一种巨量转移装置的制作方法

1.本技术涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种巨量转移装置。


背景技术：

2.目前，随着社会经济发展，人们对于显示设备的高分辨率、高对比度、高亮度等要求越来越多，因此也推动了半导体行业的加工技术飞速发展，发光元件的种类也在不断研发当中变得越来越多。微米发光二极管(micro led)作为一种尺寸小且能自发光的新型发光单元，在亮度、分辨率、对比度、能耗、使用寿命、响应速度和热稳定性等方面具有更大的优势。micro led显示面板在制造过程中需要用到大量的micro led发光单元，而micro led的尺寸小，不适用传统发光二极管(light emitting diode,简称led)的转移技术，需要通过巨量转移技术将生长基板上的micro led转移到背板上。
3.但是，目前的加工装置上，通常转移用激光主要为单光束对应单机台方式，每次都只能加工一块显示面板，然后需要更换显示面板才能继续加工，生产效率低。
4.因此，现有技术还有待于改进和发展。


技术实现要素：

5.鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种巨量转移装置，旨在解决现有的加工装置上单束激光只能对单机台加工导致生产效率低的问题。
6.本技术的技术方案如下：
7.一种巨量转移装置，其中，包括激光器，至少两个巨量转移平台和光路控制部件，所述光路控制部件设于所述激光器的出光光路上；所述光路控制部件用于将所述激光器射出的光线从射向一个所述巨量转移平台转变成射向另一个所述巨量转移平台。
8.所述的巨量转移装置，其中，所述光路控制部件包括控制终端、步进电机和反射组件，所述步进电机与所述控制终端电连接；所述反射组件与所述步进电机电连接，所述步进电机在所述控制终端的控制下带动所述反射组件移动，以改变所述激光器射出的光线传播方向。
9.所述的巨量转移装置，其中，所述巨量转移平台包括原始位平台，所述原始位平台设置于所述激光器的出光光路上。
10.所述的巨量转移装置，其中，所述巨量转移平台还包括邻位平台；所述反射组件包括滑轨、第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜位于所述原始位平台入光的一侧，所述步进电机与所述第一反射镜电连接，用于带动所述第一反射镜在所述滑轨上滑动；所述第二反射镜位于所述邻位平台入光的一侧；其中，所述第一反射镜用于将所述激光器射出的光线导向所述第二反射镜，所述第二反射镜用于将所述第一反射镜反射的光线导向所述邻位平台。
11.所述的巨量转移装置，其中，所述邻位平台设有两个，两个所述邻位平台和所述原始位平台并列设置，且两个所述邻位平台分别位于所述原始位平台的两侧。
12.所述的巨量转移装置，其中，两个所述邻位平台和所述原始位平台的连线方向与所述原始位平台的入光方向垂直。
13.所述的巨量转移装置，其中，所述控制终端包括移动电脑、智能手机、智能手表、平板电脑中的一种或多种。
14.所述的巨量转移装置，其中，所述控制终端上设有信号发射器，所述步进电机上设有信号接收器，所述信号发射器与所述信号接收器通过蓝牙、wifi、5g中的一种或多种进行无线连接。
15.所述的巨量转移装置，其中，所述巨量转移装置还包括多个反射结构，多个所述反射结构均设于所述激光器的出光光路上。
16.所述的巨量转移装置，其中，所述巨量转移装置还包括聚光透镜，所述聚光透镜位于所述巨量转移平台入光的一侧。
17.与现有技术相比，本技术实施例具有以下优点：
18.本技术公开的巨量转移装置工作时设置至少两个巨量转移平台对显示面板进行加工，通过激光器发射激光，并在射出的激光的光路上设置光路控制部件，通过光路控制部件可以改变激光的光路，使激光可以在不同的巨量转移平台之间移动，从而当一个巨量转移平台在更换背板时，可以将激光转移到另外的巨量转移平台上进行加工，从而实现一束激光对应多个巨量转移平台，交替进行加工，而不需要关闭激光器等待，节省了激光器的数量，简化了巨量转移装置的结构，节省成本；并且使加工速度提升，提高巨量转移的工作效率。
附图说明
19.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本技术中巨量转移装置的结构示意图；
21.图2为本技术中巨量转移装置的另一结构示意图。
22.其中，10、激光器；20、巨量转移平台；21、原始位平台；22、邻位平台；30、光路控制部件；31、控制终端；32、步进电机；33、反射组件；331、滑轨；332、第一反射镜；333、第二反射镜；40、反射结构；50、聚光透镜。
具体实施方式
23.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
24.现有技术中半导体行业发展迅速，在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域被大量应用。随着社会的发展，科技的进步，为了适应人们越来越高的要求，半导体行业中的led显示技术也在不断进步，近年来，有机发光二极管
(organic light-emitting diode，简称oled)、mini led、micro led等显示技术的发展为显示屏的研究带来了新的活力。
25.micro led作为新一代的显示技术有高效率、高亮度、高可靠度及反应时间快等特点，并且具有自发光无需背光源的特性，更具节能、机构简易、体积小、薄型等优势，具有广阔的市场前景。
26.在新一代显示技术中，显示屏上的led芯片的体积小、数量多，制造过程中往往需要用巨量转移技术进行led芯片的转移。巨量转移过程即将led芯片在不同衬底上进行多次转移，最终实现将led芯片阵列排布到印刷有集成电路的背板上，并与背板上的集成电路实现电气连接的过程。巨量转移作为micro led工艺制程的核心工艺，主要包含选择性激光转移技术、pick&up技术、转印技术等，其中选择性激光转移技术为目前主流技术，但是，通常转移用激光主要为单光束对应单机台方式，所以在加工过程中每次只能对一个背板进行加工，而且加工完成后需要关闭激光，取出加工好的背板，然后再放入新的待加工背板，再开启激光进行加工；可见加工周期长，而且加工效率低，难免会影响巨量转移的工作效率。
27.参阅图1，本技术申请的一实施例中，公开了一种巨量转移装置，其中，包括激光器10，至少两个巨量转移平台20和光路控制部件30，所述光路控制部件30设于所述激光器10的出光光路上；所述光路控制部件30用于将所述激光器10射出的光线从射向一个所述巨量转移平台20转变成射向另一个所述巨量转移平台20。
28.本技术公开的巨量转移装置工作时设置至少两个巨量转移平台20对显示面板进行加工，通过激光器10发射激光，并在射出的激光的光路上设置光路控制部件30，通过光路控制部件30可以改变激光的光路，使激光可以在不同的巨量转移平台20之间移动，从而当一个巨量转移平台20在更换背板时，可以将激光转移到另外的巨量转移平台20上进行加工，从而实现一束激光对应多个巨量转移平台20，交替进行加工，而不需要关闭激光器10等待，节省了激光器10的数量，简化了巨量转移装置的结构，节省成本；并且使加工速度提升，提高巨量转移的工作效率。
29.具体的，本实施例中公开的多个巨量转移平台20可以分别对不同尺寸的背板进行加工，实现多种型号的产品同时生产制造，提高加工效率；当然也可以对相同尺寸的背板进行加工，实现生产效率的提高。
30.如图1和图2所示，作为本实施例的一种实施方式，公开了所述光路控制部件30包括控制终端31、步进电机32和反射组件33，所述步进电机32与所述控制终端31电连接；所述反射组件33与所述步进电机32电连接，所述步进电机32在所述控制终端的控制下带动所述反射组件33移动，以改变所述激光器10射出的光线传播方向。光线都是沿直线传播的，当光线照射到反射组件33上时就会产生光路的改变，设置步进电机32和控制终端31，当一个背板加工完成时，就需要停止激光照射，此时通过操作人员操控控制终端31，或者控制终端31自动通过自动化程序生成指令给步进电机32发送特定的电信号，使步进电机32工作，带动反射组件33移动，直到反射组件33移动到激光的光路上，遮挡住加工好的背板；通过反射组件33反射激光，使激光转移到其他巨量转移平台20上，立马进行下一次的加工；所以在不断地转换激光光路的过程中，可以保持激光持续高效地工作，避免停顿，增加加工过程的流畅性。
31.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述控制终端31包括移动电脑、
智能手机、智能手表、平板电脑中的一种或多种。随着科技技术的发展，现今的众多移动终端上能够具备多样的功能，使用移动电脑、智能手机、智能手表、平板电脑等等设备作为控制终端31，可以迅速反应，而且可以通过软件设置对步进电机32进行自动或手动控制，或者两种操作方式之间也可以快速切换，简化光路控制部件30的操作，降低巨量转移装置的使用难度。
32.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述控制终端31上设有信号发射器(附图中未示出)，所述步进电机32上设有信号接收器(附图中未示出)，所述信号发射器与所述信号接收器通过蓝牙、wifi、5g中的一种或多种进行无线连接。因为巨量转移过程需要使用激光，激光具有较大的危险性，所以为了保护操作人员的安全，设置控制终端31与步进电机32无线连接，蓝牙、wifi、5g等无线信号传输方式速度快、传输稳定，不受设备的位置影响，节省导线、节省成本的同时，提高巨量转移装置的安全性。
33.参阅图2，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述巨量转移平台20包括原始位平台21，所述原始位平台21设置于所述激光器10的出光光路上。当巨量转移装置开始工作时，原始位平台21设置在激光器10的出光光路上，所以不需要光路控制部件30的调整就可以直接进行加工，光路控制部件30只需要在原始位平台21上加工完成后再对激光的光路进行调整，使激光转移到其他巨量转移平台20上进行加工，所以简化了光路控制部件30的结构。
34.如图2所示，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述巨量转移平台20还包括邻位平台22；所述反射组件33包括滑轨331、第一反射镜332和第二反射镜333，所述第一反射镜332位于所述原始位平台21入光的一侧，所述步进电机32与所述第一反射镜332电连接，用于带动所述第一反射镜332在所述滑轨331上滑动；所述第二反射镜333位于所述邻位平台22入光的一侧；其中，所述第一反射镜332用于将所述激光器10射出的光线导向所述第二反射镜333，所述第二反射镜333用于将所述第一反射镜332反射的光线导向所述邻位平台22。在设置了原始位平台21的基础上，设置邻位平台22增加巨量转移装置的加工效率；如图2所示，在激光的光路上设置滑轨331，然后让第一反射镜332在滑轨331上滑动，当原始位平台21上加工完成后，第一反射镜332滑动到激光的光路上，使激光可以传输到邻位平台22上继续加工；当邻位平台22上加工完成后，第一反射镜332反向滑动，避开激光的光路，使激光又可以回到原始位平台21上，进行下一次的照射加工；设置第二反射镜333配合第一反射镜332则可以将激光的光路调整到更广的方向，减少邻位平台22的位置限制；例如，原始位平台21水平设置，加工过程中样品保持平稳，对应的激光器10射向原始位平台21的激光应该是竖直方向；如果只设置第一反射镜332，第一反射镜332将激光导向邻位平台22时，一定是与竖直方向产生了一定夹角的，而邻位平台22要么水平放置，但是照射到的激光是倾斜射入的，激光的位置和照射范围不好控制，影响巨量转移的准确度，要么灵位平台倾斜放置，与激光的照射方向垂直，这样邻位平台22上的样品又难以保持稳定，在加工过程中容易滑动，也会影响巨量转移的正常进行；所以，设置第二反射镜333，使激光经过再一次的反射，就可以射向任意方向了，即使邻位平台22是水平放置的，也可以接收到竖直射入的激光。具体的，本实施例中公开的第一反射镜332与第二反射镜333可以设置为结构相同，尺寸相同的两块反射镜，以此节省成本。
35.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述邻位平台22设有两个，两个
所述邻位平台22和所述原始位平台21并列设置，且两个所述邻位平台22分别位于所述原始位平台21的两侧。当邻位平台22与原始位平台21并列设置时，需要射入平行的激光，如上所述，光路控制部件30通过第一反射镜332和第二反射镜333的配合可以做到，但是沿一个方向只能设置一个第一反射镜332，所以将第一反射镜332相反设置，都设置在同一个滑轨331上，减少滑轨331的使用数量，同时使两个第一反射镜332反射的激光路径互不干扰，此时两个邻位平台22对应两个第一反射镜332的位置就分别设置在原始位平台21的两侧，可以较好地实现对三个巨量转移平台20的交替加工。具体的，在本实施例的另一实施方式中，可以围绕激光的光路设置更多的反射组件33，对应的可以以原始位平台21为中心，围绕原始位平台21设置若干个邻位平台22，比如呈圆周排列、正方形排列、镜像排列等等，可以根据用户需求自由选择。
36.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了两个所述邻位平台22和所述原始位平台21的连线方向与所述原始位平台21的入光方向垂直。当多个巨量转移平台20并排设置时高度相同，方便操作人员更换背板，不需要反复调整。
37.如图1和图2所示，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述巨量转移装置还包括多个反射结构40，多个所述反射结构40均设于所述激光器10的出光光路上。设置反射结构40是为了改变激光的光路，受到巨量转移装置的安装位置限制，或者生产车间内空间的限制，或者其他因素，可能激光器10无法安装在巨量转移平台20的正上方，此时设置多个反射结构40使激光器10射出的光线经过一次或者多次的反射，而转变成垂直于巨量转移平台20的方向传播，每个巨量转移平台20上的入射光线都是垂直于入光面的，而每个巨量转移平台20又是处于同一平面上的，所以避免了巨量转移平台20相互之间的影响。
38.如图1和图2所示，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述巨量转移装置还包括聚光透镜50，所述聚光透镜50位于所述巨量转移平台20入光的一侧。激光的光束具有一定宽度，但是这个宽度与巨量转移平台20上需要的加工光束的宽度不是一定相等的，所以需要调节，聚光透镜50即可调节激光器10射出的激光的光线，使激光更加聚集，增加光束的强度和准度，提高加工效率。另外，如果多个巨量转移平台20上加工的样品尺寸不同，对应的还可以在每个巨量转移平台20的入光侧都设置聚光透镜50，但是各个聚光透镜50的聚光效果不同，适配各个巨量转移平台20，从而灵活调节，增加巨量转移装置的使用性。
39.综上所述，本技术公开了一种巨量转移装置，其中，包括激光器10，至少两个巨量转移平台20和光路控制部件30，所述光路控制部件30设于所述激光器10的出光光路上；所述光路控制部件30用于将所述激光器10射出的光线从射向一个所述巨量转移平台20转变成射向另一个所述巨量转移平台20。本技术公开的巨量转移装置工作时设置至少两个巨量转移平台20对显示面板进行加工，通过激光器10发射激光，并在射出的激光的光路上设置光路控制部件30，通过光路控制部件30可以改变激光的光路，使激光可以在不同的巨量转移平台20之间移动，从而当一个巨量转移平台20在更换背板时，可以将激光转移到另外的巨量转移平台20上进行加工，从而实现一束激光对应多个巨量转移平台20，交替进行加工，而不需要关闭激光器10等待，节省了激光器10的数量，简化了巨量转移装置的结构，节省成本；并且使加工速度提升，提高巨量转移的工作效率。
40.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。
41.需要说明的是，本技术以micro led的巨量转移过程为例对本技术的具体结构及工作原理进行介绍，但本技术的应用并不以micro led加工为限，也可以应用到其它类似工件的生产加工中。
42.应当理解的是，本技术并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本技术的范围仅由所附的权利要求来限制。
43.以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。