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一种蚀刻喷淋均压装置的制作方法

2022-02-22 13:36:55 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,包括:均压体(1),所述均压体(1)上设有第一均压腔(11)、第二均压腔(12)、第三均压腔(13)、至少一个连通第一均压腔(11)内部与外部的进液口(14)、多个与第一均压腔(11)和第二均压腔(12)连通的第一出液口(15)、多个与第二均压腔(12)和第三均压腔(13)连通的第二出液口(16)、多个连通第三均压腔(13)内部与外部的第三出液口(17),所述进液口(14)与所述第一出液口(15)错开设置,多个第二出液口(16)与多个第一出液口(15)对应错开设置,多个第三出液口(17)与多个第二出液口(16)对应错开设置,所述第三出液口(17)均连接有喷咀(4)。2.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,所述第一出液口(15)与所述第三出液口(17)数量相等、尺寸相同,且尺寸均小于所述第二出液口(16)的尺寸。3.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,多个所述第一出液口(15)设置成一排,且相邻第一出液口(15)之间等距设置,所述第三出液口(17)与所述第一出液口(15)上下一一对应设置;所述第二出液口(16)设置成一排,且第二出液口(16)一一对应位于相邻的两个第一出液口(15)之间中部的下方。4.根据权利要求1至3中任一项所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,所述均压体(1)上设有一个所述进液口(14),该进液口(14)位于均压体(1)的中部并连接有进液管(3)。5.根据权利要求1至3中任一项所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,所述均压体(1)上设有两个所述进液口(14),该两个进液口(14)中左端的进液口(14)距均压体(1)左端端部的距离与右端的进液口(14)距均压体(1)右端端部的距离相等,且左端的进液口(14)距均压体(1)左端端部的距离与右端的进液口(14)距均压体(1)右端端部的距离之和大于两个进液口(14)之间的距离。6.根据权利要求1至3中任一项所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,所述均压体(1)上设有两个所述进液口(14),两个进液口(14)对应设于均压体(1)长度方向上的两个三等点位置。7.根据权利要求6所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,所述第一均压腔(11)中部设有与均压体(1)内侧壁连接的隔板(8)。8.根据权利要求5所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,两个所述进液口(14)中的一个连接有t型管接头(5),另一个连接有直角管接头(6),所述t型管接头(5)和直角管接头(6)连接在同一进液管(3)上。9.根据权利要求6所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,两个所述进液口(14)均连接有直角管接头(6),两个直角管接头(6)对应与进液分管(7)两端连接,所述进液分管(7)中部通过t型管接头(5)连接有进液管(3)。10.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋均压装置,其特征在于,所述均压体(1)主要由第一均压体(21)、连接在第一均压体(21)下端的第二均压体(22)和连接在第二均压体(22)下端的第三均压体(23)构成,或者由3d打印一体成型。

技术总结
本实用新型公开了一种蚀刻喷淋均压装置,包括:均压体,均压体上设有第一均压腔、第二均压腔、第三均压腔、至少一个连通第一均压腔内部与外部的进液口、多个与第一均压腔和第二均压腔连通的第一出液口、多个与第二均压腔和第三均压腔连通的第二出液口、多个连通第三均压腔内部与外部的第三出液口,进液口与第一出液口错开设置,多个第二出液口与多个第一出液口对应错开设置,多个第三出液口与多个第二出液口对应错开设置,第三出液口均连接有喷咀,采用上述技术方案,通过多次分流及均压可以充分保证每个喷咀的喷压一致,喷液量一致,作用在产品上的力度在同面积上一致,进而保证产品蚀刻表面的均匀性及蚀刻质量。刻表面的均匀性及蚀刻质量。刻表面的均匀性及蚀刻质量。


技术研发人员:尹德国
受保护的技术使用者:深圳市宇通瑞特科技有限公司
技术研发日:2021.08.31
技术公布日:2022/2/7
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