挠曲啮合式齿轮装置及挠曲啮合式齿轮装置的制造方法与流程

挠曲啮合式齿轮装置及挠曲啮合式齿轮装置的制造方法
1.本技术主张基于2020年8月12日申请的日本专利申请第2020-136089号的优先权。该日本技术的全部内容通过参考而援用于本说明书中。
技术领域
2.本发明涉及一种挠曲啮合式齿轮装置及挠曲啮合式齿轮装置的制造方法。


背景技术：

3.专利文献1中公开了一种挠曲啮合式齿轮装置，其具备起振体、被起振体挠曲变形的外齿轮、与外齿轮啮合的内齿轮及配置于起振体与外齿轮之间的起振体轴承。在挠曲啮合式齿轮装置中，通过使截面呈非圆形的起振体旋转，外齿轮经由起振体轴承相对旋转，外齿轮围绕起振体挠曲变形。
4.专利文献1：日本特开2018-091444号公报
5.在挠曲啮合式齿轮装置中，起振体轴承的内圈侧滚动面在耐久性方面处于严峻的状态，因此期望提高其耐久性。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种能够提高内圈侧滚动面的耐久性的挠曲啮合式齿轮装置。
7.本发明的一种实施方式提供一种挠曲啮合式齿轮装置，其具备起振体、被所述起振体挠曲变形的外齿轮、与所述外齿轮啮合的内齿轮及配置于所述起振体与所述外齿轮之间的起振体轴承，其中，
8.所述起振体轴承的供滚动体滚动的内圈侧滚动面实施有固化处理，
9.所述固化处理为对所述内圈侧滚动面赋予运行预定时间运行后所述内圈侧滚动面的表面硬度变得比运行前的所述内圈侧滚动面的表面硬度更高的特性的处理。
10.本发明的另一实施方式提供一种挠曲啮合式齿轮装置，其具备起振体、被所述起振体挠曲变形的外齿轮、与所述外齿轮啮合的内齿轮及配置于所述起振体与所述外齿轮之间的起振体轴承，其中，
11.所述起振体轴承的供滚动体滚动的内圈侧滚动面实施有固化处理，
12.所述固化处理为对所述内圈侧滚动面赋予运行预定时间后所述内圈侧滚动面中的与所述滚动体接触的滚动部位的表面硬度变得比未与所述滚动体接触的非滚动部位的表面硬度更高的特性的处理。
13.本发明的一种实施方式提供一种挠曲啮合式齿轮装置的制造方法，所述挠曲啮合式齿轮装置具备起振体、被所述起振体挠曲变形的外齿轮、与所述外齿轮啮合的内齿轮及配置于所述起振体与所述外齿轮之间的起振体轴承，其中，
14.所述方法具有固化处理工序，在所述固化处理工序中对所述起振体轴承的供滚动体滚动的内圈侧滚动面实施固化处理，
15.在所述固化处理工序中进行如下处理：对所述内圈侧滚动面赋予使所述挠曲啮合式齿轮装置运行预定时间后所述内圈侧滚动面的表面硬度变得比运行前的所述内圈侧滚动面的表面硬度更高的特性的处理。
16.本发明的另一实施方式提供一种挠曲啮合式齿轮装置的制造方法，所述挠曲啮合式齿轮装置具备起振体、被所述起振体挠曲变形的外齿轮、与所述外齿轮啮合的内齿轮及配置于所述起振体与所述外齿轮之间的起振体轴承，其中，
17.所述方法具有固化处理工序，在所述固化处理工序中对所述起振体轴承的供滚动体滚动的内圈侧滚动面实施固化处理，
18.在所述固化处理工序中进行如下处理：对所述内圈侧滚动面赋予使所述挠曲啮合式齿轮装置运行预定时间后所述内圈侧滚动面中的与所述滚动体接触的滚动部位的表面硬度变得比未与所述滚动体接触的非滚动部位的表面硬度更高的特性的处理。
19.根据本发明，能够提供一种起振体轴承中的内圈侧滚动面的耐久性得到提高的挠曲啮合式齿轮装置以及挠曲啮合式齿轮装置的制造方法。
附图说明
20.图1是表示本发明的实施方式1所涉及的挠曲啮合式齿轮装置的剖视图。
21.图2中(a)是表示图1的起振体轴的立体图，图2中(b)是表示起振体的与旋转轴垂直的截面的图。
22.图3是表示实现起振体轴的固化处理的热处理的一例的时序图。
23.图4是表示本发明的实施方式2所涉及的挠曲啮合式齿轮装置的剖视图。
24.图中：1、1a-挠曲啮合式齿轮装置，10-起振体轴，10a-起振体，h1-滚动部位(第2部分)，h2-滚动部位(第1部分)，h3-非滚动部位，w1-长轴范围，w2-短轴范围，12-外齿轮，15-起振体轴承，15a-滚动体，15b-外圈，15d-内圈，22-输出相反侧内齿轮(第2内齿轮)，22g-内齿部，23-输出侧内齿轮(第1内齿轮)，23g-内齿部，31、32-输入轴承，33-主轴承。
具体实施方式
25.以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。
26.图1是表示本发明的实施方式1所涉及的挠曲啮合式齿轮装置的剖视图。以下，将沿着图1的旋转轴o1的方向称为轴向，将与旋转轴o1垂直的方向称为径向，将以旋转轴o1为中心的旋转方向称为周向。而且，在轴向上，将输出减速后的旋转运动的第2罩体27侧称为输出侧，将与其相反的一侧称为输出相反侧。
27.图1的挠曲啮合式齿轮装置1为外齿轮12挠曲变形并且将旋转运动减速后传递的筒型的挠曲啮合式齿轮装置。挠曲啮合式齿轮装置1具备：起振体轴10：外齿轮12，被起振体轴10挠曲变形；输出相反侧内齿轮22及输出侧内齿轮23，与外齿轮12啮合；及起振体轴承15。而且，挠曲啮合式齿轮装置1还具备外壳24、第1罩体26、第2罩体27、输入轴承31、32及主轴承33。输出侧内齿轮23相当于本发明所涉及的第1内齿轮。输出相反侧内齿轮22相当于本发明所涉及的第2内齿轮。
28.起振体轴10呈空心轴状，其具有：起振体10a，与旋转轴(中心轴)o1垂直的截面的外形为椭圆形；及轴部10b、10c，设置于起振体10a的轴向上的两侧且与旋转轴o1垂直的截
面的外形为圆形。另外，椭圆形并不只限定于几何学严格意义上的椭圆，其还包括大致椭圆。起振体轴10以旋转轴o1为中心进行转动，起振体10a的与旋转轴o1垂直的截面中的外形形状的中心与旋转轴o1一致。起振体轴10为与马达等驱动源(省略图示)连结从而输入驱动力的输入轴。在实施方式1中，起振体10a的外周面相当于供起振体轴承15的滚动体滚动的内圈侧滚动面。
29.外齿轮12为具有挠性的圆筒状的金属，在其外周设置有齿。
30.起振体轴承15配置于起振体10a与外齿轮12之间。起振体轴承15具有多个滚动体15a、保持多个滚动体15a的保持器15c及外圈15b。滚动体15a为滚子，但是也可以为球体。多个滚动体15a包括位于一个内齿部22g的径向内侧的输出相反侧的多个滚动体15a及位于另一个内齿部23g的径向内侧的输出侧的多个滚动体15a。多个滚动体15a将起振体10a的外周面作为内圈侧滚动面并且将外圈15b的内周面作为外圈侧滚动面进行滚动。滚动面也被称为轨道面。
31.输出相反侧内齿轮22和输出侧内齿轮23分别在内周部具有内齿部22g、23g。一个内齿部22g与外齿轮12的比轴向上的中央更靠输出相反侧的齿部噛合，另一个内齿部23g与外齿轮12的比轴向上的中央更靠输出侧的齿部噛合。输出相反侧内齿轮22与外齿轮12的齿数不同，输出侧内齿轮23与外齿轮12的齿数一致。另外，也可以将输出相反侧内齿轮22侧设为齿数一致，将输出侧内齿轮23侧设为齿数不同。
32.外壳24与输出相反侧内齿轮22连结在一起，从而与输出相反侧内齿轮22一同覆盖内齿部22g、23g及外齿轮12的径向外侧。第1罩体26与输出相反侧内齿轮22连结在一起，并且覆盖起振体轴10的输出相反侧的外周部。第2罩体27与输出侧内齿轮23连结在一起，并且覆盖起振体轴10的输出侧的外周部。第1罩体26经由输入轴承31将起振体轴10支承为旋转自如。第2罩体27经由输入轴承32将起振体轴10支承为旋转自如。外壳24经由主轴承33将输出侧内齿轮23支承为旋转自如。
33.＜动作说明＞
34.若起振体轴10通过马达等驱动源的驱动而旋转，则起振体10a的运动就会传递至外齿轮12。此时，外齿轮12的形状被限制成顺应起振体10a的外周面的形状，从轴向观察时，外齿轮12被挠曲成具有长轴部分和短轴部分的椭圆状。而且，外齿轮12在长轴部分与被固定的输出相反侧内齿轮22啮合。因此，外齿轮12不会以与起振体10a相同的转速进行旋转，而是起振体10a在外齿轮12的内侧相对旋转。并且，随着该相对旋转，外齿轮12以其长轴位置和短轴位置沿周向移动的方式挠曲变形。该变形的周期与起振体轴10的旋转周期成比例。
35.在外齿轮12挠曲变形时，其长轴位置移动，因此外齿轮12与输出相反侧内齿轮22之间的啮合位置沿旋转方向发生变化。在此，例如，若将外齿轮12的齿数设为100且将输出相反侧内齿轮22的齿数设为102，则啮合位置每旋转一圈，外齿轮12与输出相反侧内齿轮22之间的啮合齿依次错开，由此，外齿轮12进行旋转(自转)。若设为上述齿数，则起振体轴10的旋转运动以100:2的减速比减速后传递至外齿轮12。
36.另一方面，外齿轮12还与输出侧内齿轮23啮合，因此，通过起振体轴10的旋转，外齿轮12与输出侧内齿轮23之间的啮合位置也沿旋转方向发生变化。在此，若将输出侧内齿轮23的齿数设为与外齿轮12的齿数相同，则外齿轮12与输出侧内齿轮23并不相对旋转，外
齿轮12的旋转运动以1:1的减速比传递至输出侧内齿轮23。由此，起振体轴10的旋转运动以100:2的减速比减速后传递至输出侧内齿轮部件23及第2罩体27，接着该旋转运动输出至驱动对象的外部部件。
37.＜起振体轴的细节＞
38.图2中(a)是表示起振体轴的立体图，图2中(b)表示起振体的与旋转轴垂直的截面的图。如上说明，起振体10a的外周面相当于供起振体轴承15的滚动体15a滚动的内圈侧滚动面。起振体轴10的材料是钢，更具体而言，在fe(e)中含有c(碳)：0.18～0.23重量％、si(硅)：0.15～0.35重量％、mn(锰)：0.60～0.90重量％、p(磷)：0.030重量％以下、s(硫)：0.030重量％以下、ni(镍)：0.25重量％以下、cr(铬)：0.90～1.20重量％、mo(钼)：0.15～0.25重量％的钢。
39.如图2中(a)所示，起振体10a的外周面包括与输出相反侧的滚动体15a接触的输出相反侧的滚动部位h1、与输出侧的滚动体15a接触的输出侧的滚动部位h2及未与滚动体15a接触的非滚动部位h3。在图2中(a)中，用双点划线示出了各部位h1～h3之间的边界。非滚动部位h3位于内圈侧滚动面的轴向上的中央部及两端部等。此外，如图2中(b)所示，在周向上，起振体10a的外周面包括长轴位置p1周边的范围(例如，从长轴位置p1
±
70度的范围)的长轴范围w1及为短轴位置p2周边的范围(例如，从短轴位置p2
±
20度的范围)的短轴范围w2。长轴位置p1是指：沿与旋转轴o1垂直的截面剖切起振体10a而得的截面中，椭圆状的外周上的最大半径位置；短轴位置p2是指：在相同截面中，椭圆状的外周上的最小半径位置。滚动部位h1位于输出相反侧内齿轮22的内齿部22g的径向内侧，其相当于本发明中的第2部分。滚动部位h2位于输出侧内齿轮23的内齿部23g的径向内侧，其相当于本发明中的第1部分。
40.在起振体10a的外周面(内圈侧滚动面)的各部中，与滚动体15a的接触表面压力不同。理所当然，与非滚动部位h3相比，滚动部位h1、h2中的滚动体15a的接触表面压力更大。与短轴范围w2相比，长轴范围w1中的滚动体15a的接触表面压力更大，与输出相反侧的滚动部位h1相比，输出侧的滚动部位h2中的滚动体15a的接触表面压力更大。另外，也可以采用输出侧的滚动部位h2中的滚动体15a的接触表面压力相比输出相反侧的滚动部位h1更小的结构。
41.＜固化处理＞
42.单独对起振体轴10实施固化处理。固化处理为对内圈侧滚动面赋予运行预定时间后的内圈侧滚动面的硬度变得比运行前的内圈侧滚动面的硬度更高的特性的处理。上述运行是指：对组装有起振体轴10的(新的)挠曲啮合式齿轮装置1施加负载以使其减速运动。上述固化处理通过如下热处理来实现。
43.图3是表示实现起振体轴的固化处理的热处理的一例的时序图。在该热处理中，首先，将固化处理前的起振体轴10在炉内加热至950℃～980℃，待其均热至该温度之后，在该温度下将炉内的气氛切换为烃类气体(例如，甲烷、丙烷、乙烯、乙炔等)，并维持该状态，然后进行冷却(第1热工序j1)。接着，将起振体轴10在炉内加热至850℃，待其均热至该温度之后，在该温度下将炉内的气氛切换为上述的烃类气体，并维持该状态，然后进行冷却(第2热工序j2)。接着，将起振体轴10在炉内加热至880℃，待其均热至该温度之后，在该温度下将炉内的气氛切换为nh3气体，并维持该状态，然后，使其比第1热工序j1及第2热工序j2更急
速地冷却至比第1热工序j1及第2热工序j2更低的温度(第3热工序j3)。然后，在160℃～180℃下进行数小时的回火(第4热工序j4)，最终完成固化处理。
44.通过将第1热工序j1的温度设为高温，能够在短时间内获得一定以上的固化深度。但是，若将温度进一步提高到980℃以上，则容易产生晶粒的粗大化等不良影响，因此第1热工序j1的温度设定为950℃～980℃。另外，赋予上述特性的固化处理不只限于上述热处理。
45.通过上述热处理，碳及氮侵入并扩散到起振体轴10的表面部，在冷却过程中相变的马氏体和未相变的残留奥氏体会分布在表面部。而且，起振体轴10的表面部获得下述特性表1所示的特性。
46.[表1]
[0047]
[特性表1]
[0048]
材料特性值ecd[mm]1.2-1.8残留γ[体积％]35-45碳化物量[面积％]5-15
[0049]
在此，ecd为有效硬化深度(effective case depth)，在本实施方式中，例如表示从表面到维氏硬度550hv处为止的深度。残留γ表示残留奥氏体在总体积中所占体积比例。碳化物量表示表面部的截面上的析出的碳化物的面积比例。
[0050]
这些表面部的特性组合起来实现运行预定时间后起振体10a的外周面(内圈侧滚动面)的硬度变得相比运行前更高的特性。通常，在供滚动体滚动的任意轴承的内圈侧滚动面，基于由滚动体施加的荷载的反复变动，内圈侧滚动面会产生滚动疲劳。而且，若滚动疲劳达到疲劳寿命，则会产生以表面为起点的断裂或凹痕等损伤。可以认为金属表面的硬度的下降是导致这种损伤的原因之一。另一方面，根据通过固化处理而具有运行预定时间之后硬度上升的特性的起振体10a的外周面，起振体轴承15的内圈侧滚动面的硬度在挠曲啮合式齿轮装置1的运行中上升。因此，硬度的降低引起的断裂或凹痕等损伤得到抑制，耐久性方面处于严峻的状态的起振体轴承15的内圈侧滚动面的耐久性得到提高。而且，能够延长挠曲啮合式齿轮装置1的寿命。
[0051]
上述的运行预定时间硬度就会变高的特性只要是如下特性即可，即，例如施加额定负载(最大转矩)，并在额定转速的5～8成的转速(平均转速为额定转速的6.5成左右)的运行条件下进行了1万次旋转以上的运行时，内圈侧滚动面的硬度变得比运行前更高的特性。通过该特性，耐久性方面处于严峻的状态的起振体轴承15的内圈侧滚动面的耐久性得到提高，能够延长挠曲啮合式齿轮装置1的寿命。
[0052]
运行预定时间硬度就会变高的特性优选为在上述1万次旋转的运行的前后硬度增加5％以上的特性。并且，上述特性更优选为在上述运行条件下经2万次旋转时～5万次旋转时维持1万次旋转时的硬度的
±
3％以上的硬度的特性。并且，上述特性进一步优选为在上述运行条件下经1万次旋转时～5万次旋转时硬度逐渐增加的特性。通过这种特性，能够进一步延长挠曲啮合式齿轮装置1的寿命。
[0053]
运行预定时间硬度就会变高的特性为通过使滚动体15a对起振体10a的外周面(内圈侧滚动面)施加荷载的同时进行滚动而硬度上升的特性。因此，运行预定时间硬度就会变高的特性可以为并未呈现在起振体10a的外周面的整个区域而仅呈现在滚动体15a的接触
表面压力大的部位的特性。即，可以为呈现在接触表面压力变高的输出侧的滚动部位h2、或滚动部位h1、h2的长轴范围w1的特性。另外，只要具有并不是长轴范围w1的整个角度范围的硬度在运行之后上升而是长轴范围w1的一部分角度范围的硬度在运行之后上升的特性即可。而且，非滚动部位h3并不承受来自滚动体15a的接触表面压力，在运行前后，硬度的变化小。因此，运行预定时间硬度就会变高的特性还可以描述为如下特性：运行预定时间后滚动部位h1、h2的硬度变得高于非滚动部位h3的硬度的特性。
[0054]
而且，滚动体15a的接触表面压力大的部位的硬度上升率会变得更高。即，与输出相反侧的滚动部位h1相比，输出侧的滚动部位h2在运行前后的硬度的上升率更高，与短轴范围w2相比，长轴范围w1在运行前后的硬度的上升率更高。
[0055]
＜硬度上升的特性的确认方法＞
[0056]
接着，对上述固化处理后的起振体轴10的通过运行而硬度上升的特性的确认方法进行说明。起振体10a的外周面每次从滚动体15a承受荷载时特性一点一点地变化，但是在如下条件下运行时，能够容易识别出硬度的上升。
[0057]
运行条件1：施加额定负载(最大转矩)，并以额定转速的5～8成的速度(平均转速为额定转速的6.5成左右)连续运行1万次。
[0058]
关于实施方式1的挠曲啮合式齿轮装置1，若在出厂时(新产品时)和运行条件1的运行后分别取出起振体轴10而测量起振体10a的各部的硬度，则可获得如下表所示的测量结果。
[0059]
[表2]
[0060]
[测量结果1]
[0061][0062]
表中的“长轴输出相反侧”表示长轴范围w1的滚动部位h1(参考图2)，“短轴输出相反侧”表示短轴范围w2的滚动部位h1。“长轴输出侧”表示长轴范围w1的滚动部位h2，“短轴输出侧”表示短轴范围w2的滚动部位h2。“非滚动部位”表示非滚动部位h3。“硬度”表示将试验力设为300gf(1gf≈9.8mn)时的维氏硬度。
[0063]
如测量结果1所示，在起振体10a的外周面中，从滚动体15a承受荷载的滚动部位h1、h2的硬度在运行后相比运行前上升。而且，滚动体15a的接触表面压力高的长轴范围w1的硬度的上升率高于短轴范围w2的硬度的上升率，滚动体15a的接触表面压力高的输出侧的滚动部位h2的硬度的上升率高于输出相反侧的滚动部位h1的硬度的上升率。由于非滚动部位h3不会在运行中从滚动体15a承受荷载，因此硬度的变化小，与运行前的滚动部位h1、h2的硬度相等。
[0064]
如上所述，根据实施方式1的挠曲啮合式齿轮装置1，对起振体轴承15的内圈侧滚动面(即，起振体10a的外周面)实施了固化处理。而且，该固化处理为对内圈侧滚动面赋予运行预定时间后表面硬度变得高于运行前的硬度的特性的处理。换言之，上述固化处理为对内圈侧滚动面赋予运行预定时间后滚动部位h1、h2的表面硬度变得高于非滚动部位h3的表面硬度的特性的处理。通过实施这种固化处理，起振体10a的外周面的硬度在挠曲啮合式
齿轮装置1的运行中上升，能够抑制硬度的降低引起的断裂或凹痕等损伤。因此，能够提高挠曲啮合式齿轮装置1的耐久性。
[0065]
而且，根据实施方式1的挠曲啮合式齿轮装置1，起振体10a的外周面中的通过运行而硬度上升的部位包含在长轴范围w1。与其他区域相比，长轴范围w1从滚动体15a承受更高的接触表面压力，在耐久性方面处于严峻的状态。因此，通过使该部分的硬度基于运行而上升从而提高耐久性，能够进一步提高挠曲啮合式齿轮装置1的耐久性。另外，无需长轴范围w1的整个范围的硬度在运行后相比运行前变高，只要长轴范围w1的一部分范围的硬度在运行后相比运行前变高即可。优选地，只需长轴范围w1中的耐久性方面处于严峻的状态的范围的硬度得到上升从而能够提高耐久性即可。
[0066]
而且，根据实施方式1的挠曲啮合式齿轮装置1，起振体10a的外周面中的通过运行而硬度上升的部位包括输出侧的滚动部位h2。在实施方式1的结构中，与输出相反侧的滚动部位h1相比，输出侧的滚动部位h2从滚动体15a承受更高的接触表面压力，耐久性方面处于严峻的状态。因此，通过使该部分的硬度基于运行而上升从而提高耐久性，能够进一步提高挠曲啮合式齿轮装置1的耐久性。另外，在采用输出相反侧的滚动部位h1从滚动体15a承受的接触表面压力相比输出侧的滚动部位h2更高的结构的情况下，通过运行而硬度上升的部位包括输出相反侧的滚动部位h2即可。
[0067]
而且，根据实施方式1的挠曲啮合式齿轮装置1，起振体轴10的固化处理为在起振体10a的外周表面部中将残留奥氏体变为35～45体积％且将碳化物量变为5～15面积％的处理。通过这种表面部的相变及组成，容易实现通过运行而硬度上升从而提高耐久性的表面部的特性。
[0068]
(实施方式2)
[0069]
图4是表示本发明的实施方式2所涉及的挠曲啮合式齿轮装置的剖视图。实施方式2的挠曲啮合式齿轮装置1a与实施方式1的不同点在于起振体轴承15具有内圈15d，其他构成要件则与实施方式1相同。在实施方式2中，对起振体轴10可实施固化处理，也可以不实施固化处理。
[0070]
内圈15d的与旋转轴(中心轴)o1垂直的截面的外周形状为椭圆状。具体而言，内圈15d在外嵌于起振体10a之前的状态下为正圆形状，而外嵌于起振体10a则呈椭圆状。椭圆形并不只限定于几何学严格意义上的椭圆，其还包括大致椭圆。内圈15d外嵌于起振体轴10的起振体10a并且与起振体10a一同旋转。内圈15d的外周面成为供滚动体15a滚动的内圈侧滚动面。与实施方式1的起振体10a的外周面同样地，内圈15d的外周面包括与滚动体15a接触的输出相反侧的滚动部位、输出侧的滚动部位及非滚动部位，在周向上，也与实施方式1的起振体10a的外周面同样地包括长轴区域和短轴区域。
[0071]
内圈15d的材料与实施方式1的起振体轴承15的材料相同。
[0072]
单独对内圈15d实施固化处理。固化处理与实施方式1的对起振体轴承15实施的固化处理相同。通过固化处理对内圈15d赋予的特性、相变及组成、以及运行预定时间后及运行前的各部的硬度与实施方式1的起振体10a的外周面相同。
[0073]
在实施方式2的挠曲啮合式齿轮装置1a中，起振体轴承15的内圈15d的外周面从滚动体15a承受大的荷载，在耐久性方面处于严峻的状态。根据实施方式2的挠曲啮合式齿轮装置1a，内圈15d的外周面的硬度在挠曲啮合式齿轮装置1a的运行中上升，能够抑制硬度降
低引起的断裂或凹痕等损伤。因此，能够提高挠曲啮合式齿轮装置1a的耐久性。另外，在实施方式2的挠曲啮合式齿轮装置1a中也能够获得与实施方式1中说明的效果相同的效果。在实施方式1的效果的说明中，若将起振体10a的外周面替换为内圈15d的外周面，则可以获得实施方式2的效果。
[0074]
以上，对本发明的各实施方式进行了说明。但是，本发明并不只限于上述实施方式。例如，在实施方式中描述的实现固化处理的热处理只不过是一例，其并不只限于此，只要能够实现对内圈侧滚动面赋予运行预定时间后内圈侧滚动面的表面硬度变得高于运行前的内圈侧滚动面的表面硬度的特性的处理、或对内圈侧滚动面赋予运行预定时间后内圈侧滚动面中的与滚动体接触的滚动部位的表面硬度变得高于并未与滚动体接触的非滚动部位的表面硬度的特性的处理，则可以应用各种热处理。并且，在上述实施方式中，示出了所谓的筒型的挠曲啮合式齿轮装置，但是本发明并不只限于此，也可以应用于所谓的杯型或礼帽型等的挠曲啮合式齿轮装置。另外，本发明还可以解释为具有对起振体轴承的供滚动体滚动的内圈侧滚动面实施上述固化处理的固化处理工序的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法。此外，在不脱离发明宗旨的范围内，可以适当改变实施方式中示出的细节。