一种低漏电悬臂式探针卡的制作方法

1.本实用新型涉及探针卡技术领域，特别涉及一种低漏电悬臂式探针卡。


背景技术：

2.探针卡（probe card）是用于在lsi（大规模集成电路）制造过程中晶片测试过程期间对晶片上的lsi（大规模集成电路）芯片进行电测试的夹具。探针卡对接在晶片探针器上，以用作lsi芯片电极与lsi测试仪（作为测量机）之间的连接器。探针卡的针与lsi芯片电极接触，以进行电气测试，以进行通过/不通过测试。晶圆测试过程非常重要，并且高度依赖探针卡的可靠性。
3.漏电值是探针卡诸多性能参数中的重要参数之一，针对wat测试探针卡，对于探针卡的低漏电标准要求比较高，漏电值低至10~15 a。然而，目前现有的悬臂探针卡的测试探针大多采用整体式环氧树脂进行固定在安装板上，环氧树脂可能掺杂其他的杂质，导致其绝缘性降低，从而导致探针卡在使用过程中探针与探针之间以及探针与安装板之间容易产生漏电，影响探针卡的测试性能，需要进一步地改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的是提出一种低漏电悬臂式探针卡，旨在解决现有的探针卡在使用过程中探针与探针之间以及探针与安装板之间容易产生漏电，影响探针卡的测试性能的技术问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提出的低漏电悬臂式探针卡，包括陶瓷pcb板、固定座、加强板、陶瓷环、测试探针以及环氧树脂固定板，所述陶瓷pcb板的上端部的中间凹设有一通槽，所述固定座可拆的设置于所述通槽的上方，且所述固定座与所述陶瓷pcb板的上端壁可拆卸固定连接，所述加强板可拆卸的设置于所述固定座的下端壁上，所述陶瓷环的上端壁通过环氧粘合剂粘接固定于所述加强板的下端壁上，所述环氧树脂固定板分别沿圆周方向间隔的设置于所述陶瓷环的下端壁上，所述测试探针分别穿设于所述环氧树脂固定板设置，所述测试探针的前端部均呈向下折弯结构设置，所述陶瓷pcb板的上端壁沿圆周方向设有多个焊盘，所述测试探针的后端部分别与所述焊盘焊接固定连接。
6.进一步地，还包括第一紧固螺钉，所述通槽的周围凹设有多个第一通孔，所述固定座的上端壁凹设有多个与所述第一通孔一一对应的第一螺纹孔，所述第一紧固螺钉分别穿设于所述第一通孔，并旋于所述第一螺纹孔内设置。
7.进一步地，还包括第二紧固螺钉，所述固定座的上端壁的两侧分别凹设有一第二通孔，所述加强板的两侧分别凹设有一第二螺纹孔，所述第二紧固螺钉分别穿设于所述第二通孔，并旋于所述第二螺纹孔内设置。
8.进一步地，所述固定座和加强板的上端壁分别凹设有一观察槽。
9.进一步地，还包括把手，所述把手均呈u型结构设置，所述把手分别设置于所述陶瓷pcb板的上端壁的两侧，且所述把手的两端均分别与所述陶瓷pcb板的上端壁可拆卸固定
连接。
10.进一步地，还包括第三紧固螺钉，所述陶瓷pcb板的上端壁的两侧分别凹设有多个第三通孔，所述把手的两端均分别凹设有一第三螺纹孔，所述第三紧固螺钉分别穿设于所述第三通孔，并旋于所述第三螺纹孔内设置。
11.进一步地，所述固定座和加强板均采用不锈钢材质形成。
12.进一步地，所述陶瓷pcb板的上端壁沿圆周方向设有多个条形焊接盘。
13.采用本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：本实用新型的技术方案，通过陶瓷pcb板的上端部的中间凹设有一通槽，固定座可拆的设置于通槽的上方，且固定座与陶瓷pcb板的上端壁可拆卸固定连接，加强板可拆卸的设置于固定座的下端壁上，陶瓷环的上端壁通过环氧粘合剂粘接固定于加强板的下端壁上，环氧树脂固定板分别沿圆周方向间隔的设置于陶瓷环的下端壁上，测试探针分别穿设于环氧树脂固定板设置，测试探针的前端部均呈向下折弯结构设置，陶瓷pcb板的上端壁沿圆周方向设有多个焊盘，测试探针的后端部分别与焊盘焊接固定连接，每一根悬臂式探针通过采用独立的环氧树脂固定板固定在陶瓷环上，探针与探针之间的环氧树脂固定板不相连，从而有效避免探针与探针之间产生漏电，陶瓷环具有良好的绝缘性能，从而避免探针与安装板之间产生漏电，有效降低了探针卡的漏电值,从而达到有效防止探针卡在测试时的电流泄漏的目的，提升了探针卡的性能可靠性，且结构简单，制作成本低廉，使用方便，实用性强。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
15.图1为本实用新型提出的一种低漏电悬臂式探针卡的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型提出的一种低漏电悬臂式探针卡的另一视角的整体结构示意图；
17.图3为图2中a处的放大图；
18.图4为本实用新型提出的一种低漏电悬臂式探针卡的部分结构示意图；
19.图5为本实用新型提出的一种低漏电悬臂式探针卡的部分分解结构示意图。
20.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后
……
）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
23.另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
24.本实用新型提出一种低漏电悬臂式探针卡。
25.如图1至图5所示，在本实用新型的一实施例中，该低漏电悬臂式探针卡，包括陶瓷pcb板101、固定座102、加强板103、陶瓷环104、测试探针105以及环氧树脂固定板106，所述陶瓷pcb板101的上端部的中间凹设有一通槽1011，所述固定座102可拆的设置于所述通槽1011的上方，且所述固定座102与所述陶瓷pcb板101的上端壁可拆卸固定连接，所述加强板103可拆卸的设置于所述固定座102的下端壁上，所述陶瓷环104的上端壁通过环氧粘合剂粘接固定于所述加强板103的下端壁上，所述环氧树脂固定板106分别沿圆周方向间隔的设置于所述陶瓷环104的下端壁上，所述测试探针106分别穿设于所述环氧树脂固定板106设置，所述测试探针105的前端部均呈向下折弯结构设置，所述陶瓷pcb板101的上端壁沿圆周方向设有多个焊盘107，所述测试探针106的后端部分别与所述焊盘107焊接固定连接。
26.具体地，还包括第一紧固螺钉108，所述通槽1011的周围凹设有多个第一通孔1012，所述固定座102的上端壁凹设有多个与所述第一通孔1012一一对应的第一螺纹孔1021，所述第一紧固螺钉108分别穿设于所述第一通孔1012，并旋于所述第一螺纹孔1021内设置。
27.具体地，还包括第二紧固螺钉109，所述固定座102的上端壁的两侧分别凹设有一第二通孔1022，所述加强板103的两侧分别凹设有一第二螺纹孔1031，所述第二紧固螺钉109分别穿设于所述第二通孔1022，并旋于所述第二螺纹孔1031内设置。
28.具体地，所述固定座102和加强板103的上端壁分别凹设有一观察槽110。
29.具体地，还包括把手111，所述把手111呈u型结构设置，所述把手111分别设置于所述陶瓷pcb板101的上端壁的两侧，且所述把手111的两端均分别与所述陶瓷pcb板101的上端壁可拆卸固定连接。
30.具体地，还包括第三紧固螺钉112，所述陶瓷pcb板101的上端壁的两侧分别凹设有多个第三通孔（未图示），所述把手111的两端均分别凹设有一第三螺纹孔（未图示），所述第三紧固螺钉112分别穿设于所述第三通孔，并旋于所述第三螺纹孔内设置。
31.具体地，所述固定座102和加强板103均采用不锈钢材质形成。
32.具体地，所述陶瓷pcb板101的上端壁沿圆周方向设有多个条形焊接盘113。
33.具体地，本实用新型通过陶瓷pcb板的上端部的中间凹设有一通槽，固定座可拆的设置于通槽的上方，且固定座与陶瓷pcb板的上端壁可拆卸固定连接，加强板可拆卸的设置于固定座的下端壁上，陶瓷环的上端壁通过环氧粘合剂粘接固定于加强板的下端壁上，环氧树脂固定板分别沿圆周方向间隔的设置于陶瓷环的下端壁上，测试探针分别穿设于环氧树脂固定板设置，测试探针的前端部均呈向下折弯结构设置，陶瓷pcb板的上端壁沿圆周方向设有多个焊盘，测试探针的后端部分别与焊盘焊接固定连接，每一根悬臂式探针通过采用独立的环氧树脂固定板固定在陶瓷环上，探针与探针之间的环氧树脂固定板不相连，从而有效避免探针与探针之间产生漏电，陶瓷环具有良好的绝缘性能，从而避免探针与安装板之间产生漏电，有效降低了探针卡的漏电值,从而达到有效防止探针卡在测试时的电流泄漏的目的，提升了探针卡的性能可靠性，且结构简单，制作成本低廉，使用方便，实用性
强。
34.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。