控制面板和两个密封单元，所述输送架上设置有所述输送带，所述输送架上还设置有所述加热室，所述加热室位于所述输送带的上方，所述加热室的外部设置有所述控制面板，所述加热室的内部设置有加热腔，所述加热腔与所述输送带相对应，所述加热室的两端分别设置有输送口和输出口，所述加热室的两端均还设置有所述密封单元，两个所述密封单元分别与所述输送口和所述输出口相对应；
6.每个所述密封单元均包括安装板、滑动座、连接件、驱动组件和密封板，所述安装板与所述加热室的外侧壁拆卸连接，所述安装板上设置有滑槽，所述滑动座与所述滑槽滑动连接，所述滑动座靠近所述安装板的一端设置有连接块，所述驱动组件位于所述加热室的一端，所述驱动组件的输出端与所述连接块相对应，所述连接件的一端与所述滑动座拆卸连接，所述滑动座的另一端设置有所述密封板，所述密封板与对应的所述输送口和所述输出口相适配。
7.将硅片放置在所述输送带上，当硅片输送至所述加热室的内部后，启动所述驱动组件，使得所述滑动座在所述安装板上滑动，通过所述连接件带动所述密封板下降，从而将所述输送口和所述输出口封闭，使得所述加热腔密封，当硅片的表面在所述加热腔内热氧化形成二氧化硅氧化层后，启动所述驱动组件，通过所述连接件带动所述密封板上升，从而使得表面氧化后的硅片通过所述输出口输出，采用上述结构较少人工上下料的步骤，从而提高工作效率。
8.其中，每个所述驱动组件均包括伺服电机、丝杆和丝杆套，所述伺服电机与所述加热室的外侧壁拆卸连接，所述伺服电机的输出端设置有所述丝杆，所述丝杆上设置有所述丝杆套，所述丝杆套与所述连接块拆卸连接。
9.启动所述伺服电机，带动所述丝杆转动，由于所述丝杆套与所述连接块拆卸连接，从而带动所述滑动座在所述滑槽上滑动，使得所述密封板将对应的所述输送口和所述输出口封闭。
10.其中，所述加热腔上还设置有供气单元，所述加热腔的内部还设置有供气腔，所述供气单元的输出端与所述供气腔相对应，所述供气腔位于所述加热腔的上方。
11.通过所述供气单元和所述供气腔，向所述加热室内输送氧气和氮气，从而使得在氮气的保护下，氧气与硅片在高温下氧化，在硅片的表面生成二氧化硅氧化层。
12.其中，所述供气单元包括氧气源、第一真空泵、输氧管、氮气源、第二真空泵和输氮管，所述第一真空泵的一端与所述氧气源管道连接，所述第一真空泵的另一端与所述输氧管管道连接，所述第二真空泵的一端与所述氮气源管道连接，所述第二真空泵的另一端与所述输氮管管道连接，所述输氧管和所述输氮管均位于所述供气腔的内部，所述输氧管和所述输氮管上均设置有多个连通管，每个所述连通管均与所述加热室相对应。
13.启动所述第一真空泵，将所述氧气源内的氧气输送至所述输氧管内，启动所述第二真空泵，将所述氮气源内的氮气输送至所述输氮管内，进而通过所述连通管，将氧气和氮气输送至所述加热室内，在氮气的保护下，使得氧气与硅片在高温下氧化，在硅片的表面生成二氧化硅氧化层。
14.其中，所述输氧管和所述输氮管均包括管体和两个支撑架，所述管体的外部套设有两个所述支撑架，两个所述支撑架分别位于所述管体的两端，每个所述支撑架远离所述管体的一端均与所述供气腔的底部拆卸连接。
15.在所述管体的两端均设置有所述支撑架，通过所述支撑架将所述管体安装在所述供气腔的内部，从而完成所述输氧管和所述输氮管的安装。
16.其中，每个所述支撑架均包括安装块、支撑块和支撑环，所述支撑块的一端与所述安装块固定连接，所述支撑块的另一端与所述支撑环固定连接，所述支撑环套设在所述管体的外部，所述安装块与所述供气腔的底部拆卸连接。
17.将所述支撑环套设在所述管体的外部后，利用螺钉将所述安装块固定在所述供气腔的底部，从而完成所述支撑架的安装，所述安装块和所述支撑环均与所述支撑块固定连接，制造时采用一体成型技术制成，结构更加牢固。
18.本发明的一种晶硅se电池片热氧化处理装置，所述加热腔与所述输送带相对应，所述加热室的两端分别设置有输送口和输出口，所述安装板与所述加热室的外侧壁拆卸连接，所述安装板上设置有滑槽，所述滑动座与所述滑槽滑动连接，所述滑动座靠近所述安装板的一端设置有连接块，所述驱动组件的输出端与所述连接块相对应，所述连接件的一端与所述滑动座拆卸连接，所述滑动座的另一端设置有所述密封板，所述密封板与对应的所述输送口和所述输出口相适配，将硅片放置在所述输送带上，当硅片输送至所述加热室的内部后，启动所述驱动组件，使得所述滑动座在所述安装板上滑动，通过所述连接件带动所述密封板下降，从而将所述输送口和所述输出口封闭，使得所述加热腔密封，当硅片的表面在所述加热腔内热氧化形成二氧化硅氧化层后，启动所述驱动组件，通过所述连接件带动
所述密封板上升，从而使得表面氧化后的硅片通过所述输出口输出，采用上述结构较少人工上下料的步骤，从而提高工作效率。
附图说明
19.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1是本发明提供的一种晶硅se电池片热氧化处理装置的正视图。
21.图2是本发明提供的图1的a-a线的内部结构剖视图。
22.图3是本发明提供的加热室的侧视图。
23.图4是本发明提供的图3的a-a线的内部结构剖视图。
24.图5是本发明提供的密封单元的结构示意图。
25.1-输送架、2-输送带、3-加热室、31-加热腔、32-输送口、33-输出口、34-供气腔、4-控制面板、5-密封单元、51-安装板、52-滑动座、53-连接件、531-连接板、532-电动推杆、533-板体、534-固定块、535-放置块、54-驱动组件、541-伺服电机、542-丝杆、543-丝杆套、55-密封板、56-滑槽、57-连接块、6-供气单元、61-氧气源、62-第一真空泵、63-输氧管、64-氮气源、65-第二真空泵、66-输氮管、67-连通管、68-管体、69-支撑架、691-安装块、692-支撑块、693-支撑环、7-温度传感器、71-氧浓度传感器、72-第一电控阀、73-第二电控阀。
具体实施方式
26.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
27.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
28.请参阅图1至图5，本发明提供一种晶硅se电池片热氧化处理装置，所述晶硅se电池片热氧化处理装置包括输送架1、输送带2、加热室3、控制面板4和两个密封单元5，所述输送架1上设置有所述输送带2，所述输送架1上还设置有所述加热室3，所述加热室3位于所述输送带2的上方，所述加热室3的外部设置有所述控制面板4，所述加热室3的内部设置有加热腔31，所述加热腔31与所述输送带2相对应，所述加热室3的两端分别设置有输送口32和输出口33，所述加热室3的两端均还设置有所述密封单元5，两个所述密封单元5分别与所述输送口32和所述输出口33相对应；
29.每个所述密封单元5均包括安装板51、滑动座52、连接件53、驱动组件54和密封板55，所述安装板51与所述加热室3的外侧壁拆卸连接，所述安装板51上设置有滑槽56，所述滑动座52与所述滑槽56滑动连接，所述滑动座52靠近所述安装板51的一端设置有连接块
57，所述驱动组件54位于所述加热室3的一端，所述驱动组件54的输出端与所述连接块57相对应，所述连接件53的一端与所述滑动座52拆卸连接，所述滑动座52的另一端设置有所述密封板55，所述密封板55与对应的所述输送口32和所述输出口33相适配。
30.在本实施方式中，将硅片放置在所述输送带2上，当硅片输送至所述加热室3的内部后，启动所述驱动组件54，使得所述滑动座52在所述安装板51上滑动，通过所述连接件53带动所述密封板55下降，从而将所述输送口32和所述输出口33封闭，使得所述加热腔31密封，当硅片的表面在所述加热腔31内热氧化形成二氧化硅氧化层后，启动所述驱动组件54，通过所述连接件53带动所述密封板55上升，从而使得表面氧化后的硅片通过所述输出口33输出，采用上述结构较少人工上下料的步骤，从而提高工作效率。
31.进一步的，每个所述驱动组件54均包括伺服电机541、丝杆542和丝杆套543，所述伺服电机541与所述加热室3的外侧壁拆卸连接，所述伺服电机541的输出端设置有所述丝杆542，所述丝杆542上设置有所述丝杆套543，所述丝杆套543与所述连接块57拆卸连接。
32.在本实施方式中，启动所述伺服电机541，带动所述丝杆542转动，由于所述丝杆套543与所述连接块57拆卸连接，从而带动所述滑动座52在所述滑槽56上滑动，使得所述密封板55将对应的所述输送口32和所述输出口33封闭。
33.进一步的，所述加热腔31上还设置有供气单元6，所述加热腔31的内部还设置有供气腔34，所述供气单元6的输出端与所述供气腔34相对应，所述供气腔34位于所述加热腔31的上方，所述供气单元6包括氧气源61、第一真空泵62、输氧管63、氮气源64、第二真空泵65和输氮管66，所述第一真空泵62的一端与所述氧气源61管道连接，所述第一真空泵62的另一端与所述输氧管63管道连接，所述第二真空泵65的一端与所述氮气源64管道连接，所述第二真空泵65的另一端与所述输氮管66管道连接，所述输氧管63和所述输氮管66均位于所述供气腔34的内部，所述输氧管63和所述输氮管66上均设置有多个连通管67，每个所述连通管67均与所述加热室3相对应。
34.在本实施方式中，启动所述第一真空泵62，将所述氧气源61内的氧气输送至所述输氧管63内，启动所述第二真空泵65，将所述氮气源64内的氮气输送至所述输氮管66内，进而通过所述连通管67，将氧气和氮气输送至所述加热室3内，在氮气的保护下，使得氧气与硅片在高温下氧化，在硅片的表面生成二氧化硅氧化层。
35.进一步的，所述输氧管63和所述输氮管66均包括管体68和两个支撑架69，所述管体68的外部套设有两个所述支撑架69，两个所述支撑架69分别位于所述管体68的两端，每个所述支撑架69远离所述管体68的一端均与所述供气腔34的底部拆卸连接。
36.在本实施方式中，在所述管体68的两端均设置有所述支撑架69，通过所述支撑架69将所述管体68安装在所述供气腔34的内部，从而完成所述输氧管63和所述输氮管66的安装。
37.进一步的，每个所述支撑架69均包括安装块691、支撑块692和支撑环693，所述支撑块692的一端与所述安装块691固定连接，所述支撑块692的另一端与所述支撑环693固定连接，所述支撑环693套设在所述管体68的外部，所述安装块691与所述供气腔34的底部拆卸连接。
38.在本实施方式中，将所述支撑环693套设在所述管体68的外部后，利用螺钉将所述安装块691固定在所述供气腔34的底部，从而完成所述支撑架69的安装，所述安装块691和
所述支撑环693均与所述支撑块692固定连接，制造时采用一体成型技术制成，结构更加牢固。
39.进一步的，所述加热腔31的内部设置有温度传感器7和氧浓度传感器71，所述第一真空泵62和所述输氧管63的管道之间设置有第一电控阀72，所述第二真空泵65和所述输氮管66的管道之间设置有第二电控阀73，所述温度传感器7、所述氧浓度传感器71、所述第一电控阀72和所述第二电控阀73均与所述控制面板4电性连接。
40.在本实施方式中，利用所述温度传感器7时间监测所述加热腔31内的温度，利用所述氧浓度传感器71实时监测所述加热腔31内的氧气浓度，从而通过所述控制面板4调节所述第一电控阀72和所述第二电控阀73的开度，进而调节氧气和氮气的输送速度，使得硅片的热氧化效果更好。
41.进一步的，所述连接件53包括连接板531和电动推杆532，所述连接板531的一端与所述滑动座52拆卸连接，所述连接板531的另一端设置有所述电动推杆532，所述电动推杆532的输出端设置有所述密封板55。
42.在本实施方式中，当所述驱动组件54带动所述滑动座52下滑，使得所述密封板55与所述输送带2相贴合后，启动所述电动推杆532，推动所述密封板55与所述输送口32或所述输出口33相重合，从而利用所述密封板55将所述输送口32和所述输出口33封闭。
43.进一步的，所述连接板531包括板体533、固定块534和放置块535，所述板体533的一端与所述固定块534固定连接，所述板体533的另一端与所述放置块535固定连接，所述固定块534与所述滑动座52拆卸连接，所述放置块535上设置有所述电动推杆532。
44.在本实施方式中，所述固定块534和所述放置块535均与所述板体533固定连接，制造时采用一体成型技术制成，结构更加牢固。
45.以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。