微波破碎装置加热腔的制作方法

1.本实用新型涉及及光伏、半导体行业的单晶硅制备技术领域，尤其涉及一种微波破碎装置加热腔。


背景技术：

2.在光伏、半导体行业，单晶硅被大量使用。近来，有些厂家采用对多晶硅棒料进行加热，然后用水将加热后的硅棒硅急剧降温，利用硅棒料表面和内部温度差造成的膨胀度不同所产生的应力，使硅棒料从表面到内部形成细微裂纹，可以使硅棒料能够轻易破碎，大大降低粉末料的占比，也降低了破碎过程中的污染。如公开号为cn212692276u的《一种微波加热破碎物料的设备》公开了一种采用微波加热技术适合自动化和连续生产的水爆破碎装置，其采用微波加热技术，具有加热均匀、速度快，控制及时、反应灵敏，清洁卫生、无污染等许多优点，适合自动化和连续生产。然而，现有的微波加热腔体很难对微波发生器有效利用，浪费了微波能源，微波破碎时间较长，同时，破碎率不高，影响后续生产。


技术实现要素：

3.根据上述提出的技术问题，而提供一种微波破碎装置加热腔。本实用新型采用的技术手段如下：
4.一种微波破碎装置加热腔，包括内壳体、外壳体、设置于内壳体与外壳体之间的保温层、输送机构以及微波加热机构，所述输送装置用于将待破碎物料输送至内壳体中，所述内壳体为石英板组成的方形石英框架，所述外壳体为不锈钢板搭建的底部方形、顶部梯形结构，所述微波加热机构包括多个微波发生器，所述外壳体的方形部分的侧壁、梯形结构的两条腰以及上底均设有微波发生器，以内壳体中心线为轴方向，同轴的所述微波发生器以间隔阵列形式排布。
5.进一步地，所述梯形结构为等腰梯形，所述外壳体的方形部分的两条侧壁上设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置，所述外壳体梯形结构的腰上设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置，所述外壳体梯形结构的上底设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置。
6.进一步地，所述底部方形的侧壁预设高度设有对射的光电开关，所述光电开关伸入内壳体内部，其外部由石英套管包裹。
7.进一步地，还包括温度传感器，所述温度传感器伸入内壳体内部，其外部由石英套管包裹。
8.进一步地，所述内壳体底部设有用于支撑内壳体底部的支撑架，所述支撑架上连接有连接外壳体侧壁和内壳体外壁的横向固定杆。
9.进一步地，所述输送装置为辊筒线，具体包括多个并排设置的输送辊，各输送辊均穿过内壳体内部，输送辊的外部由石英套管包裹。
10.本实用新型通过底部方形、顶部梯形结构的不锈钢结构，在其上设置间隔阵列形
式排布的微波发生器，加热腔本体微波电磁场分布均匀，同时能够有效防止微波外溢，多组微波发生器同时作用，加快了微波加热时间，提高了微波加热效率。
附图说明
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
12.图1为本实用新型主视图。
13.图2为本实用新型侧视图。
14.图3为本实用新型俯视图。
15.图4为本实用新型底部斜侧视角结构示意图。
16.图中：1、外壳体；2、内壳体；3、保温棉；4、光电开关用石英套管；5、温度传感器用石英套管；6、输送辊用石英套管；7、微波发生器；8、支撑架；9、横向固定杆；10、物料通道。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1～4所示，本发明实施例公开了一种微波破碎装置加热腔，包括内壳体、外壳体、设置于内壳体与外壳体之间的保温层、输送机构以及微波加热机构，所述内壳体内部为物料通道10，所述输送装置用于将待破碎物料输送至内壳体中，所述内壳体2为石英板组成的方形石英框架，所述外壳体1为不锈钢板搭建的底部方形、顶部梯形结构，本实施例中，所述保温层选用保温棉3，所述微波加热机构包括多个微波发生器，所述外壳体的方形部分的侧壁、梯形结构的两条腰以及上底均设有微波发生器，以内壳体中心线为轴方向，同轴的所述微波发生器以间隔阵列形式排布。
19.所述梯形结构为等腰梯形，所述外壳体的方形部分的两条侧壁上设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置，所述外壳体梯形结构的腰上设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置，所述外壳体梯形结构的上底设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置。本实施例中，同轴的相邻微波发生器分别为竖直/水平位姿布置，即让所述微波发生器的辐射口以不同的位姿对准内壳体。本实施例中，方形部分的两条侧壁上均设置一排微波发生器，外壳体梯形结构的腰上均设一排微波发生器，外壳体梯形结构的上底设有三排微波发生器，各微波加热器间隔横向、竖向，同时等腰梯形的腰为优选为45
°
，为此，能够最大程度的对物料通道内的待破碎料进行微波辐射。
20.所述底部方形的侧壁预设高度设有对射的光电开关，所述光电开关伸入内壳体内部，其外部由光电开关用石英套管4包裹。还包括温度传感器，所述温度传感器伸入内壳体内部，其外部由温度传感器用石英套管5包裹。上述光电开关和温度传感器均可选用现有技
术。
21.所述内壳体底部设有用于支撑内壳体底部的支撑架8，所述支撑架上连接有连接外壳体侧壁和内壳体外壁的横向固定杆9。本实施例中，支撑架为支撑腿式结构，其支撑于内壳体的角钢，通过角钢连接横向固定杆，以此保证整体装置的稳定性。
22.所述输送装置为辊筒线，具体包括多个并排设置的输送辊，各输送辊均穿过内壳体内部，输送辊的外部由输送辊用石英套管7包裹。
23.本实施例中提到的微波加热技术为现有技术，包括微波发生器和与其相连的控制单元，控制单元连接的每个微波发生器适合根据来自控制单元的控制信号辐射微波能量。
24.本实施例具体使用方法如下：装载硅棒料的石英托盘通过辊筒线到进入内壳体内，光电开关检测到石英托盘后，将检测信号输送至控制单元，控制单元控制微波发生器运作，其间通过温度传感器检测内壳体内部温度，达到预设标准后视为加热完成，辊筒线带动装载硅棒料的石英托盘进入后续工序。
25.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。


技术特征：
1.一种微波破碎装置加热腔，其特征在于，包括内壳体、外壳体、设置于内壳体与外壳体之间的保温层、输送机构以及微波加热机构，所述输送机构用于将待破碎物料输送至内壳体中，所述内壳体为石英板组成的方形石英框架，所述外壳体为不锈钢板搭建的底部方形、顶部梯形结构，所述微波加热机构包括多个微波发生器，所述外壳体的方形部分的侧壁、梯形结构的两条腰以及上底均设有微波发生器，以内壳体中心线为轴方向，同轴的所述微波发生器以间隔阵列形式排布。2.根据权利要求1所述的微波破碎装置加热腔，其特征在于，所述梯形结构为等腰梯形，所述外壳体的方形部分的两条侧壁上设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置，所述外壳体梯形结构的腰上设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置，所述外壳体梯形结构的上底设置的微波发生器以内壳体中心线为轴对称设置。3.根据权利要求1或2所述的微波破碎装置加热腔，其特征在于，所述底部方形的侧壁预设高度设有对射的光电开关，所述光电开关伸入内壳体内部，其外部由石英套管包裹。4.根据权利要求1或2所述的微波破碎装置加热腔，其特征在于，还包括温度传感器，所述温度传感器伸入内壳体内部，其外部由石英套管包裹。5.根据权利要求1所述的微波破碎装置加热腔，其特征在于，所述内壳体底部设有用于支撑内壳体底部的支撑架，所述支撑架上连接有连接外壳体侧壁和内壳体外壁的横向固定杆。6.根据权利要求1所述的微波破碎装置加热腔，其特征在于，所述输送机构为辊筒线，具体包括多个并排设置的输送辊，各输送辊均穿过内壳体内部，输送辊的外部由石英套管包裹。

技术总结
本实用新型提供一种微波破碎装置加热腔。本实用新型包括内壳体、外壳体、设置于内壳体与外壳体之间的保温层、输送机构以及微波加热机构，输送装置用于将待破碎物料输送至内壳体中，内壳体为石英板组成的方形石英框架，外壳体为不锈钢板搭建的底部方形、顶部梯形结构，所述微波加热机构包括多个微波发生器，外壳体上设有多个微波发生器，以内壳体中心线为轴方向，同轴的所述微波发生器以间隔阵列形式排布。本实用新型通过底部方形、顶部梯形结构的不锈钢结构，在其上设置间隔阵列形式排布的微波发生器，加热腔本体微波电磁场分布均匀，同时能够有效防止微波外溢，多组微波发生器同时作用，加快了微波加热时间，提高了微波加热效率。率。率。


技术研发人员：张小飞 侯贺 王钢 李东伟
受保护的技术使用者：大连威凯特科技有限公司
技术研发日：2021.09.22
技术公布日：2022/3/1