一种真空镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备。


背景技术：

2.真空镀膜设备，如图1所示，其包括带有腔室的腔体1＇和设置于腔室内的加热丝，腔体上具有与腔室连通的喷嘴2＇，加热丝加热蒸发源材料能够使蒸发源材料通过喷嘴2＇蒸发。现有技术中，腔体1＇上开设有多个间隔设置的喷嘴2＇，然而，从喷嘴2＇蒸发出来的蒸发源材料不均匀，导致镀膜的厚度分布不均，为保证最低膜厚，需要加大蒸发源材料用量，导致增加了镀膜生产成本。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备，提高蒸发源材料蒸发均匀性，减少蒸发源材料用量，降低镀膜生产成本。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.一种真空镀膜设备，包括：
6.蒸发腔体，所述蒸发腔体具有腔室和线形开口，所述腔室用于容置蒸发源材料，所述腔室通过所述线形开口与外部连通；
7.调节板组件，所述调节板组件能够遮挡所述线形开口形成线形蒸发口，调节所述调节板组件能够调节所述线形蒸发口的横截面积大小。
8.可选地，所述调节板组件包括设置于所述线形开口两侧的固定板和活动板，所述活动板能够遮挡所述线形开口形成所述线形蒸发口，所述活动板能够朝向所述固定板滑动，以减小所述线形蒸发口，所述活动板能够背离所述固定板滑动，以增大所述线形蒸发口。
9.可选地，所述调节板组件包括两个活动板，两个所述活动板分别设置于所述线形开口两侧，两个所述活动板能够分别遮挡所述线形开口以形成所述线形蒸发口，两个所述活动板能够朝向彼此滑动，以减小所述线形蒸发口，或两个所述活动板能够背离彼此滑动，以增大所述线形蒸发口。
10.可选地，所述线形蒸发口的形状呈直线形状时，所述活动板上开设有滑槽，所述滑槽垂直于所述线形开口的延伸方向延伸设置，所述蒸发腔体上设置有固定杆，所述滑槽穿设于所述固定杆，所述活动板能够沿所述滑槽滑动。
11.可选地，所述真空镀膜设备还包括罩设于所述蒸发腔体的罩壳，所述罩壳上开设有与述线形开口的形状相适应的通孔，所述调节板组件设置于所述蒸发腔体上或所述罩壳上。
12.可选地，所述线形蒸发口的形状呈直线、曲线、圆形或以上形状的任意组合。
13.可选地，所述真空镀膜设备还包括能够检测所述线形蒸发口环境的温度信息的温度检测件，所述调节板组件能够根据所述温度信息调节所述线形蒸发口大小。可选地，所述
真空镀膜设备包括至少两组所述调节板组件，至少两组所述调节板组件沿所述线形开口的延伸方向布置。
14.可选地，两组所述调节板组件之间设置有间隙，所述温度检测件穿设于所述间隙，且固定设置于所述蒸发腔体上。
15.可选地，所述蒸发腔体包括本体和与所述本体可拆卸连接的底板，所述本体与所述底板形成所述腔室，所述线形开口开设于所述本体上。
16.本实用新型的有益效果：
17.本实用新型提供的一种真空镀膜设备，线形蒸发口为连续的开口结构，蒸发源材料能够通过线形蒸发口均匀地蒸发出来，从而能够使镀膜的厚度均匀，降低了蒸发源材料用量，从而降低了镀膜生产成本。可根据需要调节调节板组件，通过控制线形蒸发口横截面积大小以控制蒸发源材料的蒸发速度，便于控制镀膜厚度的精度，能够进一步减少蒸发源材料用量，降低成本。通过设置能够调节的调节板组件，结构简单，便于操作。
附图说明
18.图1是现有技术提供的腔体的结构示意图；
19.图2是本实用新型的具体实施方式提供的真空镀膜设备的结构示意图；
20.图3是本实用新型的具体实施方式提供的真空镀膜设备的主视图；
21.图4是本实用新型的具体实施方式提供的真空镀膜设备的爆炸图；
22.图5是图4的a处放大图；
23.图6是图4的b处放大图。
24.图中：
25.1＇、腔体；2＇、喷嘴；
26.1、蒸发腔体；11、本体；111、线形开口；112、凸台；113、安装孔；12、底板；
27.2、调节板组件；21、活动板；211、滑槽；
28.3、罩壳；31、通孔；
29.4、隔热板；
30.5、加热器。
具体实施方式
31.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
34.本实施例提供了一种真空镀膜设备，其包括蒸发腔体1和调节板组件2；具体地，如图2-图4所示，蒸发腔体1具有腔室和线形开口111，腔室用于容置蒸发源材料，腔室通过线形开口111与外部连通；调节板组件2能够遮挡线形开口111形成线形蒸发口，调节调节板组件2能够调节线形蒸发口的横截面积大小。
35.线形蒸发口为连续的开口结构，蒸发源材料能够通过线形蒸发口均匀地蒸发出来，从而能够使镀膜的厚度均匀，降低了蒸发源材料用量，从而降低了镀膜生产成本。可根据需要调节调节板组件2，通过控制线形蒸发口横截面积大小以控制蒸发源材料的蒸发速度，便于控制镀膜厚度的精度，能够进一步减少蒸发源材料用量，降低成本。通过设置能够调节的调节板组件2，结构简单，便于操作。
36.具体地，蒸发源材料可以是药液，也可以是其他材料，其为现有技术，不再赘述。
37.本实施例中，如图4和图5所示，调节板组件2包括两个活动板21，两个活动板21分别设置于线形开口111两侧，两个活动板21能够分别遮挡线形开口111以形成线形蒸发口，当两个活动板21能够朝向彼此滑动，能够增大遮挡线形开口111的横截面积，减小线形蒸发口，从而能够降低蒸发源材料蒸发速度；同理，当两个活动板21能够背离彼此滑动，能够减小遮挡线形开口111的横截面积，增大线形蒸发口，从而能够提高蒸发源材料蒸发速度；同时调节两个活动板21，提高了调节效率。
38.其他实施例中，调节板组件2包括设置于线形开口111两侧的固定板和活动板21，活动板21能够遮挡线形开口111以形成线形蒸发口，当活动板21能够朝向固定板滑动，能够增大遮挡线形开口111的横截面积，减小线形开口111，从而能够降低蒸发源材料蒸发速度；同理，当活动板21能够背离固定板滑动，能够减小遮挡线形开口111的横截面积，增大线形蒸发口，从而能够提高蒸发源材料蒸发速度；固定板固定设置，只调节活动板21，调节方便。进一步可选地，也可以只在线形开口111的一侧设置活动板21而另一侧不设置固定板也不设置活动板21，通过调节活动板21调节遮挡线形开口111的横截面积，从而调节线形蒸发口的大小，进而能够控制蒸发源材料蒸发速度，结构简单。
39.可选地，线形蒸发口的形状呈直线、曲线、圆形或以上形状的任意组合，根据实际情况进行设置，保证线形蒸发口为连续的开口结构即可。
40.本实施例中，如图4所示，蒸发腔体1外周设置有加热器5，加热器5用于加热蒸发源材料。
41.本实施例中，如图4所示，蒸发腔体1外部罩设有罩壳3，用于蒸发腔体1防护。
42.本实施例中，如图4所示，腔室内还设置有隔热板4，隔热板4设置于加热器5和罩壳3之间，以防止罩壳3温度过高将温度传递到罩壳3外部，能够保护罩壳3，且能够避免罩壳3外部结构被高温损伤。
43.可选地，真空镀膜设备还包括罩设于蒸发腔体1的罩壳3，罩壳3上开设有与述线形
开口111的形状相适应的通孔31，具体地，通孔31的开口横截面积不小于线形开口111的开口横截面积，线形开口111完全露出与通孔31，以避免影响蒸发效果。
44.本实施例中，蒸发腔体1上设置有凸台112，线形开口111开设在凸台112上，凸台112穿设于通孔31，调节板组件2安装于凸台112上，调节板组件2直接调节线形开口111的大小；其他实施例中，调节板组件2还可以设置于罩壳3上；具体地，调节板组件2的安装位置可根据实际情况进行设置，不进行限定，能够调节遮挡的线形开口111的大小即可。
45.当调节板组件2设置于蒸发腔体1上时，可选地，调节板组件2可以滑动设置于蒸发腔体1上，或者转动设置于蒸发腔体1上，只要能够调节遮挡的线形开口111的大小即可，不进行具体限定。当调节板组件2设置于罩壳3上时，同理，调节板组件2也可以滑动或转动或通过其他方式设置于罩壳3上，不进行限定。
46.具体地，加热器5、隔热板4及罩壳3均采用现有技术，不再赘述。
47.本实施例中，如图2-图5所示，线形蒸发口的形状呈直线形状，活动板21上开设有滑槽211，滑槽211垂直于线形开口111的延伸方向延伸设置，蒸发腔体1上设置有固定杆，滑槽211穿设于固定杆，活动板21能够沿滑槽211滑动，通过设置固定杆和滑槽211，提高了活动板21滑动精度。具体地，如图6所示，蒸发腔体1上开设有安装孔113，固定杆穿设于安装孔113以固定在蒸发腔体1上，进一步地，安装孔113可以是螺纹孔。进一步具体地，固定杆还可以设置在凸台112上。其他实施例中，固定杆也可以设置在罩壳3上，活动板21滑动设置于罩壳3上。
48.当真空镀膜设备结构较大，线形开口111的长度较长时，可选地，如图4所示，包括至少两组调节板组件2，至少两组调节板组件2沿线形开口111的延伸方向布置，减少每组调节板组件2的长度，通过多组调节板组件2拼接方式形成线形蒸发口，降低了加工难度。
49.可选地，真空镀膜设备还包括能够检测线形蒸发口环境温度信息的温度检测件，调节板组件2能够根据温度信息调节线形蒸发口大小，当温度较高，蒸发速度较快，为降低蒸发速度可将线形蒸发口减小，从而降低蒸发速度，提高了蒸发速度的控制精度。
50.具体地，如图4所示，温度检测件为热电偶。具体地，两组调节板组件2之间设置有间隙，温度检测件穿设于间隙，且固定设置于蒸发腔体1上，温度检测件能够获取有线形蒸发口处蒸发源材料的温度，提高了温度检测精度。本实施例中，热电偶通过紧固件连接于蒸发腔体1上，且热电偶设置于两组调节板组件2之间，防止结构干涉。
51.可选地，蒸发腔体1包括本体11和与本体11可拆卸连接的底板12，本体11与底板12形成腔室，线形开口111开设于本体11上；后期可通过拆卸底板12对蒸发腔体1内部结构进行维护保养，操作方便。
52.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。