涂布装置的制作方法

技术特征：
1.一种涂布装置，该涂布装置具备：保持基板的载台单元；和将涂布液涂布至所述载台单元上的基板的涂布单元，使由所述载台单元保持的基板与所述涂布单元相对移动，同时从所述涂布单元排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，该涂布装置的特征在于，所述载台单元具有使基板浮起到规定高度位置的浮起载台部、和吸附保持基板的吸附保持部，其形成为在利用所述吸附保持部保持浮起在所述浮起载台部上的基板的状态下，所述浮起载台部和所述吸附保持部相对于所述涂布单元移动到搬入搬出基板的基板更换位置和在基板上涂布涂布液的涂布位置，所述吸附保持部具备在与所述浮起载台部的移动方向正交的方向位置处吸附保持基板的第1吸附保持部、和在所述浮起载台部的移动方向位置处吸附保持基板的第2吸附保持部。2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，在具有长边部和短边部的矩形状的基板被供给至所述浮起载台部上时，按照所述基板的长边部和与所述浮起载台部的移动方向正交的方向一致的方式进行供给的情况下，基板由所述第1吸附保持部所保持，按照所述基板的长边部与所述浮起载台部的移动方向一致的方式进行供给的情况下，基板由所述第2吸附保持部所保持。3.如权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，在所述浮起载台部，利用空气使基板浮起到规定高度位置。4.如权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，在所述浮起载台部，利用支撑销使基板浮起到规定高度位置。5.一种涂布装置，该涂布装置具备：保持基板的载台单元；和将涂布液涂布至所述载台单元上的基板的涂布单元，使由所述载台单元保持的基板与所述涂布单元相对移动，同时从所述涂布单元排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，该涂布装置的特征在于，所述载台单元具有使基板浮起到规定高度位置的浮起载台部、和吸附保持基板的吸附保持部，其形成为在利用所述吸附保持部保持浮起在所述浮起载台部上的基板的状态下，所述浮起载台部和所述吸附保持部相对于所述涂布单元移动到搬入搬出基板的基板更换位置和在基板上涂布涂布液的涂布位置，所述浮起载台部和所述吸附保持部形成为能够以所述浮起载台部的中心作为旋转中心而旋转，通过所述浮起载台部和所述吸附保持部旋转，由所述吸附保持部保持的基板的朝向变更90
°
。6.如权利要求1～5中任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布单元为喷墨涂布方式。

技术总结
[课题]提供一种涂布装置，其能够通过1次扫描形成涂布膜，能够抑制在涂布膜形成接缝不均。[解决手段]一种涂布装置，其使由载台单元保持的基板与涂布单元相对移动，同时从涂布单元排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，其中，载台单元具有使基板浮起到规定高度位置的浮起载台部、和吸附保持基板的吸附保持部，其形成为在利用吸附保持部保持浮起在浮起载台部上的基板的状态下，移动到搬入搬出基板的基板更换位置和在基板上涂布涂布液的涂布位置，吸附保持部为下述构成，其具备在与浮起载台部的移动方向正交的方向位置处吸附保持基板的第1吸附保持部、和在浮起载台部的移动方向位置处吸附保持基板的第2吸附保持部。吸附保持基板的第2吸附保持部。吸附保持基板的第2吸附保持部。


技术研发人员：福岛雄悟 釜谷学
受保护的技术使用者：东丽工程株式会社
技术研发日：2021.07.29
技术公布日：2022/2/18