衬底处理装置的制作方法

技术特征：
1.一种衬底处理装置，具备：衬底处理单元，对衬底进行处理；循环流路，配置有对被供给到所述衬底处理单元中的处理液进行加热的加热器，且供所述处理液进行循环；吐出流路，从所述循环流路分支，且使所述处理液流向所述衬底处理单元；及阀，配置在所述吐出流路中；且所述循环流路的一部分沿着所述吐出流路的一部分配置。2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述循环流路的一部分平行于所述吐出流路的一部分而延伸。3.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述循环流路的一部分与所述吐出流路的一部分接触。4.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中进一步具备隔热材料，该隔热材料覆盖所述循环流路的一部分与所述吐出流路的一部分。5.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述阀包含马达针阀。6.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中进而包含流量计，该流量计配置在所述吐出流路中。7.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述阀包含三向阀。8.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中进一步具备收容部，该收容部收容所述循环流路的一部分、所述吐出流路的一部分、及所述阀。9.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中所述收容部具有：箱，上方开口；及盖，覆盖所述箱的上方。10.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理单元包含：腔室，用于对所述衬底进行处理；衬底保持部，配置在所述腔室内；杯体，配置在所述腔室内；驱动室，配置有驱动所述衬底保持部及所述杯体的驱动部；及框架，位于所述腔室与所述驱动室之间；且所述收容部配置在所述框架的侧方。11.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述循环流路具有：主流路；及迂回流路，从所述主流路分支，与所述吐出流路连接；且所述迂回流路的一部分沿着所述吐出流路的一部分配置。

技术总结
本发明提供一种衬底处理装置。衬底处理装置(10)具备：衬底处理单元(100)，对衬底(W)进行处理；循环流路(330)，配置有对被供给到衬底处理单元(100)中的处理液进行加热的加热器(313)，且供处理液进行循环；吐出流路(132)，从循环流路(330)分支，使处理液流向衬底处理单元(100)；及阀(136)，配置在吐出流路(132)中。循环流路(330)的一部分沿着吐出流路(132)的一部分配置。一部分配置。一部分配置。


技术研发人员：井上正史
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.06.23
技术公布日：2022/2/18