一种掩膜板的制作方法与流程

1.本发明实施例涉及显示领域，特别是涉及一种掩膜板的制作方法。


背景技术：

2.目前，掩膜制作时通常通过激光焊接将掩膜条固定在掩膜框架上掩膜。然而现有的激光焊接存在以下问题：
3.激光焊接后焊点一般呈圆型坑状，圆形坑状的焊点会使掩膜条表面凸起，蒸镀时，掩膜条凸起的表面会造成蒸镀玻璃基板划伤的风险。


技术实现要素：

4.本发明实施例提供的掩膜板的制作方法，可以避免因焊点凸起而造成划伤蒸镀玻璃基板的问题。
5.本发明实施例提供一种掩膜板的制作方法，该制作方法包括：
6.将掩膜条设置于掩膜框架上；
7.采用扩散焊工艺使所述掩膜条与所述掩膜框架固定连接。
8.可选的，采用扩散焊工艺使所述掩膜条与所述掩膜框架固定连接具体包括：
9.采用加热单元对所述掩膜条和所述掩膜框架的接触面以设定温度进行加热，同时采用加压单元对所述掩膜条和所述掩膜框架施加设定压力，使所述掩膜条和所述掩膜框架固定连接。
10.可选的，采用加热单元对所述掩膜条和所述掩膜框架的接触面以设定温度进行加热，并采用加压单元对所述掩膜条和所述掩膜框架施加设定压力，包括：
11.将加热单元设置于所述掩膜条远离所述掩膜框架的表面对所述掩膜条和所述掩膜框架的接触面进行加热，同时将所述加压单元设置于所述加热单元远离所述掩膜条的一侧对所述加热单元施压。
12.可选的，每一所述掩膜条包括第一端部和第二端部；所述第一端部与所述掩膜框架的第一边接触，所述第二端部与所述掩膜框架的第二边接触；
13.采用加热单元同时对同一所述掩膜条的所述第一端部和所述第二端部进行加热，采用加压单元同时对同一所述掩膜条的所述第一端部和所述第二端部施压。
14.可选的，所述掩膜条包括第一掩膜条，所述第一掩膜条包括多个蒸镀通孔。
15.可选的，所述掩膜条还包括第二掩膜条和第三掩膜条；
16.所述第二掩膜条用于支撑所述第一掩膜条，所述第二掩膜条的延伸方向与所述第一掩膜条的延伸方向交叉，所述第二掩膜条设置于所述第一掩膜条邻近所述掩膜框架的一侧；
17.所述掩膜框架包括第一凹槽，所述第二掩膜条设置于所述第一凹槽内；
18.所述第三掩膜条与所述第一掩膜条的延伸方向相同，所述第三掩膜条设置于所述第一掩膜条邻近所述掩膜框架的一侧，且所述第三掩膜条设置于相邻两个第一掩膜条之
间；
19.所述掩膜框架包括第二凹槽，所述第三掩膜条设置于所述第二凹槽内。
20.可选的，所述设定温度为所述掩膜条的材料熔点的0.6～0.8倍。
21.可选的，所述设定压力为0.5～50mpa。
22.可选的，所述掩膜条和所述掩膜框架的材料包括殷瓦。
23.可选的，所述设定温度为850～1150℃。
24.本发明实施例提供的一种掩膜板的制作方法，通过扩散焊工艺实现掩膜条与掩膜框架的固定连接，从而制成掩膜板，由于扩散焊工艺是通过原子互相扩散实现掩膜条与掩膜框架的固定连接，因此，采用扩散焊工艺后不会产生凸起的焊点。本发明实施例提供的掩膜板的制作方法，可以避免因焊点凸起而造成划伤蒸镀玻璃基板的问题。
附图说明
25.图1为本发明实施例提供的一种掩膜板的制作方法的流程示意图；
26.图2为本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；
27.图3为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图；
28.图4为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图；
29.图5为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图；
30.图6为图5沿剖面线a1a2的剖面结构示意图；
31.图7为本发明实施例提供的一种掩膜框架的结构示意图。
具体实施方式
32.下面结合附图和实施例对本发明实施例作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明实施例，而非对本发明实施例的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明实施例相关的部分而非全部结构。
33.正如背景技术中描述的问题，激光焊接的焊点一般呈圆型坑状，焊点高于焊接平面。在蒸镀过程中，蒸镀玻璃基板与精密金属掩膜板(fine metal mask，fmm)紧密贴合在一起，对位过程中会在贴合状态下有小幅度的磨蹭，假如焊点凸起，凸起处会划伤蒸镀玻璃基板。
34.为了解决上述问题，本发明实施例提供一种掩膜板的制作方法，可以避免因焊点凸起而造成划伤蒸镀玻璃基板的问题。
35.图1为本发明实施例提供的一种掩膜板的制作方法的流程示意图，参考图1，该制作方法包括如下步骤：
36.s110、将掩膜条设置于掩膜框架上。
37.具体的，将掩膜条设置于掩膜框架上，并将掩膜条与掩膜框架对位之后，使掩膜条与掩膜框架无缝接触。
38.s120、采用扩散焊工艺使掩膜条与掩膜框架固定连接。
39.具体的，本实施例中的扩散焊工艺是在一定温度和压力下，使掩膜条与掩膜框架相接触的两个面产生微观塑性变形，达到紧密接触，并持续一定时间，使掩膜条与掩膜框架中的原子相互扩散，最终实现掩膜条与掩膜框架固定连接。掩膜板可以包括多个掩膜条，将
多个掩膜条依次与掩膜框架固定连接后形成掩膜板。
40.本发明实施例提供的一种掩膜板的制作方法，通过扩散焊工艺实现掩膜条与掩膜框架的固定连接，从而制成掩膜板，由于扩散焊工艺是通过原子互相扩散实现掩膜条与掩膜框架的固定连接，因此，采用扩散焊工艺后不会产生凸起的焊点。本发明实施例提供的掩膜板的制作方法，可以避免因焊点凸起而造成划伤蒸镀玻璃基板的问题。
41.可选的，采用扩散焊工艺使掩膜条与掩膜框架固定连接具体包括：采用加热单元对掩膜条和掩膜框架的接触面以设定温度进行加热，同时采用加压单元对掩膜条和掩膜框架施加设定压力，使掩膜条和掩膜框架固定连接。
42.具体的，设定温度可以根据实际需求进行设置，保证以所设置的设定温度进行加热可以避免掩膜条和掩膜框架因接收的温度过高而发生形变，也可以避免掩膜条与掩膜框架因接收的温度不够而不能实现掩膜条与掩膜框架之间的原子互相扩散。另外，加热单元对掩膜条和掩膜框架的接触面进行加热，而不是对整个掩膜条和整个掩膜框架进行加热，可以减小加热单元的输出热源的面积。加压单元可以使掩膜条和掩膜框架在被加热的过程中紧密接触，且不发生移位。设定压力也可以根据实际需求进行设置，以所设置的设定压力进行施压可以使掩膜条与掩膜框架相接触的面发生微观塑性变形，但不会因为压力过大而使掩膜条和掩膜框架发生宏观变形。
43.可选的，采用加热单元对掩膜条和掩膜框架的接触面以设定温度进行加热，并采用加压单元对掩膜条和掩膜框架施加设定压力，包括：将加热单元设置于掩膜条远离掩膜框架的表面对掩膜条和掩膜框架的接触面进行加热，同时将加压单元设置于加热单元远离掩膜条的一侧对加热单元施压。
44.具体的，掩膜条的厚度小于掩膜框架的厚度，将加热单元与掩膜条进行接触，可以实现热量的快速传递，从而缩短扩散焊的时间，另外，也可以减小热量损耗。加压单元对加热单元进行施压，可以使掩膜条和掩膜框架在设定压力和设定温度的作用下，实现掩膜条和掩膜框架之间的原子相互扩散，从而实现掩膜条与掩膜框架的固定连接，另外，加压单元对加热单元进行施压也可以防止加热单元在对掩膜条在加热过程中发生错位。
45.需要说明的是，加热单元包括铁块等金属块，可以对铁块进行持续加热，保持铁块位置在设定温度，将铁块设置于掩膜条远离掩膜框架的表面，然后采用加压单元对铁块施加指向掩膜框架方向的力，实现对掩膜条和掩膜框架的固定连接。
46.可选的，图2为本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图，参考图2，每一掩膜条120包括第一端部10和第二端部20；第一端部10与掩膜框架110的第一边接触，第二端部20与掩膜框架110的第二边接触；采用加热单元130同时对同一掩膜条120的第一端部10和第二端部20进行加热，采用加压单元140同时对同一掩膜条120的第一端部10和第二端部20施压。
47.具体的，若先对掩膜条120的第一端部10进行加热，然后对掩膜条120的第二端部20进行加热，则第一端部10在加热单元130加热过程中有可能出现错位问题，本实施例通过采用加热单元130同时对同一掩膜条120的第一端部10和第二端部20进行加热，加压单元140同时对同一掩膜条1120的第一端部10和第二端部20施压可以使同一掩膜条120的第一端部10与第二端部20同时与掩膜框架110固定连接，从而避免了掩膜条120在扩散焊过程中发生偏移，影响掩膜板的制作精度。
48.加热单元130可以包括第一加热子单元和第二加热子单元，加压单元140可以包括第一加压子单元和第二加压子单元，其中，第一加热子单元与第一加压子单元连接，第二加热子单元与第二加压子单元连接，第一加热子单元与第二加热子单元可以相同，第一加压子单元与第二加压子单元可以相同。在第一加热子单元对第一端部10进行加热的同时第二加热子单元对第二端部20进行加热，在第一加压子单元对第一端部10进行加压的同时第二加压子单元对第二端部20进行加压。
49.可选的，图3为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图，参考图3，掩膜条包括第一掩膜条121，第一掩膜条121包括多个蒸镀通孔30。
50.具体的，蒸镀通孔30用于通过蒸镀材料。
51.可选的，图4为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图，图5为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图，图6为图5沿剖面线a1a2的剖面结构示意图，图7为本发明实施例提供的一种掩膜框架的结构示意图，参考图4～图7，掩膜条还包括第二掩膜条122和第三掩膜条123；第二掩膜条122用于支撑第一掩膜条121，第二掩膜条122的延伸方向与第一掩膜条121的延伸方向交叉，第二掩膜条122设置于第一掩膜条121邻近掩膜框架110的一侧；掩膜框架110包括第一凹槽111，第二掩膜条122设置于第一凹槽111内；第三掩膜条123与第一掩膜条121的延伸方向相同，第三掩膜条123设置于第一掩膜条121邻近掩膜框架110的一侧，且第三掩膜条123设置于相邻两个第一掩膜条121之间；掩膜框架110包括第二凹槽112，第三掩膜条123设置于第二凹槽112内。
52.具体的，由于第一掩膜条121具有较大的长度，第一掩膜条121沿长度方向容易发生形变，为了避免第一掩膜条121的中间部分发生形变，设置第二掩膜条122支撑第一掩膜条121。由于相邻的两个第一掩膜条121之间存在间隙，设置第三掩膜条123位于两个相邻的第一掩膜条121之间，且第三掩膜条123的宽度大于相邻的两个第一掩膜条121之间的间隙的宽度，从而使第三掩膜条123遮挡相邻的两个第一掩膜条121之间的间隙。另外，为了更好的使第一掩膜条121与掩膜框架110进行零缝隙接触，实现第一掩膜条121与掩膜框架110固定连接，设置掩膜框架110包括第一凹槽111和第二凹槽112，将第二掩膜条122和第三掩膜条123分别设置在第一凹槽111和第二凹槽112内。
53.参考图7，掩膜边框110包括第一边和第二边，第一边包括第一子边113和第二子边114，第二边包括第三子边115和第四子边116，第一子边113与第三子边115相对设置，第二子边114和第四子边116相对设置，第一子边113和第三子边115均包括第二凹槽112，第二子边114和第四子边116均包括第一凹槽111，若设置第二掩膜条相对于第三掩膜条更邻近第一掩膜条，则设置第一凹槽111的深度小于第二凹槽112的深度，若设置第三掩膜条相对于第二掩膜条更邻近第一掩膜条，则设置第一凹槽111的深度大于第二凹槽112的深度。为了更好的使第二掩膜条支撑第一掩膜条，可以设置第二掩膜条更邻近第一掩膜条。
54.可选的，设定温度包括掩膜条的材料熔点的0.6～0.8倍。
55.具体的，在扩散焊工艺中，将加热单元的加热温度设置在掩膜条的材料熔点的0.6～0.8倍范围内，一方面可以避免温度过高使制成的掩膜板发生形变，另一方面，可以提高使掩膜条与掩膜框架之间的原子互相扩散的速率，提高扩散焊速率，实现掩膜条与掩膜框架的快速固定连接。
56.可选的，设定压力包括0.5～50mpa。
57.具体的，设定压力包括0.5～50mpa，可以使掩膜条与掩膜框架之间的原子相互扩散，也可以排出掩膜条与掩膜框架之间的空气，另外，设定压力包括0.5～50mpa，不会造成掩膜条和掩膜框架发生宏观上的形变，可以更好的固定掩膜条和掩膜框架。
58.可选的，掩膜条和掩膜框架的材料包括殷瓦。
59.具体的，殷瓦的热膨胀系数较低，在较宽的温度范围内不易发生形变。
60.可选的，设定温度包括850～1150℃。
61.具体的，当掩膜条的材料为殷瓦时，设定温度在850～1150℃范围内，符合扩散焊工艺中的温度。另外，设定温度包括850～1150℃，可以使掩膜条与掩膜框架之间的原子较快的相互扩散，提高扩散焊速率，实现掩膜条与掩膜框架的快速固定连接。
62.注意，上述仅为本发明实施例的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明实施例不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明实施例的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明实施例进行了较为详细的说明，但是本发明实施例不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明实施例构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明实施例的范围由所附的权利要求范围决定。