水触媒过滤装置的制作方法

1.本技术是关于一种水触媒过滤装置，尤其是指一种模块化设计的水触媒过滤装置。


背景技术：

2.随着半导体组件尺寸的缩小，气态分子污染物(amc)的管制及监控方式也逐渐受到重视。为了避免电子产品的电性受到影响，半导体及晶圆制造的过程均置于严格管控的环境，亦即无尘室(cleanroom)内。现有技术的无尘室空气质量控制，主要着重在微粒、气流及温湿度；然而近年来半导体业界已开始重新思考所谓无尘室的定义。随着半导体体积的缩小，静电破坏及气态分子污染物的影响日益明显，用于清除气态分子污染物的装置也逐渐进入市场。
3.其中，以使用淋水材料或使用化学滤网的装置为常见的清除气态分子污染物的设备，淋水材料使用于恒温恒湿微污染处理装置上，通过洒水装置淋水去除空气中微量的气态分子污染物，由于化学滤网属于一次性消耗材料，其成本高昂，因此近年来处理水溶性的化学物质时，产业界逐渐转向水洗的方式进行过滤；于实务经验中，水洗装置需针对风量与去除效率，规划不同数量的填充材与淋水水量。
4.虽然水洗淋水材料为可长时间使用的材料，但依环境浓度或水洗状况不同，仍有建议更换年限，而现有技术水洗装置的淋水材料需更换时，通常需将装置整体拆除，方能更换淋水材料，其需拆卸的零件量过多，不但旷日废时，甚至导致装置的损坏；因此，产业界需要一种能模块化的水洗装置。
5.有鉴于上述现有技术的问题，本技术提供一种水触媒过滤装置，其是利用上壳体以及下壳体连通设置，并于上壳体内侧设置除水装置以及洒水装置，于下壳体内侧设置淋水材料，利用此装置以上下壳体的模块化的设计，对应不同的需求，同时方便淋水材料、除水装置等零件的更换作业，进一步减少装置维护的成本。


技术实现要素：

6.本技术所要解决的技术问题在于提供一种水触媒过滤装置，其是上壳体以及下壳体连通设置，并于上壳体内侧设置除水装置以及洒水装置，于下壳体内侧设置淋水材料，利用此装置以上下壳体的模块化的设计，对应不同的需求，同时方便淋水材料等零件的更换作业，进一步减少装置维护的成本。
7.为达到上述所指称的各目的与功效，本技术提供一种水触媒过滤装置，其包含：一上壳体以及一下壳体，该上壳体的一上方设置一出风口，该上壳体的一内侧设置一除水装置以及一洒水装置，该洒水装置间隔设置于该除水装置的一下方，该洒水装置的一下方设置多个喷头，该下壳体设置于该上壳体的一下方，并连通该上壳体，该下壳体的一下方设置一入风口，该下壳体的一内侧设置一淋水组件，该淋水组件包含多个淋水材，每个淋水材包含多个板件，该些个淋水材互相交叠设置，且该些个淋水材的板件互相对应交叉设置；利用
此结构模块化的设计水触媒过滤装置，方便零件的更换作业，进一步减少装置维护的成本。
8.本技术的一实施例中，更包含一除水装置，其中该除水装置是一挡水帘或一除湿器。
9.本技术的一实施例中，更包含一网状件，其中该淋水组件的一上方设置一表面积，该些个喷头各别的一喷洒面积大于该表面积的十分之一。
10.本技术的一实施例中，其中该些个喷头各别的一喷角为θ，该些个喷头各别的一喷洒幅度为l，该淋水组件与该些个喷头之间的一距离为h，并满足
11.本技术的一实施例中，其中该下壳体的一对角宽度小于两倍的该喷洒幅度。
12.本技术的一实施例中，其中该流体流至该淋水组件，一气体由该入风口进入，并经过该淋水组件后，再依序经过该洒水装置以及该除水装置，最后该气体由该出风口流出。
13.本技术的一实施例中，其中该些个板件各别之间形成多个通道，该流体以及该气体经过该些个通道。
14.本技术的一实施例中，其中该些个板件是呈波浪状结构。
15.有关本技术的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
17.图1是本技术的一实施例的结构及流体作动示意图；
18.图2是本技术的一实施例的另一流体作动示意图；
19.图3是本技术的一实施例的结构放大示意图；
20.图4是本技术的一实施例的俯视剖面图；以及
21.图5是本技术的一实施例的淋水组件结构示意图。
22.符号说明
23.1 水触媒过滤装置
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10 上壳体
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11 出风口
24.12 除水装置
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14 洒水装置
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142 喷头
25.144 喷洒面积
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20 下壳体
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21 入风口
26.22 淋水组件
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221 表面积
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222 淋水材料
27.224 板件
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226 通道
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a1 流体
28.a2 气体
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h 距离
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l 喷洒幅度
29.w 对角宽度
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θ 喷角
具体实施方式
30.在下文的实施方式中所述的位置关系，包括：上，下，左和右，若无特别指明，皆是以图式中组件绘示的方向为基准。
31.有鉴于上述现有技术的问题，本技术是于一上壳体的一内侧设置一除水装置以及
一洒水装置，该洒水装置间隔设置于该除水装置的一下方，且该洒水装置的一下方设置多个喷头，用于喷洒流体，该下壳体连通设置于该上壳体的一下方，该下壳体的一内侧设置一淋水组件，以淋水组件接收该洒水装置喷出的流体，并使其接触经过的空气；利用此装置方便更换该淋水组件，进一步减少水触媒过滤装置的维护成本。
32.请参阅图1，其为本技术的一实施例的结构及流体作动示意图，如图所示，本实施例是一种水触媒过滤装置1，其包含一上壳体10以及一下壳体20；于本实施例中，该上壳体的一上方设置一出风口11，该下壳体20设置于该上壳体10的一下方，并连通该上壳体10，且该下壳体20的一下方设置一入风口 21，使流体可于流经该上壳体10以及该下壳体20的内侧。
33.再次参阅图1，如图所示，于本实施例中，该上壳体10的一内侧设置一除水装置12以及一洒水装置14，该洒水装置14设置于该除水装置12的一下方，该洒水装置14的一下方设置多个喷头142以喷洒一流体a1，该下壳体 20的一内侧设置一淋水组件22，该淋水组件22接收该些个喷头142喷洒的该流体a1。
34.再次参阅图1以及参阅图2，图2为本技术的一实施例的另一流体作动示意图，如图所示，于本实施例中，该洒水装置14的该些个喷头142喷洒该流体a1至该淋水组件22，该流体a1经过该淋水组件22，同时一气体a2由该入风口21进入，且该气体a2经过该淋水组件22后，该气体a2再依序经过该洒水装置14以及该除水装置12，最后该气体a2由该出风口11流出。
35.接续上述，于本实施例中，该除水装置12是一挡水帘或一除湿器，但本实施例不在此限制，当该些个喷头142产生的水雾随该气体a2往上流动时，由该除水装置12将该流体a1去除，避免该流体a1影响到后段管路。
36.请参阅图3以及图4，图3为本技术的一实施例的结构放大示意图，图4 为本技术的一实施例的俯视剖面图，如图所示，于本实施例中，该淋水组件 22的一上方有一表面积221，该些个喷头142于喷洒该流体a1时，会形成水雾，该水雾的底部具有一喷洒面积144，该些个喷头142各别的该喷洒面积144 大于该淋水组件22的该表面积221的十分之一，即是该淋水组件22的该表面积221小于十倍的该喷洒面积144，避免该些个喷头142的水雾无法覆盖该淋水组件22，影响过滤的效率。
37.接续上述，于本实施例中，其中该些个喷头142各别于喷洒该流体a1的一喷角为θ，该些个喷头142各别的一喷洒幅度为l，该淋水组件22与该些个喷头142之间的一距离为h，并满足式(一)；
38.式(一)：
39.其中，该喷洒幅度l是该喷洒面积144的直径；当已知该些个喷头142 的该喷角θ以及该喷洒幅度l时，即可算得该淋水组件22与该些个喷头142 之间的该距离为h，并以该距离h设置该淋水组件22。
40.接续上述，于本实施例中，该下壳体20的内侧具有一对角宽度w，该对角宽度w是该下壳体20内侧最宽的距离，因此本实施例中，该对角宽度w 需小于两倍的该喷洒幅度l，避免该些个喷头142的水雾无法完整覆盖该下壳体20的内侧，影响过滤的效率。
41.请参阅图5，其为本技术的一实施例的淋水组件结构示意图，如图所示，于本实施
例中，该淋水组件22包含多个淋水材222，该些个淋水材222包含多个板件224，该些个淋水材222互相交叠设置，且该些个淋水材222各别的该些个板件224互相对应交叉设置，不相同方向的该些个板件224排列组合，可增加流体的交换效率，提升过滤效率。
42.接续上述，于本实施例中，其中该些个板件224是呈波浪状结构，该波浪状结构，可进一步增加该些个板件224与该流体a1的接触面积，并使该流体 a1附着于该些个板件224的波浪状结构上，提升该流体a1与该气体a2的混合效率。
43.接续上述，于本实施例中，该些个淋水材222是一淋水填料，该些个板件 224各别之间形成多个通道226，该流体a1以及该气体a2经过该些个通道 226，并进行混合，该些个淋水材222用于接收并将该洒水装置14喷洒的流体 (例如水)，经多次溅散呈微细小水滴或水膜，增大该流体的接触面积，延长流体与气体的接触时间，确保通过的气体能与该流体有效交换。
44.本实施例的一种水触媒过滤装置1其是利用可互相拆卸的该上壳体10以及该下壳体20，将该水触媒过滤装置1模块化，如需更换该淋水组件22时，仅需拆除该下壳体20，并进行更换，相对的如需更换该除水装置12时，仅需对应拆除该上壳体10，其大幅减少维护所需的时间与人力。
45.综上所述，本技术提供一种水触媒过滤装置，其是利用上壳体以及下壳体模块化设计，于上壳体内侧设置除水装置以及洒水装置，于下壳体内侧设置淋水材料，需更换淋水材料时对应拆除下壳体，需更换除水装置、洒水装置时，拆除上壳体，以对应零件的更换方式，进一步减少装置维护的成本，解决现有技术水洗装置的淋水材料需更换时，通常需将装置整体拆除，方能更换淋水材料，其需拆卸的零件量过多，其旷日废时，且容易导致装置的损坏的问题。
46.以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本技术技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本技术技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本技术内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例，但仍应视为与本技术实质相同的技术或实施例。