聚合物及其制造方法以及抗蚀剂用树脂组合物与流程

技术特征：
1.聚合物的制造方法，其为包含来源于对羟基苯乙烯的结构单元、和具有羧酸被缩醛基保护的结构的结构单元的聚合物的制造方法，所述制造方法的特征在于，在有机溶剂中，在共轭酸的pka为12以上的碱的存在下，于0℃～50℃的温度范围内，使包含来源于对乙酰氧基苯乙烯的结构单元、和具有羧酸被缩醛基保护的结构的结构单元的聚合物进行脱保护反应，将聚合物中的来源于对乙酰氧基苯乙烯的结构单元转化为来源于对羟基苯乙烯的结构单元。2.如权利要求1所述的聚合物的制造方法，其中，具有羧酸被缩醛基保护的结构的结构单元为式(ii)表示的结构单元，式(ii)中，r1表示氢原子或甲基，r2表示碳原子数1～10的烷基；r3表示碳原子数1～15的烷基、碳原子数5～15的饱和脂肪族环式基团、碳原子数6～15的芳基、碳原子数7～15的烷基芳基、碳原子数7～15的芳烷基；另外，r2和r3可以键合而与r3所键合的氧原子一起形成5～8元环的杂环式基团。3.如权利要求1或2所述的聚合物的制造方法，其中，共轭酸的pka为12以上的碱是选自由氢氧化钠、氢氧化钾、甲醇钠、甲醇钾、及二氮杂双环十一碳烯组成的组中的至少一种。4.如权利要求1～3中任一项所述的聚合物的制造方法，其中，脱保护反应中使用的有机溶剂为选自由甲醇、乙醇、异丙醇、丙二醇单甲基醚、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸异丙酯、乙酸丙酯、丙酸甲酯、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯及丙二醇单甲基醚乙酸酯组成的组中的至少一种。5.如权利要求1～4中任一项所述的聚合物的制造方法，其在脱保护反应的温度为20℃～50℃的范围内进行。6.聚合物，其特征在于，具有式(i)表示的结构单元及式(ii)表示的结构单元，并且，式(iii)表示的结构单元及式(iv)表示的结构单元的合计相对于全部结构单元的合计100摩尔％而言为1摩尔％以下，
式(ii)中，r1表示氢原子或甲基，r2表示碳原子数1～10的烷基；r3表示碳原子数1～15的烷基、碳原子数5～15的饱和脂肪族环式基团、碳原子数6～15的芳基、碳原子数7～15的烷基芳基、碳原子数7～15的芳烷基；另外，r2和r3可以键合而与r3所键合的氧原子一起形成5～8元环的杂环式基团；式(iii)中，r1的含义与式(ii)的r1相同；式(iv)中，r2及r3的含义与式(ii)的r2及r3相同。7.抗蚀剂用树脂组合物，其包含权利要求6所述的聚合物。

技术总结
本发明的课题是提供聚合物及其制造方法，所述聚合物为包含来源于对羟基苯乙烯的结构单元、和具有羧酸被缩醛基保护的结构的结构单元的聚合物，并且在制造过程中由于缩醛基的脱离、缩醛基的移动而产生的结构单元极少。本发明的解决手段为：在共轭酸的pKa为12以上的碱的存在下，于50℃以下，使含有包含来源于对乙酰氧基苯乙烯的结构单元、和具有羧酸被缩醛基保护的结构的结构单元的聚合物的溶液进行脱保护反应。保护反应。


技术研发人员：相原大路 益川友宏
受保护的技术使用者：丸善石油化学株式会社
技术研发日：2020.08.06
技术公布日：2022/2/23