磁控溅射镀膜生产线系统的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射膜生产线领域，特别涉及磁控溅射镀膜生产线系统。


背景技术：

2.连续式磁控溅射镀膜生产线包括有多节首尾连接的真空腔体组件，不同真空腔体组件能够进行不同的加工工序实现不同功能，根据功能能够将真空腔体组件分为清洁室、缓冲室、镀膜室等。
3.参考图1，现有技术中，每节真空腔体组件900中包括有不同的负载部件，电控柜910通过控制线缆920分别与每一节的负载部件连接，使得每节真空腔体组件900与电控柜920之间都连接有多根控制线缆910，导致线缆的数量繁多并且走线排布麻烦。
4.同时，磁控溅射镀膜生产线中的真空腔体组件900数量越多，长度会越长，一般整体长度普遍在20米以上，由于控制线缆920均与同一电控柜910连接，控制线缆920会随整体长度加长消耗会越来越多。当工艺改变等原因，需要插入新真空腔体组件900时，新插入真空腔体组件900之后的所有真空腔体组件900，即需要移动的真空腔体组件900与电控柜910的距离均会改变，由于控制线缆920长度的限制，导致新插入真空腔体组件900之后的所有真空腔体组件900，均需要与原来连接的控制线缆920拆分，移动后与长度足够的控制线缆920重新连接，操作麻烦并且花费时间长。
5.另外，当真空腔体组件900数量增多，电控柜910内的控制模块，如plc的控制点数可能不足，需要对电控柜910进行加装、拼柜的处理，操作麻烦。


技术实现要素：

6.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出磁控溅射镀膜生产线系统，其能够简化控制线缆组的排布，减少控制线缆组的长度消耗，并且在新增加真空腔体组件时，简化操作。
7.根据本实用新型的磁控溅射镀膜生产线系统，包括：多节真空腔体组件，所述真空腔体组件包括负载组件；分控柜，与所述真空腔体组件一一对应，所述分控柜设置有控制模块；控制线缆组，与所述控制模块一一对应，所述控制模块通过所述控制线缆组与所述负载组件电性连接；主控柜，设置有处理模块，所述处理模块与所述控制模块通信连接。
8.根据本实用新型实施例的磁控溅射镀膜生产线系统，至少具有如下有益效果：分控柜中的控制模块通过控制线缆组与对应真空腔体组件上的负载组件电性连接，主控柜中的处理模块分别与每个分控柜中的控制模块通信连接，以协调不同控制模块控制负载组件工作。以此结构，不同分控柜的控制线缆组互不干扰，能够简化控制线缆组的排布，并且每节真空腔体组件一一对应设置有分控柜，能够减少控制线缆组走线长度的消耗。同时，在新插入真空腔体组件时，将真空腔体组件与分控柜一起移动，无需拆装控制模块与负载组件之间的控制线缆组，有利于简化操作，节省时间。另外，因为真空腔体组件与分控柜一一对应，真空腔体组件数量增多，亦能够避免控制模块控制点数不够的情况出现，新增真空腔体
组件无需对主控柜进行加装等处理，令操作更加便捷。
9.根据本实用新型的一些实施例，还包括通信线缆，所述分控柜设置有与所述控制模块电性连接的第一有线通信模块，所述主控柜设置有与所述处理模块电性连接的第二有线通信模块，所述第一有线通信模块通过所述通信线缆与所述第二有线通信模块电性连接。
10.根据本实用新型的一些实施例，所述真空腔体组件设置有真空室，多个所述真空腔体组件首尾连接以令相邻的所述真空室相连通，所述真空腔体组件包括真空隔板，所述真空隔板能够将相邻的所述真空室相互间隔。
11.根据本实用新型的一些实施例，所述负载组件包括与所述真空隔板连接的驱动件，所述控制模块包括控制器以及继电器，所述控制线缆组包括驱动控制线组，所述控制器与所述继电器的控制端电性连接，所述继电器通过所述驱动控制线组与所述驱动件电性连接。
12.根据本实用新型的一些实施例，所述负载组件包括电机，所述控制模块包括变频器，所述控制线缆组包括电机控制线组，所述控制器与所述变频器的控制端电性连接，所述变频器通过所述电机控制线组与所述电机电性连接。
13.根据本实用新型的一些实施例，所述控制模块还包括接触器，所述控制器与所述接触器的控制端电性连接，所述变频器与所述接触器电性连接，所述接触器通过所述电机控制线组与所述电机电性连接。
14.根据本实用新型的一些实施例，所述控制模块包括电机保护器，所述变频器与所述电机保护器电性连接，所述电机保护器通过所述电机控制线组与所述电机电性连接。
15.根据本实用新型的一些实施例，还包括供电线缆组以及配电线缆，所述分控柜设置有供电模块，所述供电模块通过所述供电线缆组与所述负载组件电性连接，所述主控柜设置有配电模块，所述配电模块通过所述配电线缆与所述供电模块电性连接。
16.根据本实用新型的一些实施例，所述供电模块包括断路器以及电源适配组件，所述控制模块与所述断路器的控制端电性连接，所述配电线缆与所述断路器电性连接，所述断路器与所述电源适配组件电性连接，所述电源适配组件通过所述供电线缆组与所述负载组件电性连接。
17.根据本实用新型的一些实施例，所述分控柜设置有第一接线端子组以及第二接线端子组，所述控制模块与所述第一接线端子组电性连接，所述第一接线端子组与所述控制线缆组可拆卸地连接，所述供电模块通过与所述第二接线端子组电性连接，所述第二接线端子组与所述供电线缆组可拆卸地连接。
18.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
19.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
20.图1为现有技术中连续式磁控溅射镀膜生产线的结构示意图；
21.图2为本实用新型其中一种实施例的结构示意图；
22.图3为本实用新型其中一种实施例的结构框图；
23.图4为本实用新型其中一种实施例的立体图。
24.附图标记：
25.真空腔体组件100；负载组件；驱动件111；电机112；真空隔板120；分控柜200；控制模块210；控制器211；继电器212；变频器213；接触器214；电机保护器215；第一有线通信模块220；供电模块230；断路器231；电源适配组件232；控制线缆组300；驱动控制线组310；电机控制线组320；主控柜400；处理模块410；第二有线通信模块420；配电模块430；操控显示模块440；通信线缆500；供电线缆组600；配电线缆700。
具体实施方式
26.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
27.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.在本实用新型的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
29.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
30.如图2至图4所示，根据本实用新型实施例的磁控溅射镀膜生产线系统，包括：多节真空腔体组件100，真空腔体组件100包括负载组件110；分控柜200，与真空腔体组件100一一对应，分控柜200设置有控制模块210；控制线缆组300，与控制模块210一一对应，控制模块210通过控制线缆组300与负载组件110电性连接；主控柜400，设置有处理模块410，处理模块410与控制模块210通信连接。
31.分控柜200中的控制模块210通过控制线缆组300与对应真空腔体组件100上的负载组件110电性连接，主控柜400中的处理模块410分别与每个分控柜200中的控制模块210通信连接，以协调不同控制模块210控制负载组件110工作。以此结构，不同分控柜200的控制线缆组300互不干扰，能够简化控制线缆组300的排布，并且每节真空腔体组件100一一对应设置有分控柜200，能够减少控制线缆组300走线长度的消耗。同时，在新插入真空腔体组件100时，将真空腔体组件100与分控柜200一起移动，无需拆装控制模块210与负载组件110之间的控制线缆组300，有利于简化操作，节省时间。另外，因为真空腔体组件100与分控柜200一一对应，真空腔体组件100数量增多，亦能够避免控制模块210控制点数不够的情况出现，新增真空腔体组件100无需对主控柜400进行加装等处理，令操作更加便捷。
32.处理模块410可以是包括plc、单片机或嵌入式处理器等具有处理数据信号功能的
器件的实施方式。
33.参考图4，在本实用新型的一些实施例中，分控柜200与真空腔体组件100连接。以此，能够在移动真空体组件100时一同移动分控柜200。
34.参照图2和图3，在本实用新型的一些实施例中，还包括通信线缆500，分控柜200设置有与控制模块210电性连接的第一有线通信模块220，主控柜400设置有与处理模块410电性连接的第二有线通信模块420，第一有线通信模块220通过通信线缆500与第二有线通信模块420电性连接。
35.每个分控柜200中的第一有线通信模块220通过通信线缆500均与主控柜400中的第二有线通信模块420构建信道，以此使得分控柜200中的控制模块210能够通过构建的信道与处理模块410交换数据信号，进而处理模块410能够协调多个分控柜200中的控制模块210配合工作，令生产线正常运行。使用第一有线通信模块220、第二有线通信模块420以及通信电缆，通过有线的方式传输数据信号，有利于提高通信的稳定性和可靠性。
36.第一有线通信模块220、第二有线通信模块420可以是包括常见的can通信模块、rs485通信模块等能够实现有线通信的器件或模块的实施方式。
37.在本实用新型的某些实施例中，控制模块210与处理模块410的通信连接还可以是分控柜200设置有第一无线通信模块并且主控柜400设置有第二无线通信模块的实施方式，控制模块210与处理模块410之间通过第一无线通信模块与第二无线通信模块交换数据信号。第一无线通信模块、第二无线通信模块可以是为wifi模块、zigbee模块等能够实现无线通信的器件或模块的实施方式。
38.参照图2，在本实用新型的一些实施例中，真空腔体组件100设置有真空室，多个真空腔体组件100首尾连接以令相邻的真空室相连通，真空腔体组件100包括真空隔板120，真空隔板120能够将相邻的真空室相互间隔。
39.多个真空腔体组件100的真空室依次连通，真空隔板120能够将相邻的真空腔室间隔开，在对产品进行一道工序时，能够根据需求将若干个真空室与其他真空室相互间隔，形成加工空间，以此减少对其他真空室的影响，再完成该工序后，真空隔板120移动令相邻真空室连通，产品移动进入下一道工序。以此结构，能够根据需求灵活调整一道工序所使用的真空室数量，满足生产加工需求。
40.参照图2和图3，在本实用新型的一些实施例中，负载组件110包括与真空隔板120连接的驱动件111，控制模块210包括控制器211以及继电器212，控制线缆组300包括驱动控制线组310，控制器211与继电器212的控制端电性连接，继电器212通过驱动控制线组310与驱动件111电性连接。
41.控制器211控制继电器212吸合或分离，能够控制驱动件111驱使真空隔板120移动，进而控制真空隔板120是否将相邻的真空室间隔开。使用继电器212控制驱动件111移动，结构简单便于实施。
42.控制器211可以是包括plc、单片机或嵌入式处理器等具有控制功能器件或装置的实施方式。驱动件111可以是为气缸、电动缸等能够驱动真空隔板120移动的器件或装置的实施方式。
43.参照图3，在本实用新型的一些实施例中，负载组件110包括电机112，控制模块210包括变频器213，控制线缆组300包括电机控制线组320，控制器211与变频器213的控制端电
性连接，变频器213通过电机控制线组320与电机112电性连接。
44.电机112能够提供动力，以满足生产过程中的动力需求，如作为传送带的动力源驱使产品移动、作为真空泵的动力源对真空室抽出气体等。通过控制器211控制变频器213输出交流电的频率，能够控制电机112的转速等工作状况，满足生产需求。
45.参照图3，在本实用新型的一些实施例中，控制模块210还包括接触器214，控制器211与接触器214的控制端电性连接，变频器213与接触器214电性连接，接触器214通过电机控制线组320与电机112电性连接。
46.控制器211控制接触器214闭合或断开，能够控制变频器213与电机112之间导通或者断路，以此能够在意外情况或维修检查时断开变频器213与电机112连接，满足使用需求。或者变频器213通过多个接触器214与多个电机112连接，能够实现一个变频器213控制多个电机112运作的功能，满足生产需求。
47.参照图3，在本实用新型的一些实施例中，控制模块210包括电机保护器215，变频器213与电机保护器215电性连接，电机保护器215通过电机控制线组320与电机112电性连接。
48.通过变频器213与电机112之间电性连接有电机保护器215，电机保护器215一般包括有电流互感器、电压互感器等检测器件，以检测电机112的电流、电压大小，能够在出现电流过载或电压欠载等情况时，在设定时间内断开电机112与变频器213的连接，产生警报进行提示，实现保护电机112的效果，有利于提高安全性。
49.参照图2和图3，在本实用新型的一些实施例中，还包括供电线缆组600以及配电线缆700，分控柜200设置有供电模块230，供电模块230通过供电线缆组600与负载组件110电性连接，主控柜400设置有配电模块430，配电模块430通过配电线缆700与供电模块230电性连接。
50.负载器件工作时需要供电以及控制信号，作为控制信号载体的控制线缆组300均与分控柜200连接，通过分控柜200设置有供电模块230，作为供电载体的的供电线缆组600与供电模块230电性连接，即供电线缆组600亦与分控柜200连接，以此真空腔体组件100中的负载组件110的控制线缆组300与供电线缆组600均与对应的分控柜200连接，有利于进一步简化线缆排布。
51.主控柜400能够通过配电模块430控制供电模块230配电形况，在维护检修等情况时，能够控制特定分控柜200失电，方便进行维护检修，并且主控柜400通过处理模块410以及配电模块430能够控制生产线的整体工作状态，方便使用者进行控制。
52.配电模块430可以是包括隔离开关、熔断器、接触器214等配电常用的器件的实施方式。
53.参考图1和图2，本实用新型中，主控柜400与分控柜200之间只需要设置有通信线缆500以及配电线缆700，相较于现有技术的结构，能够减少主控柜400与分控柜200之间的线缆数量，方便走线排布，节省线缆消耗。
54.在新插入真空腔体组件100，真空腔体组件100需要移动时，将对应需要移动的分控柜200上连接的通信线缆500以及配电线缆700拆分，然后将真空腔体组件100以及分控柜200一同移动，移动完成后，重新将通信线缆500以及配电线缆700重新对应与分控柜200中的控制模块210以及供电模块电性连接，即可完成插入新的真空腔体组件100的操作。
55.由于每个控制模块对应只需一条通信线缆500，以及配电线缆700一般只需要两条，而控制线缆组300、供电线缆组600与负载组件110数量相关，一般控制线缆组300、供电线缆组600分别包括有多条线缆，因此通信线缆500与配电线缆700的数量明显少于控制线缆组300和供电线缆组600的数量，能够明显减少与主控柜400连接线缆的数量，减少线缆的材料消耗。
56.参照图3，在本实用新型的一些实施例中，供电模块230包括断路器231以及电源适配组件232，控制模块210与断路器231的控制端电性连接，配电线缆700与断路器231电性连接，断路器231与电源适配组件232电性连接，电源适配组件232通过供电线缆组600与负载组件110电性连接。
57.控制模块210，具体实施时可以是控制器211，能够控制断路器231闭合或断开，进而控制配电线缆700与电源适配组件232导通或断路，以此能够在出现意外情况或检修维护时，令断路器231断开，令电源适配组件232失电，不再向负载组件110供电，避免事故发生、方便进行检修，有利于提高安全性。
58.电源适配组件232亦能够与控制模块210电性连接，以向控制模块210供电。电源适配组件232可以是包括常见的恒压电源、恒流电源、开关电源等能够调节电压、电流的器件或电路的实施方式，以能够输出负载器件工作所需的电压、电流，令负载器件能够正常工作。
59.在本实用新型的一些实施例中，分控柜200设置有第一接线端子组以及第二接线端子组，控制模块210与第一接线端子组电性连接，第一接线端子组与控制线缆组300可拆卸地连接，供电模块230通过与第二接线端子组电性连接，第二接线端子组与供电线缆组600可拆卸地连接。
60.通过分控柜200设置有第一接线端子组以及第二接线端子组，能够方便与控制线缆组300、供电线缆组600可拆卸地连接，方便进行拆装，令使用更加便捷。
61.参照图3，在本实用新型的一些实施例中，主控柜400上设置有操控显示模块440，操控显示模块440分别与处理模块410以及配电模块430电性连接。
62.通过主控柜400上设置有操控显示模块440，使用者能够通过操控显示模块440产生操控信号传输至处理模块410，处理模块410根据操控信号产生并传输对应的处理信号传输至控制模块210，控制模块210根据接收的处理信号控制负载组件110工作，以此过程能够让使用者通过操控显示模块440控制整条生产线的工作状态，操作方便。同时，控制模块210以能够将负载组件110的工作状态信息反馈至处理模块410，处理模块410通过操控显示模块440显示负载组件110的工作状态信息，配电模块430的工作状态信息以能够通过操控显示模块440进行显示，以此方便使用者获知掌握生产线的工作状态情况。
63.操控显示模块440可以是包括旋钮、按键等能够产生操控信号器件以及显示屏、指示灯、数码管等具有显示功能器件的实施方式。
64.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
65.当然，本实用新型创造并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本
申请权利要求所限定的范围内。