一种便于操作的磁控溅射镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体为一种便于操作的磁控溅射镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜是一种生成薄膜材料的技术，在真空室内镀膜材料的原子或分子从表面离析出来打到被镀物体的表面上，真空镀膜一般是指用物理的方法沉积薄膜，主要有蒸发镀膜、离子镀和溅射镀膜；其中溅射镀膜中的磁控溅射镀膜以其膜基结合牢度好、效率高、无污染等优点被广泛应用，磁控溅射是为了在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率，通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射效率的方法，其原理是：把基材和靶材安装于真空室内，在处于低压状态气体的辉光放电中形成正、负离子及电子，正离子轰击作为阴极的靶材，使靶材原子被溅射出来，在基材上形成薄膜，从而实现基体材料的各种功能化。
3.但是，现有的磁控溅射镀膜机在使用过程中存在一些弊端，比如：
4.现有的磁控溅射镀膜机在使用前需要对基片进行清洗，清洗完成后放置在干燥器内烘干备用，在基片进行清洗烘干时一般为人工操作，人工清洗时容易清洗不干净，同时在清洗完成后往干燥器中转运时，基片容易产生二次污染，操作繁琐的同时影响镀膜的效率。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种便于操作的磁控溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于操作的磁控溅射镀膜机，包括：底板、清洁辊、超声波清洁箱和干燥外壳，所述底板顶部通过卡接固定连接有防护外壳，所述防护外壳顶部通过卡接固定连接有顶板，所述顶板底部中央通过卡接固定连接有上防护罩，所述底板顶部中央通过卡接固定连接有下防护罩，所述顶板与底板之间中央通过卡接固定连接有步进电机，所述步进电机动力输出轴一端通过卡接固定连接有连接杆，所述连接杆远离步进电机一端通过卡接固定连接有支撑板，所述支撑板顶部中央通过卡接固定连接有电动油缸，所述电动油缸活塞杆底部通过卡接固定连接有固定板，所述固定板底面通过胶粘固定连接有基片，所述底板顶部一侧通过卡接固定连接有超声波清洁箱，所述底板顶部远离超声波清洁箱一侧通过卡接固定连接有干燥外壳，所述防护外壳内壁一侧与下防护罩外壁之间通过轴承转动连接有清洁辊。
7.进一步的，所述上防护罩与下防护罩之间位于连接杆外侧留有间隙。
8.进一步的，所述底板远离清洁辊一侧开设有退让槽。
9.进一步的，所述清洁辊外壁包裹有擦镜纸。
10.进一步的，所述超声波清洁箱的内径以及干燥箱的内径大于基片的外径。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.本实用新型通过设置的超声波清洁箱、干燥外壳以及步进电机，实现了在便于操
作的磁控溅射镀膜机使用时，在进行基片准备过程中，通过打开防护外壳靠近超声波清洁箱一侧的进出料门，将基片粘贴在固定板上，使得基片的镀膜面一侧向下，关闭进出料门，通过电动油缸活塞杆下降，带动基片没入到超声波清洁箱内部的清洁剂中，通过超声波清洗去除基片镀膜面一侧的杂质，清洁完成后通过电动油缸回到原位，使得基片脱离超声波清洁箱，通过步进电机带动连接杆转动，使得基片依次通过各个清洁辊上方，通过清洁辊上方的擦镜纸对基片底部进行擦拭，擦拭完成后，通过步进电机带动基片移动至干燥外壳上方，通过电动油缸带动基片进入到干燥外壳内部进行干燥，干燥完成后，继续通过电动油缸带动基片脱离干燥外壳，通过步进电机带动基片移动至底板的退让槽处，此时基片进入到磁控溅射工位，进行磁控溅射，整个装置自动完成磁控溅射基片前期的准备清洗工作，清洁效率高的同时，清洁效果高，防止基片人工清洁容易造成二次污染。
附图说明
13.图1为本实用新型整体主视结构剖视示意图；
14.图2为本实用新型整体左视结构剖视示意图；
15.图3为本实用新型整体俯视结构剖视示意图。
16.图中：1-底板；2-防护外壳；3-清洁辊；4-顶板；5-上防护罩；6-步进电机；7-下防护罩；8-超声波清洁箱；9-基片；10-支撑板；11-电动油缸；12-固定板；13-干燥外壳；14-连接杆。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种便于操作的磁控溅射镀膜机，包括：底板1、清洁辊3、超声波清洁箱8和干燥外壳13，底板1顶部通过卡接固定连接有防护外壳2，防护外壳2顶部通过卡接固定连接有顶板4，顶板4底部中央通过卡接固定连接有上防护罩5，底板1顶部中央通过卡接固定连接有下防护罩7，顶板4与底板1之间中央通过卡接固定连接有步进电机6，步进电机6动力输出轴一端通过卡接固定连接有连接杆14，连接杆14远离步进电机6一端通过卡接固定连接有支撑板10，支撑板10顶部中央通过卡接固定连接有电动油缸11，电动油缸11活塞杆底部通过卡接固定连接有固定板12，固定板12底面通过胶粘固定连接有基片9，底板1顶部一侧通过卡接固定连接有超声波清洁箱8，底板1顶部远离超声波清洁箱8一侧通过卡接固定连接有干燥外壳13，防护外壳2内壁一侧与下防护罩7外壁之间通过轴承转动连接有清洁辊3，上防护罩5与下防护罩7之间位于连接杆14外侧留有间隙，底板1远离清洁辊3一侧开设有退让槽，清洁辊3外壁包裹有擦镜纸，超声波清洁箱8的内径以及干燥箱13的内径大于基片9的外径。
19.工作原理：在便于操作的磁控溅射镀膜机使用时，在进行基片准备过程中，通过打开防护外壳2靠近超声波清洁箱8一侧的进出料门，将基片9粘贴在固定板12上，使得基片9的镀膜面一侧向下，关闭进出料门，通过电动油缸11活塞杆下降，带动基片9没入到超声波
清洁箱8内部的清洁剂中，通过超声波清洗去除基片镀膜面一侧的杂质，清洁完成后通过电动油缸11回到原位，使得基片9脱离超声波清洁箱8，通过步进电机6带动连接杆14转动，使得基片9依次通过各个清洁辊3上方，通过清洁辊3上方的擦镜纸对基片9底部进行擦拭，擦拭完成后，通过步进电机6带动基片9移动至干燥外壳13上方，通过电动油缸11带动基片9进入到干燥外壳13内部进行干燥，干燥完成后，继续通过电动油缸11带动基片9脱离干燥外壳13，通过步进电机6带动基片9移动至底板1的退让槽处，此时基片9进入到磁控溅射工位，进行磁控溅射，整个装置自动完成磁控溅射基片前期的准备清洗工作，清洁效率高的同时，清洁效果高，防止基片人工清洁容易造成二次污染。
20.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。