卡盘的制作方法

1.本发明涉及根据权利要求1的前序部分设计的卡盘、根据权利要求9的前序部分设计的夹持装置、根据权利要求13的前序部分设计的卡盘布置结构以及根据权利要求15的前序部分设计的方法。


背景技术：

2.这里讨论的类型的卡盘被用于托盘和/或工件载架的限定位置夹持。除了用于夹持托盘或工件保持架（具有一个夹持栓（spigot））的单卡盘外，还已知多卡盘，其包括用于夹持托盘（具有对应数量的夹持栓）的至少两个卡盘。这样的多卡盘在下文也具体地被称为夹持装置，其中其卡盘被设置在夹持基部上。术语卡盘布置结构被用于指相应的单或多卡盘，其包括其周边，诸如连接或压力管线、传感器、压力调节器、节气门等。
3.卡盘或相应夹持基部通常被安装固定在加工机器的机器台上，而托盘能够被精确地重复夹持在卡盘或夹持装置上。相应的卡盘具有接收开口和用于将夹持栓夹持在接收开口中的夹持装置。托盘通常承载要被加工的工件或工具。
4.当这样的卡盘或夹持基部用于半自动或全自动进行的工作过程中时，托盘通常借助于搬运机器人被馈送到卡盘或夹持装置且从其再次被移除。重要的是托盘被牢固地夹持和保持。例如如果托盘没有被正确地固定在卡盘或夹持装置上，则在对夹持在其上的工件进行机械加工期间（例如在铣削处理期间），卡盘或夹持装置有松动工作的风险，这可能导致相当大的损坏并危及人身安全。
5.ep 1 344 599 a1公开了具有卡盘的夹持装置和能够被夹持在其上的夹持栓。卡盘具有用于接收夹持栓的中央开口。卡盘也包括用于吹出空气的多个开口。这些吹出开口中的一些被设置在中央开口的圆锥插入区段中并且能够借助于夹持栓或其定心表面区段被关闭。吹出开口仅用于清洁上述定心表面区段。
6.从ep 2 052 808 a1已知夹持装置，其具有用于工件载架的可释放固定的卡盘。卡盘具有包括多个夹持元件的锁定机构，该多个夹持元件在处于锁定位置时接合在连接到工件载架的夹持栓中。每个夹持元件具有通孔，其在相应的夹持元件被正确锁定时在一侧处被关闭。此外或替代性地，给每个夹持元件分配有具有通孔的致动元件，当相应夹持元件被正确锁定和/或解锁时关于其的通孔在一侧处关闭。夹持元件或致动元件的通孔通过公共连接管线被连接到气动源。在连接管线中提供用于探测气流的至少一个传感器。借助于传感器，能够探测夹持元件是否已经被正确松开或夹持。传感器被连接到电子控制和评价装置。
7.从ep 2 177 309 a1已知用于夹持可缩回螺纹接套的快动夹持缸。快动夹持缸试图被用于在夹持期间控制可缩回螺纹接套的功能。快动夹持缸包括外壳，该外壳具有中央切口以用于接收被设置在托盘上的可缩回螺纹接套。具有压力介质致动的活塞和多个锁定主体的锁定机构被设置在外壳中。活塞借助于一组弹簧运动到锁定位置中并且以压力介质致动的方式被解锁。被设置在该组弹簧的位移路径中的是第一致动元件，监控其致动信号。
第二致动元件位于第一致动元件的控制流的上游，该第二致动元件探测可缩回螺纹接套的位移状态。两个致动元件被设计成流体控制阀形式的开关，其能够取决于路径被致动，所述流体控制阀被设置在控制管线中并且以取决于状态的方式打开或关闭后者。
8.从ep 2 218 541 a1已知用于夹持可缩回螺纹接套的另一快动夹持缸。这个快动夹持缸试图提供用于将可缩回螺纹接套正确地锁定在快动夹持缸的外壳中的控制手段。为此目的，弹簧加载的致动元件被设置在快动夹持缸的外壳中，其能够通过可缩回螺纹接套抵抗弹簧力被致动并且其位移路径控制用于控制介质的通路。
9.最后，us 4,504,824 a揭示了用于加工机器（铣削机器）的工具感测系统。加工机器具有静止部分，心轴通常被可旋转地安装在该静止部分内部。工具保持架具有用于接收加工工具的圆锥轴的圆锥切口。静止部件具有围绕心轴的环状腔室，径向孔从此穿过心轴到圆锥切口。环状腔室通过管线被连接到压力源，其中压力调节器被设置在管线内。此外，管线被连接到压力开关。一旦加工工具被接收并夹持在保持架中，则来自加工工具的圆锥轴的径向孔被关闭，这能够借助于压力开关被监控。


技术实现要素：

10.本发明的目标是研发一种根据权利要求1的前序部分设计的卡盘，用于夹持具有夹持栓的托盘，使得能够监控托盘在卡盘中的存在性。
11.该目标的技术方案通过权利要求1的特征来限定。根据本发明，卡盘具有能够气动作用并且从入口通向出口的监控管线，其中接收开口包括圆锥插入区域，被连接到监控管线的至少一个控制孔露出到该圆锥插入区域中，该控制孔能够借助于夹持栓被关闭。
12.由于卡盘具有能够气动作用且从入口通向出口的监控管线并且接收开口包括圆锥插入区域，被连接到监控管线的至少一个控制孔露出到该圆锥插入区域中，该控制孔能够借助于夹持栓被关闭，所以提供了建立夹持栓在接收开口中的存在性的基本可能性。这种实施例的具体优点在于如下事实：卡盘能够以相对小的努力被结合到通常已经存在的加工机器的基础建设/周边中。因为这样的加工机器通常包括至少一个气动压力管线来打开和/或关闭卡盘，所以压缩空气也能够被用于作用在随其的监控管线上并且在给定时间测量其内的压力。只要没有夹持栓被接收在卡盘的接收开口中，则压力经由控制孔逸出，这能够借助于被连接到监控管线的压力传感器被测量并且借助于评价电子器件被记录和评价。因为通常也存在评价电子器件，所以除了至少一个压力传感器，仅需要评价电子器件进行软件调适。
13.卡盘的优选实施例和进展被描述于从属权利要求2-8中。
14.因此，在优选进展中，提供卡盘的夹持装置，其包括在初始位置和锁定位置之间可位移以用于致动夹持构件的致动活塞，并且卡盘包括被设置在监控管线的入口和出口之间的阀装置，借助于该阀装置通过监控管线的流体的流能够根据致动活塞的位置而变化。致动活塞的位置能够借助于这样的阀装置被确定。与权利要求1的特征一起，能够借助于这种实施例检查夹持栓的存在性以及其在卡盘中的正确夹持。
15.阀装置优选地包括阀外壳和至少成段地容纳在其内的阀主体，阀主体能够相对于阀外壳在关断位置和打开位置之间位移以便改变通过监控管线的流体的流。这样的阀装置特别适用于与致动活塞机械联接，以致后者能够打开或者关闭阀装置。
16.尤其优选地，当致动活塞正确地位移到锁定位置中时阀主体处于打开位置，而当致动活塞没有正确地位移到锁定位置中时阀主体处于关断位置。因此产生了积极可靠性的基础先决条件，其中仅当致动活塞占据可靠夹持夹持栓所需的锁定位置时阀主体占据打开位置。只要监控管线在入口侧处承受超压，则阀主体的位置且因此致动活塞的位置能够容易地通过阀主体之前和之后的压力比较来确定。
17.在卡盘的进一步优选进展中，阀主体被设置为静止，而阀外壳以牢固结合的方式被连接到致动活塞。一方面，移动部分因此能够保持为小的，这导致良好地利用空间。另一方面，内部外壳部分的径向和轴向游隙也能够保持为小的，这是因为在运动颠倒的情况下，即当阀主体被设置成可移动且外壳静止，上述游隙将由于杠杆作用而必须增加。此外，该实施例也特别适用于阀装置的串联连接。
18.在尤其优选进展中，阀外壳包括第一外部部分和第二内部部分，其中外部部分以牢固结合的方式被连接到致动活塞，而内部部分以形式配合方式被连接到外部部分，并且其中内部部分在具有径向游隙的情况下被容纳在外部部分中。这种实施例使得阀装置能够稍稍补偿径向方向上的游隙且因此可靠地起作用。因此这是有利的，这是因为致动活塞必须总是具有一些径向游戏，以便其能够长期地可靠起作用且能够在初始位置和锁定位置之间可靠地前后运动。
19.卡盘的优选进展使得轴向入口孔从上侧通到阀主体中且轴向出口孔从底侧通到阀主体中，其中轴向入口孔露出到第一径向通孔中，并且其中轴向出口孔露出到第二径向通孔中，并且其中第一径向通孔在第二径向通孔上方延伸，并且其中阀外壳的内部部分具有环状空间，其轴向长度至少对应于在两个径向通孔之间的距离，并且其中当致动活塞处于其锁定位置中时环状空间在两个径向孔上方延伸。这样的阀装置在设计上是可靠且简单的。此外，因此能够特别好地实施之前提到的内部在外部外壳部分中的：“浮动”容纳。
20.尤其优选地，当夹持栓被接收在卡盘的接收开口中并且借助于夹持装置被正确锁定时，监控管线在入口和出口之间持续打开，但是相对于大气关闭。这种实施例也有利于积极可靠性，其中仅当夹持栓被接收且同样被正确地锁定在相应卡盘中时能够在出口侧处建立足够的预定压力。
21.本发明的进一步目标在于研发一种具有至少两个根据之前权利要求中的一项所述的卡盘的夹持装置，其用于夹持具有对应于卡盘的数量的多个夹持栓的托盘，以使得能够以直接的方式验证夹持栓是否被接收在所有卡盘中。
22.该目标的技术方案通过权利要求9的特征来限定。为此目的，夹持装置的卡盘被容纳在公共夹持基部中，其中夹持基部具有能够气动作用并且从入口通向出口的监控管线，并且其中监控管线被连接到被设置在相应卡盘的插入区域中的所有控制孔。
23.借助于这种实施例，提供了借助于监控管线来检查夹持栓是否被接收在所有卡盘中的基本可能性，因为仅当所有控制孔在每种情况下被夹持栓关闭时能够在监控管线中建立足够的压力。
24.非常特别优选地，夹持装置的每个卡盘包括阀装置，借助于该阀装置通过监控管线的流体的流能够根据致动活塞的位置而变化，其中阀装置被设置在监控管线的入口和出口之间并且彼此串联连接，以致仅当所有的致动活塞被正确锁定时在监控管线的入口和出口之间存在通路。在这种实施例的情况下，仅当所有夹持栓被正确锁定时在监控管线的出
口处建立足够压力。
25.另一特别优选进展使得在相应卡盘的区域中，气动再紧固管线通到被设置在相应致动活塞上方的再紧固空间中，其中每个再紧固管线被直接地或者间接地连接到监控管线。这种实施例使得可以通过将压缩空气引入到监控管线中而再紧固所有致动活塞。因为“再紧固管线”通常已经被提供在通用夹持装置中，所以现有再紧固管线能够与监控管线同时地被使用。为此目的，需要对现有夹持装置做出相对小的调适，这尤其是因为已经存在具有联接件的入口和出口。
26.本发明的进一步目标在于实现具有根据权利要求1-8中任一项设计的卡盘或根据权利要求9-12中任一项设计的夹持装置的卡盘布置结构，其具有用于监控具有夹持栓的托盘在卡盘中的存在性和正确夹持的手段或者具有用于监控具有多个夹持栓的托盘在夹持装置中的存在性和正确夹持的手段。
27.该目的利用根据权利要求13所述的卡盘布置结构来解决。
28.因为卡盘布置结构包括入口管线，其能够被连接到气动压力源并且被连接到穿过夹持基部的监控管线的入口，并且因为监控管线在出口侧被连接到出口管线并且出口管线被连接到至少一个压力传感器来探测出口侧处的压力，所以能够借助于出口侧处的压力传感器来监控托盘在卡盘或者夹持装置中的存在性和正确夹持。
29.卡盘布置结构的优选进展使得限制空气的流动量的节流阀被设置在入口管线中，其中入口管线被连接到第一压力传感器并且出口管线被连接到第二和第三压力传感器以探测出口侧处在监控管线中存在的压力，并且其中卡盘布置结构包括评价电子器件以用于记录和评价借助于三个压力传感器确定的压力。
30.因为限制空气的流动量的节流阀被设置在入口管线中且一方面探测入口压力且另一方面借助于两个压力传感器探测出口管线中存在的压力，所以能够获得关于相应托盘是否被正确地夹持在卡盘或者夹持装置中的可靠信息，特别是因为能够在入口侧处和出口侧处的压力之间进行比较。由于在出口侧处设置两个压力传感器，监控也变得冗余。
31.最后，本发明的进一步任务在于提出用于探测被夹持在根据权利要求13或14所述的卡盘布置结构上的托盘的夹持状态的方法，使用该方法能够实现对夹持状态的可靠且安全的监控。该任务是通过权利要求15中列出的过程步骤来实现。
32.为了能够在气动系统，即在具有相关联的部件的监控管线中的压力累积，入口管线被加压，并且在预定时间之后，在入口管线中的压力被测量并与出口处测量的压力或者出口中测量的压力进行比较。如果在入口和出口之间测量的压力差小于25%，则探测到托盘的正确夹持。另一方面，如果在入口和出口之间的压力差达到大于25%，则探测到托盘的有缺陷夹持。上述信息是基于之前经验值。根据卡盘或夹持装置的大小和设计，这些值可以与上述量级不同。唯一重要的点具体在于，在正确和不正确夹持的托盘之间存在清楚且可靠的可测量差异。
33.本方法的优选进展使得用于探测压力的两个压力传感器被设置在卡盘布置结构的出口管线中，该卡盘布置结构在出口侧处被连接到监控管线，其中入口管线被加压，并且在预定时间之后在入口管线中的压力被测量并与借助于被设置在出口侧处的两个压力传感器测量的压力进行比较，并且在被设置在出口侧处的两个压力传感器之间的测量压力差大于10%的情况下输出错误信息并且/或者探测到托盘的有缺陷夹持。因此能够识别出有缺
陷压力传感器，这有助于增加关于夹持状态的可靠探测的安全性。
34.从下述具体描述和所有权利要求可见本发明的进一步有利实施例和特征的组合。
附图说明
35.在用于解释实施例的示例的附图的图中：图1以立体图示出了与托盘一起的卡盘；图2以部分横截面立体图示出了根据图1的卡盘；图3以替代性截面示出了根据图1的卡盘；图4以部分横截面立体图示出了与夹持在其上的托盘一起的卡盘；图5以替代性截面示出了根据图4的与夹持在其上的托盘一起的卡盘；图6示出了图4的放大细节；图7借助于简化图示出了具有卡盘的卡盘布置结构；图8示出了具有四个卡盘的夹持装置；图9借助于简化图示出了具有夹持装置的卡盘布置结构。
具体实施方式
36.图1以立体图示出了与托盘46一起的卡盘1。托盘46具有被设置在底侧上的夹持栓47。术语托盘在此代表任意类型的载架，例如工具或工件能够被紧固在该载架上。被容纳在夹持基部20中的卡盘1包括圆形夹持板2，其具有中空圆柱形延伸部，该延伸部竖直向下延伸到夹持基部20的切口中。中空圆柱形延伸部的内部空间形成用于夹持栓47的接收开口5。
37.夹持板2被设置在上侧上且具有用于托盘46的外和内z支撑件3a、3b，其中外z支撑件3a和内z支撑件3b二者均设置成沿圆形均匀分布。接收开口5的插入区域6被形成为圆锥形。两个控制孔露出到该插入区域6中，所述控制孔直径方向上相对并且其功能在下文将被更具体地进行解释，其中从这幅图中仅能够看到这两个控制孔7中的一个。控制孔7优选地具有在近似2和3毫米之间的直径。多个清洁孔8也露出到接收开口5的插入区域6中，其用于清洁夹持栓47的圆锥定心区域48。卡盘1具有这幅图中未示出的夹持装置，其包括球形夹持构件以用于在接收开口5中的夹持栓47。夹持装置包括在打开位置和锁定位置之间可位移以便致动夹持构件的致动活塞。夹持基部20具有多个通道和管线，其借助于联接件/连接件9a、9b引入和引出夹持基部20。这些连接件9a中的一个形成用于监控管线的入口，而另一个连接件9b形成用于监控管线的出口，如下文借助于图7更具体解释的。
38.夹持栓47在面向托盘46的后侧上具有匹配到卡盘1的圆锥插入区域6的圆锥定心区域48。朝向前端，夹持栓47具有圆锥前部49，其后侧形成肩部50，夹持装置的夹持构件能够接合到该肩部50中以便将夹持栓47拉入并固定在卡盘1中。
39.图2以部分横截面立体图示出了与夹持基部20一起的处于打开位置的卡盘1。因为例如从ep 1 321 221 a1已知这种卡盘的基本设计，所以将不在后面讨论卡盘的所有元件，而是特别地描述与本发明有实质性关联的几个元件。除其他事项之外，从这幅图能够看到中空圆柱形延伸部4、具有圆锥插入区域6的接收开口5、两个控制孔7、两个清洁孔8、夹持装置10、致动活塞11、夹持装置10的球形夹持构件12和监控管线40的一区段等等。借助于被支撑在夹持板2上的压缩弹簧（未示出），致动活塞11在朝向夹持基部20的底部的方向上被加
载。致动活塞11被示为与夹持构件12一起处于初始位置，在此夹持栓能够被引入到接收开口5中并且也从其被移除。在致动活塞11的底侧和夹持基部20的底部之间形成压力空间27。为了抵抗压缩弹簧的力将致动活塞11移动到所示初始位置中，空间27承受压缩空气并且建立预定超压。因此致动活塞11抵抗压缩弹簧的力被气动按压紧靠上部止动件并且位移到在此示出的初始位置中。为了借助于夹持栓将托盘夹持在卡盘1上，必须减小压力空间27中的超压。为此目的，压力空间27优选地朝向大气打开。一旦压力空间27中的超压下降到特定值以下，则致动活塞11借助于压缩弹簧向下运动到其锁定位置中。夹持构件12径向向内位移到接收开口5中，以致被插入到接收开口5中的夹持栓被进一步拉动到接收开口中，即在夹持基部20的底部的方向上向下拉动，并且被固定或夹持在卡盘1中。夹持装置10被设计成使得致动活塞11与夹持构件12一起借助于自锁定将夹持栓保持并锁定在卡盘1中。本身公知的这种夹持装置10试图确保托盘处于且保持被夹持在卡盘1的未加压状态中。
40.卡盘1也具有阀装置16，其形成能够在监控管线40中关断的通路。阀装置16包括阀外壳17和分段地容纳在其中的基本圆柱形阀主体21。阀外壳17包括第一外部部分18和第二内部部分19，其中外部部分18以牢固结合的方式被连接到致动活塞11。外壳的内部部分19在轴向方向上以形式配合的方式被连接到外部部分18，其中内部部分19被容纳在外部部分18中并且具有径向游隙。阀外壳部分18、19二者被形成为插座状。阀主体21相对于阀外壳17被可位移地安装，以便在关断位置和打开位置之间改变流体的流。空气或者压缩空气优选地被用作流体。阀主体21借助于螺钉被固定连接到夹持板2，而阀外壳17的外部部分18被固定地容纳在致动活塞11的孔31中。阀主体21具有轴向入口孔22，其从上侧通向阀主体21中并且大致在阀主体21的中间经由第一径向孔23再次引出。第一径向孔23在直径方向上交叉地穿过阀主体21并且在两侧上从阀主体21露出。第二径向孔24被定位在阀主体21中，其被设置在第一孔23下方并且也径向交叉地穿过阀主体21。该第二径向孔24被连接到轴向出口孔25，其向下延伸出阀主体21。在这两个径向孔23、24的区域中在阀主体21的横向表面中在每种情况下提供沟槽或槽形凹部。在内侧处，阀外壳17的内部部分19具有凹部，其围绕阀主体21形成环状空间，其轴向长度至少对应于两个径向通孔23、24之间的距离。阀外壳17的内部部分19被引导并被容纳在阀外壳17的外部部分18中且在径向方向上浮动，即具有几十微米数量级的径向游隙程度，而在轴向方向上其以一定程度的游隙以形式配合方式被连接到阀外壳17的外部部分18。由于阀外壳17的内部部分19的浮动承载，致动活塞11的径向游隙具体地（径向游隙由于系统的原因在径向方向上以一定程度的游隙容纳在夹持基部20中）能够被补偿，这具体的是因为仅与阀主体21连接的阀外壳17的内部部分19在功能上对于监控管线40的打开和关闭是重要的。
41.被设置在阀外壳17的内部部分19中的环状空间匹配阀主体21，以致在阀主体21相对于内部部分19的预定第一轴向位置中，所述两个径向孔23、24经由环状空间彼此连接，而在预定第二轴向位置中，所述两个径向孔23、24彼此不连接，这是因为至少所述一个孔、但是优选地两个孔23、24在内部部分19中的限制环状空间向下的环状突起的区域中在轴向方向上位于环状空间下方。当致动活塞11处于所示初始位置时出现后一种状态。另一方面，在锁定位置中，所述两个径向孔23、24经由环状空间彼此连接，如下文借助于图3被更具体解释的。当所述两个径向孔23、24经由环状空间彼此连接时，阀装置16处于打开位置，即监控管线40的入口通过阀装置16被气动连接到其出口，这是因为环状空间在轴向方向上在所述
两个径向孔23、24上延伸。简而言之，当致动活塞11不处于锁定位置时通过在入口和出口之间的阀装置来关断监控管线40，而当致动活塞11处于锁定位置时监控管线40在入口和出口之间持续打开。
42.监控管线40也被连接到至少一个控制管线15，其将被设置在接收开口的圆锥插入区域6中的所述两个控制孔7连接到监控管线40。如果夹持栓没有被接收在接收开口5中，则所述两个控制孔打开，而当夹持栓被正确地接收在接收开口中时通过夹持栓的圆锥定心区域关闭所述两个控制孔7。在卡盘的这种实施例的情况下，能够通过监控管线40的出口处的测量压力来探测夹持栓是否被正确地接收在接收开口5中以及锁定活塞11是否处于锁定位置。
43.图3以替代性截面示出了根据图2的卡盘。在这幅图中，能够看到多个压缩弹簧14中的一个，其在其锁定位置的方向上向下按压致动活塞11。而且，能够看到从上侧轴向地引入阀主体21中的入口孔22、第一径向孔23、第二径向孔24和轴向向下离开阀主体21的出口孔25。也能够看到围绕阀主体21的环状空间30。在这种状态下，其中致动活塞11处于其向上位移的初始位置，因为环状空间30位于所述两个径向孔23、24上方，所以在入口孔22和出口孔25之间没有通路。限制环状空间30向下的内部外壳部分的拔升围绕阀主体21在所述两个径向孔23、24上方的横向表面。因此除了经由现有间隙的微小泄漏之外，在所述两个径向孔23、24之间没有气动连接。
44.图4以部分横截面立体图示出了与夹持在其上的托盘46一起的卡盘1。一旦被连接到托盘46的夹持栓47被插入到接收开口5中且托盘46被放置在卡盘1上，托盘46就被夹持在卡盘1上。为此目的减小在压力空间27中的超压，压力空间优选开放到大气，以致其压力下降成环境压力。这样做的效果在于，致动活塞11在压缩弹簧的作用下向下运动到其启用位置。随着致动活塞11向下运动，其向内按压夹持构件12，这然后使得其部分接靠夹持栓47的肩部50，并且朝向夹持基部20的底部向下按压夹持栓47。托盘46的底侧位于卡盘1的升高的z支撑件3a上。当致动活塞11向下运动时，阀外壳也运动，即外部部分18和内部部分19相对于阀主体21运动，该阀主体21被紧固到夹持板2并且不进行任何运动。由于在阀外壳的内部部分19和阀主体21之间的相对运动，阀装置运动到打开位置，如下文借助于图6被更具体解释的。
45.图5以横截面图示出了根据图4的与夹持在其上的托盘46一起的卡盘。除其他事项外，从这幅图能够看到压缩弹簧14中的两个，其将致动活塞11向下按压到其最终或锁定位置。
46.图6示出了图4的放大细节。在这幅图中，能够看到被设置在阀外壳的内部部分19中的环状空间30。当致动活塞11被完全向下推动时，环状空间30位于阀主体21的所述两个径向孔23、24上。由于环状空间30位于所述两个径向孔23、24上且阀主体21在径向孔23、24的区域中具有沟槽状槽34、35的事实，在第一径向孔23和第二径向孔24之间且因此在阀主体21的轴向入口孔22和轴向出口孔之间存在气动连接。此外，由带的箭头虚线44指示了从上方从监控管线40流到阀主体21中的空气能够经由环状空间30从第一径向孔23流动到第二径向孔24中且因此从轴向入口孔22流动到轴向出口孔25（图3）中。空气能够在出口的方向上从轴向出口孔向前流动到监控管线40中。在下部区域中，阀外壳的外部部分18具有安全环32，当存在外部外壳部分18的指向外的运动时该安全环32用作阀外壳的内部部分19的
轴向驱动盘。也能够看到，阀外壳的外部部分18在其内侧上具有密封环33，其以密封方式接靠阀主体21的横向表面。
47.图7借助于简化图示出了与夹持基部20一起的之前解释的卡盘1以及具有卡盘1的卡盘布置结构80的进一步元件。上述进一步元件通常是其上使用卡盘的加工机器的周边的部件或属于该加工机器的周边的部件。除了卡盘1之外，卡盘布置结构18还包括在入口侧处被连接到监控管线40的第一压力传感器88和在出口侧处被连接到监控管线40的两个进一步压力传感器89、90。监控管线40从入口82引入到夹持基部20，其中控制管线15在入口82之后从监控管线40分支，该控制管线也被看作是监控管线40的部件。这幅图也示意性呈现了夹持装置的致动活塞11、压缩弹簧14中一个、用于关断监控管线40的阀装置16以及被设置在接收开口中的优选地两个控制孔7中的一个。也能够看到从控制管线15分支的再紧固管线26，其引入到被设置在致动活塞11上方的再紧固空间中。如果控制管线7被夹持栓关闭，则借助于被连接在入口侧处的压力源能够在监控管线40中形成足够压力，这也能够用于将致动活塞11再紧固在锁定位置中。因为致动活塞11的再紧固以及对出口侧处的压力的探测能够或多或少地同时发生，所以卡盘布置结构仅需要为此目的在每种情况下具有用于监控管线40的入口和出口，该监控管线40同时用作气动再紧固管线。
48.卡盘布置结构80也包括许多其他元件，诸如压力控制86、控制元件87、节流阀91和气动压力管线92。在致动活塞11下方的空间27能够借助于压力管线92被加压，以致致动活塞11能够抵抗压缩弹簧14的力位移到其初始位置。在入口侧处的压力调节器86经由管线84被连接到入口82，而管线85从出口83引到被并联地设置在出口侧处的所述两个压力传感器89、90。为了更清楚地表示，没有示出进一步元件，诸如例如被连接到管线84的气动压力源或者评价电子器件。被设置在入口侧处的第一压力传感器88和在出口侧处连接至监控管线40的所述两个进一步压力传感器89、90被连接到评价电子器件。由于所述两个压力传感器89、90被提供在出口侧处这一事实，在偏差超过特定限制值的情况下能够进行在相应压力传感器89、90处的压力的交叉比较并且输出错误消息。在所有情况下，能够借助于被设置在出口侧处的所述两个压力传感器89、90实现增加的可靠性，并且能够探测到故障压力传感器。
49.借助于各种变型在下文更具体地解释了卡盘布置结构80关于监控托盘的存在性和正确夹持的功能，其中在所有变型的情况下假定被设置在相应致动活塞11下方的压力空间27不经历超压。
50.变型1：不存在托盘。
51.这个变型假定没有托盘且因此没有夹持栓被接收在卡盘1上或者接收开口中。为了检查托盘是否借助于夹持栓被正确地夹持在卡盘1中，监控管线40经由入口侧处的管线84气动地承受超压。在预定时间x之后，例如在3-5秒之后，使用相应压力传感器88、89、90测量在入口侧处在连接管线84处存在的压力以及在出口侧处在连接管线85处存在的压力。如果没有夹持栓被接收在接收开口中，则流入监控管线40中的空气经由控制孔7逸出到大气中。因为流入监控管线40中的空气的质量受到入口侧处的节流阀91的限制，所以当不存在夹持栓时在监控管线40中仅形成小的超压，其在所有情况下都远低于针对正确夹持所限定的近似4.5巴的限制值。
52.节流阀的尺寸取决于空气供应保持入口压力的能力以及在控制元件87和入口82
之间的管线长度和管线横截面。因此节流阀必须被关闭成使得即使具有短的大管线和非常稳定的空气供应，没有夹持栓仍会导致显著的压力下降并能够通过出口83处的低压被可靠地探测。节流阀因此被设定成使得在不存在夹持栓且正确锁定卡盘时，出口83处的压力小于或等于2巴。
53.在不存在夹持栓的情况下，因此在被设置在出口侧处的所述两个压力传感器89、90处设定压力，该压力比借助于压力调节器86在入口侧处预设的例如6巴的压力小得多。如果致动活塞11处于锁定位置，则阀装置16的阀主体诚然处于打开位置，但是因为流动到监控管线40中的空气经由控制孔7逸出，所以在出口侧处的压力传感器89、90测量远低于6巴的设定压力的压力。测量值已经示出在没有夹持栓的情况下在出口侧处存在的压力是近似1.5-2.5巴的数量级。不言而喻，在出口侧处测得的压力，除了在入口侧处设定的超压外，还取决于各种其他参数，诸如控制孔7的数量和直径、馈入的空气体积、系统中的泄漏、监控管线40的直径、在入口和出口之间的渐缩或节流点等。被设置在卡盘的插入区域中的控制孔7的直径在所有情况下均被选择成使得在一方面，足够大量的空气能够经由控制孔7逸出，以致在不存在夹持栓时出现显著的压降，且在另一方面，控制孔7能够借助于夹持栓被可靠密封。特别重要的是，借助于在出口侧处测量的压力，在正确夹持托盘和不正确夹持托盘或没有托盘之间存在明显区别。优选地借助于测试来探测不同状态，并且压力范围被分配给相应状态。在入口侧处没有节流阀91的情况下，在没有夹持栓的情况下将存在在入口和出口之间可能会没有足够大的压力差的风险，这是因为测量的出口压力在短管线和大量空气馈入的情况下可能非常高，其中无法在存在夹持栓和不存在夹持栓之间进行可靠区分。
54.如果没有夹持栓被接收在接收开口中且流入的空气的体积受限，如由入口侧处的节流阀所述，则压力经由控制孔7逸出。阀装置16或其阀主体是位于关断位置还是打开位置与此无关，因为在这两种情况下，压力存在于被设置在出口侧处的压力传感器89、90处，该压力远远低于6巴的标称压力。在所有情况下，通过未详细表示的评价电子器件来识别两个压力传感器89、90处存在的压力不对应于可靠夹持所需的超压（例如4.5巴或450 kpa）。
55.变型2：存在包括夹持栓的托盘但是其没有被正确夹持。
56.在这个变型中假定托盘位于卡盘1上并且其夹持栓被接收在接收开口中。如果夹持栓被接收在卡盘的接收开口中，则控制孔7被夹持栓的圆锥定心区域关闭。然而，只要致动活塞11不处于锁定位置，例如其被卡住，则阀装置16就占据锁定位置并且在出口侧处被连接至监控管线40的两个压力传感器89、90处再次存在比借助于压力调节器86设定的6巴的入口标称压力小得多的压力。如果阀装置16的阀主体占据锁定位置，则因此在两个压力传感器89、90处存在的压力基本对应于环境压力。然而，考虑到阀装置16的一定泄漏，测量的出口压力当然会稍高于环境压力；不过在任意情况下，在出口侧处在连接管线85中的压力可以低于2巴。
57.在托盘被放置在卡盘1上且其夹持栓被插入到接收开口中之前致动活塞11已经处于锁定位置的情况下，夹持栓不能被完全插入到接收开口中，这是因为夹持构件处于高级锁定位置（图6），因此阻止了夹持栓的完全插入，这是因为夹持栓47的前部部分49（图1）接靠夹持构件并且无法完成插入。控制孔7r也没有被夹持栓关闭并且在入口侧处生成的压力能够经由控制孔7逸出。同样在这种情况下，在出口侧处的两个压力传感器89、90处存在小于2巴的压力。同样在这种情况下，借助于评价电子器件探测还没有发生托盘的正确夹持和
锁定。
58.变型3：托盘被正确地夹持在卡盘中。
59.在这个变型中假定托盘位于卡盘1上并且其夹持栓借助于夹持装置被夹持并且被正确锁定。致动活塞11处于下锁定位置，在此其将夹持构件向内按压到接收开口中。夹持构件接靠夹持栓的肩部，并且使用大力将后者与托盘一起向下拉动，以致托盘的底侧固定地位于卡盘1的升高z支撑件上。被设置在接收开口的插入区域中的所有控制孔7因此也被夹持栓的圆锥定心区域紧密地密封。在致动活塞11的锁定位置中，两个径向孔23、24经由阀外壳的内部部分19（图6）的环状空间30在阀装置的阀主体21中彼此连接。因此监控管线40的入口82被连接到其出口83。
60.考虑到系统的泄漏，当夹持栓被正确地锁定时，当借助于压力调节器86在入口侧处设定6巴的标称压力时，在出口侧处被连接至监控管线40的两个压力传感器89、90处存在近似4.5-5.5巴的数量级的压力。为了识别托盘的正确夹持，有必要在一方面借助于输出侧处的两个压力传感器89、90来测量达到在入口侧处设定且可能测量的压力的至少75%。此外，在出口侧处被连接至监控管线40的两个压力传感器89、90处会存在并测量到至多10%的压力差，这是因为否则会输出错误消息且/或探测到托盘的有缺陷夹持。
61.如果监控管线40没有泄漏而是被完全密封，则理论上在一定时间之后，即当在监控管线40中已经完全建立压力时在监控管线中在出口侧设置的压力传感器89、90处存在6巴的设定标称压力。然而，因为这样的气动系统具有一定量的泄漏，所以在出口处存在的压力比设定标称压力小近似25%。如果在入口84和出口85之间的压力差的量小于25%，则识别出托盘的正确夹持，而在入口84和出口84之间的压力差多于25%的情况下识别出托盘的有缺陷夹持。但是，在当前情况下，系统被设计成使得当不存在夹持栓时在入口84和出口85之间的压力差达到近似50%。
62.因此能够确定，在正确夹持和锁定具有夹持栓的托盘的情况下，当入口压力是6巴时，在监控管线中被设置在出口侧处的两个压力传感器89、90处存在近似4.5-5.5巴数的量级的压力，而在不存在夹持栓或者没有对其进行正确锁定的情况下，存在小于3巴的压力。不过这个差足够大以致能够借助于评价电子器件判定托盘是否被正确夹持。而所述差，特别是在出口处测量的压力，应该优选地在新卡盘的情况下分类在最大范围内，而在长期使用卡盘的情况下这种差可能会稍小，其中测量已经表明，即使在超过50000个夹持程序之后所述差仍然足够大以致能够可靠地区分托盘是否被正确夹持。
63.图8示出了本发明的实施例的进一步示例，即夹持装置53，其具有包括四个卡盘59、60、61、62来夹持工件载架74的夹持基部54。每个夹持栓59、60、61、62根据之前解释的实施例的示例被设计，为此原因，在下文中将不再具体描述相应的卡盘59、60、61、62。工件载架74在其底侧上具有对应于卡盘59、60、61、62设置的四个夹持栓75、76、77、78。在夹持在夹持装置53上期间，工件载架74的底侧搁置在相应卡盘59、60、61、62的z支撑件上。在夹持基部54中，监控管线再次从被设置在入口侧处的联接件57延伸到被设置出口侧处的联接件56。
64.四个卡盘59、60、61、62的四个阀装置彼此串联连接，即第一阀装置的出口被连接到第二阀装置的入口，第二阀装置的出口被连接到第三阀装置的入口，而第三阀装置的出口被连接到第四阀装置的入口。第一阀装置的入口被连接到监控管线的入口，而第四阀装
置的出口被连接到监控管线的出口。监控管线的入口因此经由彼此串联连接的四个阀装置被连接到监控管线的出口。进一步管线在监控管线的入口和第一阀装置之间从监控管线分支，第四控制管线又从这个管线分支，其通向被设置在相应卡盘59、60、61、62的插入区域中的控制孔。因此所有控制孔彼此并联连接。
65.图9借助于简化图示出了具有之前解释的夹持装置53的第二卡盘布置结构81的进一步元件。上述进一步元件同样是其上使用夹持装置52的加工机器的周边部件或属于该加工机器的周边的部件。在这种示例中，假定加工机器被使用，诸如已经借助于图7解释的。在机器侧处提供的元件和管线因此具有与在第一卡盘布置结构80中相同的附图标记。夹持装置53包括被设置在夹持基部54上的四个卡盘59、60、61、62。
66.从入口82通过夹持装置53到出口83的监控管线在入口侧处具有附图标记40。监控管线的各个部分区段具有附图标记40a-40e。
67.除了夹持装置53之外，第二卡盘布置结构81还包括在入口侧处被连接到监控管线40的第一压力传感器88和在出口侧处被连接到监控管线40e的两个进一步压力传感器89、90。在每种情况下，四个卡盘59、60、61、62中的每个均具有借助于压缩弹簧和阀装置69、70、71、72装载的致动活塞。同样，至少一个控制孔7在每种情况下露出到相应卡盘59、60、61、62的接收开口中，不过优选地每个卡盘59、60、61、62具有两个控制孔7。作为卡盘布置结构81的进一步元件，同样能够看到压力调节器86、控制元件87、节流阀91和压力管线92，经由其能够给相应致动活塞11下方的空间加压。在入口侧上的压力调节器86经由管线84被连接到入口82，而管线85从出口83通向被并联地设置在出口侧处的两个压力传感器89、90。为了更清楚地表示，没有表示进一步元件，诸如评价电子器件。在入口侧上的压力传感器88以及在出口侧处被连接至监控管线的两个压力传感器89、90均被连接到评价电子器件。
68.监控管线40被连接到所有卡盘59、60、61、62的控制孔7。为此目的，连接管线40a在入口82之后从监控管线40分支，其中连接管线40a也被看作是监控管线40的一部分。控制管线64、65、66、67再次在相应卡盘59、60、61、62的区域中在每种情况下从该连接管线40a分支，该控制管线通向控制孔7或者通向相关联的卡盘59、60、61、62的控制孔。如借助于第一卡盘59能够看到的，管线也从相应控制管线64通向卡盘59的致动活塞11上方的空间中。因此监控管线40也能够被使用以便在其锁定位置的方向上向下加载致动活塞11，这能够具体地被用于在夹持夹持栓之后再紧固相应锁定活塞11。然而重要的是，只要卡盘保持打开，就没有压缩空气被输送到再紧固空间中。如果夹持栓没有被接收在每个卡盘59、60、61、62中，则在监控管线40中能够建立足够压力并且所有致动活塞11也能够通过引入压缩空气而被同时再紧固。在相反情况下，已经存在的"再紧固管线"（诸如通常已经具有通用夹持装置）也能够被用于检查夹持栓的存在性。为此目的，卡盘59、60、61、62必须根据本发明被设计并且对应管线必须被连接到再紧固管线。
69.也能够看到，四个阀装置69、70、71、72彼此串联连接，并且监控管线40的入口82经由四个阀装置69、70、71、72被连接到监控管线40的出口83。为此目的，连接管线40a在第一卡盘59的区域中被连接到第一阀装置69的入口。第一阀装置69的出口经由管线40b被连接到第二阀装置70的入口，该第二阀装置70的出口经由管线40c被连接到第三阀装置71的入口。第三阀装置71的出口经由管线40d被连接到第四阀装置72的入口。管线40e从第四阀装置72（其也被看作是监控管线40的一部分）的出口通向出口83。
70.卡盘布置结构81关于监控托盘的存在性和正确夹持的功能与之前描述的示例基本相同，差别在于监控所有卡盘59、60、61、62。在下文再次解释各种变型，其中仅部分参考第一卡盘59的附图标记，因为四个卡盘的设计相同。在所有变型的情况下均假定被设置在相应致动活塞11下方的压力空间27不承受超压。
71.变型1：不存在托盘。
72.在这种变型中假定没有托盘被放置在夹持装置53上。在没有托盘的情况下，夹持栓也没有被接收在任意卡盘59、60、61、62中。为了检查托盘是否借助于四个夹持栓被正确地夹持在夹持装置53上，监控管线40经由入口侧处的连接管线84气动地承受超压。如果夹持栓没有被接收在任意卡盘59、60、61、62中，则流入监控管线40中的空气经由相应卡盘59的控制孔7逸出到大气中。因为流入监控管线40中的空气的质量受到入口侧处的节流阀91的限制，所以如果不存在夹持栓中的至少一个，则在监控管线40中仅形成小的超压，该超压在所有情况下都远低于针对正确夹持所限定的近似4.5巴的限制值。因此在出口侧处被连接至监控管线40e的所述两个压力传感器89、90处存在的压力显著小于借助于压力调节器86在入口侧处设定的6巴的压力。如果相应卡盘50的致动活塞11处于锁定位置，则相应阀装置69、70、71、72的相应阀主体处于打开位置，但是因为流动到监控管线40中的空气经由控制孔7逸出，所以在出口侧处的压力传感器89、90测量远低于6巴的设定压力的压力。如上文提到的，在出口侧测量的压力取决于各种进一步的参数。不过，同样重要的是，借助于出口侧处测量的压力，能够在正确夹持托盘和不正确夹持托盘或不存在卡盘之间进行清楚的区分。在这种夹持装置53的情况下，也优选地借助于测试来识别不同状态，并且压力范围被分配给给定状态。在所有情况下，在变型1中能够借助于（在此未详细表示的）评价电子器件来探测两个压力传感器89、90处存在的压力，其不对应于牢固夹持所需的超压（至少4.5巴或450 kpa）。
73.变型2：存在托盘，但是不存在至少一个夹持栓在这种变型中假定托盘位于夹持装置上，但是不存在至少一个夹持栓，因此在至少一个卡盘59、60、61、62中没有夹持栓被接收。同样在这种情况下，引入的压缩空气经由其中没有接收夹持栓的卡盘的控制孔逸出。因为流入监控管线40中的空气的质量受到入口侧处的节流阀91的限制，所以当不存在夹持栓时同样在监控管线40中仅形成小的超压。
74.节流阀的尺寸被设计成使得在恰好不存在一个夹持栓且正确锁定卡盘的情况下，出口83的压力小于或等于2巴。
75.因此，同样在这种情况下，不管致动活塞11且相应关联的阀装置69、70、71、72的位置如何，由出口侧处的两个压力传感器89、90测量的压力小于近似2巴。因此，借助于评价电子器件来探测两个压力传感器89、90处存在的压力不对应于牢固夹持所需的超压。
76.变型3：存在包括所有夹持栓的托盘，但是没有被正确夹持在这种变型中假定具有四个夹持栓的托盘位于夹持装置53的四个卡盘59、60、61、62上，并且所有四个夹持栓被接收在相应卡盘59、60、61、62的接收开口中。相应卡盘的控制孔被相应夹持栓关闭。然而，只要至少一个致动活塞不在锁定位置中，其中例如第一卡盘59的致动活塞11被卡住，则相关联的阀装置69占据关断位置并且在对应点处堵住监控管线中的通路。因为四个阀装置69、70、71、72彼此串联连接，所以再次，在出口侧处被连接至监控管线40的两个压力传感器89、90处存在比借助于压力调节器86设定的6巴的入口压力小得
多的压力。如果四个阀装置69、70、71、72中的至少一个占据关断位置，则在两个压力传感器89、90处存在的压力基本对应于环境压力，但是在所有情况下均低于2巴。因此，借助于评价电子器件探测还没发生工件载架的可靠夹持。
77.在托盘被放置在夹持装置53上且其夹持栓被插入到相应卡盘59、60、61、62的接收开口中之前在四个卡盘59、60、61、62的致动活塞11中的至少一个已经处于锁定位置的情况下，在处于锁定位置中的卡盘处的夹持栓不能被完全插入到接收开口中，如之前借助于图7（变型2）已经解释的。同样在这种情况下，借助于评价电子器件识别还没发生工件载架的牢固夹持。
78.变型4：借助于所有夹持栓将托盘正确夹持在卡盘中。
79.在这个变型中假定托盘位于夹持装置53上并且四个夹持栓借助于四个卡盘59、60、61、62被夹持并且被正确锁定。相应卡盘的致动活塞处于其下锁定位置，在此其将夹持构件向内按压到接收开口中。夹持构件接靠相应夹持栓的肩部，并且使用大力将后者与托盘一起向下拉动，以致托盘的底侧固定地位于夹持装置53的四个卡盘59、60、61、62的升高z支撑件上。被设置在相应接收开口的插入区域中的所有控制孔7因此被对应夹持栓的圆锥定心区域紧密地关闭。因为所有四个卡盘59、60、61、62的致动活塞11处于锁定位置，所以在相应阀主体中的两个径向孔也经由内部插入件的环状空间连接到彼此（图6）并且所有四个阀装置69、70、71、72处于打开位置。监控管线40的入口侧82因此经由四个阀装置69、70、71、72被连接到其出口侧83。
80.考虑到系统的泄漏，当四个夹持栓正确锁定时，在被设置在监控管线中的出口侧处的两个压力传感器89、90处存在近似4.5-5.5巴的数量级的压力，并且评估电子器件识别托盘的正确夹持。
81.总之，能够说，在正确夹持和锁定具有四个夹持栓的托盘的情况下，在入口压力是6巴的情况下，被设置在监控管线中的出口侧处的两个压力传感器89、90处存在近似4.5-5.5巴的数量级的压力，而在不存在至少一个夹持栓或至少一个夹持栓没有正确锁定的情况下存在小于2巴的压力。借助于这个差异，能够借助于评价电子器件可靠地识别托盘是否已经被正确夹持。同样，能够再次提到，在正确夹持托盘的情况下，在新卡盘的情况下，出口处的压力能够优选地被分类在上限范围内，即在近似5和5.5巴之间，而在几千或几万个夹持程序之后，其倾向于稍低并且可以是近似4.5至5巴。但是，在任意情况下，在正确夹持托盘的情况下在出口侧处存在的压力仍足够大以致能够可靠地判定托盘也被正确夹持。
82.此外，被馈送到监控管线40中的压缩空气能够被用于借助于吹除而清洁在托盘底侧上和/或在夹持栓上的接触表面。为此目的，必须提供至少一个阀，借助于所述阀，被引入到监控管线40中的压缩空气偏转到清洁孔8（图1）。因为根据现有技术设计的夹持系统通常已经具有气动联接件或者气动连接件以用于引入压缩空气来吹除/清洁接触表面，所以现有的加工机器也能够相对容易地被加装。在根据现有技术设计的夹持系统的情况下，气动联接件或者气动连接件也通常被设置在出口侧处，其连接到一个和/或另一个管线的出口。
83.不言而喻的是，实施例的之前示例不是决定性的，而是在本发明的范围内不同的实施例肯定是可能的。因此，例如，代替两个控制孔，可以为每个卡盘提供由其分化的多个控制孔。为每个卡盘提供至少两个控制孔具有如下优势：当不存在夹持栓时实现增加的体积流量且因此实现更大的可测量δp。
84.尽管先前仅解释了具有一个或四个卡盘的夹持系统，但是具有两个、三个、五个或更多个卡盘的夹持系统当然也可以根据本发明来设计，并且可以监控托盘的正确夹持。
85.因为节流阀的尺寸被设计成使得在恰好不存在一个夹持栓且正确地锁定一个或多个卡盘的情况下出口83处的压力小于或等于2巴，所以在不存在至少一个夹持栓的情况下出口侧测量的压力小于或等于2巴。不管卡盘的数量如何，在不存在至少一个夹持栓的情况下，出口侧向上测量的压力总是小于或等于2巴。
86.下面简要地总结根据本发明设计的卡盘的多个优点：
‑ꢀ
在根据本发明设计的卡盘的情况下，能够可靠地监控托盘在卡盘中的正确夹持；
‑ꢀ
也能够可靠地探测到不存在夹持栓且因此不存在托盘；
‑ꢀ
在夹持装置具有多个卡盘来夹持具有多个夹持栓的托盘的情况下，能够可靠地监控所有夹持栓的存在性以及它们的正确夹持两者；
‑ꢀ
根据本发明设计的卡盘或者根据本发明设计的夹持装置适于长期使用并且长期以稳定方式起作用；
‑ꢀ
需要提供相对少的机械部件；
‑ꢀ
现有的加工机器能够相对容易且具有成本效率地被加装或装备有根据本发明设计的卡盘或者根据本发明设计的夹持装置。
87.附图标记列表：1. 卡盘2. 夹持板3. 3a 内部z支撑件/3b 外部z支撑件4. 中空圆柱形延伸部5. 接收开口6. 插入区域（圆锥形）7. 控制孔8. 清洁孔9. 联接件10. 夹持装置11. 致动活塞12. 夹持构件（球体）14. 压缩弹簧15. 控制管线16. 阀装置17. 阀外壳18. 外部部分（阀外壳）19. 内部部分（阀外壳）20. 夹持基部21. 阀主体22. 轴向入口孔
23. 第一径向孔24. 第二径向孔25. 轴向出口孔26. 再紧固管线27. 致动活塞下方的空间30. 环状空间31. 孔致动活塞32. 卡环33. 密封件34. 槽形切口35. 槽形切口40. 监控管线44. 虚线46. 托盘47. 夹持栓48. 后定心区域49. 前部部分50. 肩部53. 夹持装置54. 夹持基部56. 联接入口57. 联接出口59. 第一卡盘60. 第二卡盘61. 第三卡盘62. 第四卡盘64. 第一控制管线65. 第二控制管线66. 第三控制管线67. 第四控制管线69. 第一阀装置70. 第二阀装置71. 第三阀装置72. 第四阀装置74. 工件载架75. 第一夹持栓76. 第二夹持栓77. 第三夹持栓78. 第四夹持栓
80. 第一卡盘布置结构81. 第二卡盘布置结构82. 入口83. 出口84. 连接管线入口侧85. 连接管线出口侧86. 压力调节器87. 控制元件88. 压力传感器入口侧89. 第一压力传感器出口侧90. 第二压力传感器出口侧91. 节流阀。