光学元件和晶圆级光学模块的制作方法

技术特征：
1.一种光学元件，包括：一基板；以及一第一光学膜层和一第二光学膜层，设置在该基板的至少一侧，并且形成在该基板上，该第一光学膜层具有背离该基板的一第一表面以及设置在该第一表面上的多个第一光学微结构，该第二光学膜层具有背离该基板的一第二表面以及设置在该第二表面上的多个第二光学微结构，其中多个所述第一光学微结构在该基板上的正交投影不重叠于多个所述第二光学微结构在该基板上的正交投影。2.如权利要求1所述的光学元件，其中该基板具有彼此相对的一第一侧和一第二侧，且该第一光学膜层以及该第二光学膜层分别设置在该基板的该第一侧和该第二侧。3.如权利要求2所述的光学元件，还包括：一缓冲层，设置在该基板和该第二光学膜层之间。4.如权利要求3所述的光学元件，其中该缓冲层在该基板上的正交投影不重叠于多个所述第一光学微结构在该基板上的正交投影。5.如权利要求3所述的光学元件，还包括：一折射率匹配层，设置在该基板和该第一光学膜层之间。6.如权利要求5所述的光学元件，其中该折射率匹配层在该基板上的正交投影不重叠于多个所述第二光学微结构在该基板上的正交投影。7.如权利要求2所述的光学元件，其中该第一光学膜层在该基板上的正交投影不重叠于该第二光学膜层在该基板上的正交投影。8.如权利要求1所述的光学元件，其中该第一光学膜层和该第二光学膜层位于该基板的同一侧，该第一光学膜层位于该基板与该第二光学膜层之间，多个所述第一光学微结构为多个凸起结构，并且多个所述第二光学微结构是多个凹陷结构。9.如权利要求8所述的光学元件，还包括：一折射率匹配层，设置在该基板以及该第一光学膜层之间。10.如权利要求9所述的光学元件，还包括：一缓冲层，设置在该第一光学膜层以及该第二光学膜层之间。11.一种晶圆级光学模块，包括：一光学元件，包括：一基板；以及一第一光学膜层和一第二光学膜层，设置在该基板的至少一侧，并且形成在该基板上，该第一光学膜层具有背离该基板的一第一表面以及设置在该第一表面上的多个第一光学微结构，该第二光学膜层具有背离该基板的一第二表面以及设置在该第二表面上的多个第二光学微结构，其中多个所述第一光学微结构在该基板上的正交投影不重叠于多个所述第二光学微结构在该基板上的正交投影；以及一光发射器，具有至少两个发光元件，其中该光学元件设置在该光发射器的光路上，该至少两个发光元件的其中一者重叠于多个所述第一光学微结构，且该至少两个发光元件的其中另一者重叠于多个所述第二光学微结构。12.如权利要求11所述的晶圆级光学模块，其中该至少两个发光元件是垂直共振腔面射型激光阵列。
13.如权利要求11所述的晶圆级光学模块，还包括：一控制电路板，电连接至该至少两个发光元件，其中该至少两个发光元件被该控制电路板独立地控制。14.如权利要求11所述的晶圆级光学模块，其中该基板具有彼此相对的一第一侧和一第二侧，并且该第一光学膜层和该第二光学膜层分别设置在该基板的该第一侧和该第二侧。15.如权利要求14所述的晶圆级光学模块，其中该第一光学膜层在该基板上的正交投影不重叠于该第二光学膜层在该基板上的正交投影。16.如权利要求14所述的晶圆级光学模块，还包括：一折射率匹配层，设置在该基板和该第一光学膜层之间；以及一缓冲层，设置在该基板和该第二光学膜层之间。17.如权利要求16所述的晶圆级光学模块，其中该缓冲层在该基板上的正交投影不重叠于多个所述第一光学微结构在该基板上的正交投影。18.如权利要求16所述的晶圆级光学模块，其中该折射率匹配层在该基板上的正交投影不重叠于多个所述第二光学微结构在该基板上的正交投影。19.如权利要求11所述的晶圆级光学模块，其中该第一光学膜层和该第二光学膜层位于该基板的同一侧，该第一光学膜层位于该基板和该第二光学膜层之间，多个所述第一光学微结构是多个凸起结构，多个所述第二光学微结构是多个凹陷结构。20.如权利要求19所述的晶圆级光学模块，还包括：一折射率匹配层，设置在该基板和该第一光学膜层之间；以及一缓冲层，设置在该第一光学膜层和该第二光学膜层之间。

技术总结
本发明提供一种光学元件和晶圆级光学模块。光学元件包括基板、第一光学膜层和第二光学膜层。第一光学膜层和第二光学膜层设置在基板的至少一侧，并且形成在基板上。第一光学膜层具有背离基板的第一表面和设置在第一表面上的多个第一光学微结构。第二光学膜层具有背离基板的第二表面和设置在第二表面上的多个第二光学微结构。第一光学微结构在基板上的正交投影不重叠于第二光学微结构在基板上的正交投影。交投影。交投影。


技术研发人员：张志圣 蔡孟珂 黄腾德
受保护的技术使用者：奇景光电股份有限公司
技术研发日：2021.02.07
技术公布日：2022/2/23