一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座的制作方法

1.本实用新型属于气相沉积设备领域，尤其涉及一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座。


背景技术：

2.随着电子信息产业的发展尤其是半导体材料与器件的普及，真空设备亦逐渐普及到工业化生产应用。气相沉积技术是近几十年来发展起来的高端工业制备技术，在半导体领域有举足轻重的应用前景，包括物理气相沉积(pvd)如磁控溅射、电子束蒸镀、多弧离子镀、脉冲激光沉积等，化学气相沉积(cvd)如微波等离子体化学气相沉积、金属有机化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积等。为生长均匀可控的沉积薄膜，大部分气相沉积技术都要求在真空环境下进行，而气相沉积的特点是对反应腔内的各个部件都会进行不同程度的沉积，这样就造成气相沉积技术在工业化连续生产方面的限制，尤其是通过轴承传动的卷绕型膜结构产品制造设备，更是受限于轴承卡顿问题难以推广应用。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的在于提供一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，具有气相阻隔单元，减小气相对轴承的冲击。
4.为达到以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，包括：
5.支撑座，在所述支撑座上形成有用于放置轴承的轴承孔，所述轴承用于对旋转轴进行支撑，旋转轴的一端插入到轴承的内圈中，所述轴承孔、轴承以及旋转轴的轴线共线；
6.气相阻隔单元，设置在支撑座的面向的旋转轴的另一端的一侧。
7.优选地，所述气相阻隔单元包括至少一个阻隔片，所述阻隔片沿着垂直于所述旋转轴的轴线的方向布置，当阻隔片具有多个时，多个所述阻隔片沿着平行于所述旋转轴的轴线方向排列。
8.优选地，在每个阻隔片的面向轴承的一侧设置有缓冲间隙。
9.优选地，还包括石墨环，所述石墨环套在所述旋转轴上且抵靠在轴承的面向旋转轴的另一端的一侧上。
10.优选地，还包括连接件，所述连接件用于将支撑座与气相沉积设备的设备外壳连接，所述阻隔片和缓冲间隙设置在所述连接件上。
11.优选地，还包括用于套设在旋转轴外侧的石墨滑套，所述石墨滑套能够套设在所述旋转轴上，一端固定在设备外壳上，另一端抵靠在所述支撑座上。
12.与现有技术相比，该实用新型具有以下有益效果：
13.1)采用了气相阻隔单元，能够减弱气相对轴承的冲击，提高轴承的寿命；
14.2)采用了石墨环作为润滑剂，石墨环不易挥发，在气相对其冲击时，相比于其它的润滑剂，更耐用。
附图说明
15.图1是根据本实用新型的一个优选实施例的立体图；
16.图2是根据本实用新型的一个优选实施例的右视图；
17.图3是a-a视图。
具体实施方式
18.以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
19.一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，包括支撑座104，在支撑座104上设置有用于放置轴承20的轴承孔106，所述轴承20用于对旋转轴30进行支撑，旋转轴30的一端插入到轴承20的内圈中，另一端穿过气相沉积设备的设备外壳40进入到设备外壳40内与设备外壳40内的其它结构传动连接。所述旋转轴30、轴承孔106以及轴承20的轴线共线。
20.所述轴承座还包括将支撑座104与所述设备外壳40连接的连接件101。在连接件101上沿着旋转轴30的轴线方向依次设置两阻隔片102，在连接件101上且位于两阻隔片102之间形成缓冲间隙103，每个所述阻隔片102所在的平面垂直于所述旋转轴30的轴线，通过阻隔片102与缓冲间隙103组成的气相阻隔单元能够减弱气相对轴承20的冲击。在实际使用中，还可以在缓冲间隙103中设置缓冲件，缓冲件可以采用弹性材料制成所述阻隔片102也可以具有一定的弹性。
21.进一步，所述轴承座还包括石墨环105，所述石墨环105套在所述旋转轴30上且抵靠在轴承20的面向设备外壳40的一侧。采用采用不易挥发的石墨环105作为润滑剂，能够保证轴承20较长时间的润滑效果，进一步提高轴承寿命。
22.所述轴承座还包括用于套设在旋转轴30外侧的石墨滑套107，所述石墨滑套107能够套设在所述旋转轴30上，一端固定在设备外壳40上，另一端抵靠在所述支撑座104上。
23.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。


技术特征：
1.一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，包括：支撑座，在所述支撑座上形成有用于放置轴承的轴承孔，所述轴承用于对旋转轴进行支撑，旋转轴的一端插入到轴承的内圈中，所述轴承孔、轴承以及旋转轴的轴线共线；其特征在于，还包括：气相阻隔单元，设置在支撑座的面向的旋转轴的另一端的一侧。2.根据权利要求1所述的一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，其特征在于，所述气相阻隔单元包括至少一个阻隔片，所述阻隔片沿着垂直于所述旋转轴的轴线的方向布置，当阻隔片具有多个时，多个所述阻隔片沿着平行于所述旋转轴的轴线方向排列。3.根据权利要求2所述的一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，其特征在于，在每个阻隔片的面向轴承的一侧设置有缓冲间隙。4.根据权利要求1-3任一项所述的一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，其特征在于，还包括石墨环，所述石墨环套在所述旋转轴上且抵靠在轴承的面向旋转轴的另一端的一侧上。5.根据权利要求3所述的一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，其特征在于，还包括连接件，所述连接件用于将支撑座与气相沉积设备的设备外壳连接，所述阻隔片和缓冲间隙设置在所述连接件上。6.根据权利要求5所述的一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，其特征在于，还包括用于套设在旋转轴外侧的石墨滑套，所述石墨滑套能够套设在所述旋转轴上，一端固定在设备外壳上，另一端抵靠在所述支撑座上。

技术总结
本实用新型提供了一种延长气相沉积设备内轴承使用寿命的轴承座，包括：支撑座，在所述支撑座上形成有用于放置轴承的轴承孔，所述轴承用于对旋转轴进行支撑，旋转轴的一端插入到轴承的内圈中，所述轴承孔、轴承以及旋转轴的轴线共线；气相阻隔单元，设置在支撑座的面向的旋转轴的另一端的一侧。该轴承座采用了气相阻隔单元以及不易挥发的石墨环作为润滑剂，能够减小气相的冲击，延迟轴承的寿命。延迟轴承的寿命。延迟轴承的寿命。


技术研发人员：秦力 伍沛芬 陈少云 张清燕 李裕
受保护的技术使用者：广东省华显新材料科技有限公司
技术研发日：2021.08.22
技术公布日：2022/2/22