光调制器及使用了该光调制器的光发送装置的制作方法

1.本发明涉及具备对信号输入端子与光调制元件的信号电极之间的电信号的传播进行中继的中继基板的光调制器及使用了该光调制器的光发送装置。


背景技术：

2.在高速/大容量光纤通信系统中，多使用装入有波导型的光调制元件的光调制器。其中，将具有电光效应的linbo3(以下，也称为ln)使用于基板的光调制元件能实现光的损失少且宽带的光调制特性，因此广泛地使用于高速/大容量光纤通信系统。
3.在该使用了ln基板的光调制元件中，设有马赫-曾德型光波导和用于向该光波导施加作为调制信号的高频电信号的信号电极。并且，设置于光调制元件的这些信号电极经由在收容该光调制元件的光调制器的壳体内设置的中继基板，与设置于该壳体的作为信号输入端子的管脚、连接器连接。由此，在搭载有用于使光调制器进行调制动作的电子电路的电路基板连接上述作为信号输入端子的管脚、连接器，由此将从该电子电路输出的电信号经由上述中继基板向上述光调制元件的信号电极施加。
4.光纤通信系统中的调制方式受到近年来的传送容量的增大化的潮流的影响，qpsk(quadrature phase shift keying)、dp-qpsk(dual polarization-quadrature phase shift keying)等多级调制、向多级调制取入了偏振合成的传送制式成为主流，除了在基干光传送网络中使用之外，也正被向城域网导入。
5.进行qpsk调制的光调制器(qpsk光调制器)、进行dp-qpsk调制的光调制器(dp-qpsk光调制器)具备称为所谓嵌套型的成为套匣结构的多个马赫-曾德型光波导，其分别具备至少一个信号电极。因此，这些光调制器成为具备多个信号电极的结构，向这些信号电极赋予的高频电信号协作地进行上述dp-qpsk调制动作。
6.图15是表示具备这样的中继基板的以往的光调制器的结构的一例的俯视图。光调制器2200具备形成在例如ln基板上的作为dp-qpsk调制器的光调制元件2202、收容该光调制元件2202的壳体2204。在此，壳体2204由外壳2214a和罩2214b构成。光调制器2200还具有固定于外壳2214a而进行光向上述光调制元件2202的输入输出的输入光纤2208及输出光纤2210。
7.在壳体2204的外壳2214a还设有用于从外部的电子电路输入对光调制元件2202进行驱动的高频电信号的四个信号输入端子2224a、2224b、2224c、2224d(以下，也总称为信号输入端子2224)。具体而言，信号输入端子2224是例如高频同轴连接器即电连接器2216a、2216b、2216c、2216d(以下，也总称为电连接器2216)的中心电极。从信号输入端子2224分别输入的高频电信号经由收容在壳体2204内的中继基板2218向设置于光调制元件2202的四个信号电极2212a、2212b、2212c、2212d(以下，也总称为信号电极2212)的一端分别输入，通过在信号电极2212的另一端设置的具有规定的阻抗的终端器2220形成终端。
8.光调制元件2202从两个输出光波导2226a、2226b输出两束调制光，该输出的两束光通过由偏振波合成棱镜等构成的偏振波合成部2228合波成一个射束。该合波后的光经由
输出光纤2210向壳体2204的外部输出。
9.在这样的向多个信号电极2212分别赋予的高频电信号协作地进行调制的光调制器2200中，优选将全部的高频电信号不受噪音等的影响地向光调制元件2202的信号电极2212输入。另一方面，对光调制器2200的小型化的要求不变，伴随着光调制器2200的壳体2204的小型化而中继基板2218的小型化不断进展。其结果是，在狭窄的中继基板2218中，多个不同的高频信号接近集中传播，形成在中继基板2218上的高频信号线路间的电气性的串扰越来越无法忽视。
10.另外，商用的dp-qpsk调制器虽然当前多以100gb/s的传送率使用，但是将该传送率向400gb/s扩大用的开发也在进展。通常，高频信号的传送时的放射存在传送率越高则越增加的倾向，因此今后，如果传送率扩大，则在上述中继基板产生的高频信号线路间的串扰的问题会成为更深刻的课题。
11.作为抑制上述串扰的方法，虽然可考虑扩大相邻的高频信号线路间的距离，但是该方法违反上述那样的对光调制器的小型化的要求，难以采用。因此，可采用例如在设置于高频信号线路间的接地电极设置导通孔而连接于中继基板背面的接地层，由此对该接地电极进行强化而提高上述高频信号线路间的屏蔽效果的方法等。
12.然而，例如在400gb/s或超过400gb/s的高传送率的dp-qpsk调制器中，仅是上述那样的导通孔的话，有时无法将相邻的高频信号线路间的串扰充分地抑制完全。
13.在上述那样的400gb/s或超过400gb/s的高传送率下，在从被输入高频信号的信号输入端子与中继基板的导体图案的连接点及其附近产生的泄漏微波之中，除了在中继基板2218中传播的泄漏微波(基板泄漏微波)之外，从中继基板2218放射而在空间内传播的泄漏微波(空间泄漏微波)也会成为上述串扰的主要原因。
14.图16是用于说明这样的泄漏微波的产生及传播的说明图。在此，图16示出图15所示的光调制器2200中的中继基板2218及其周边。在光调制元件2202以信号电极2212分别构成共面线路(cpw，coplanar waveguide)的方式设置接地电极2222a、2222b、2222c、2222d、2222e。
15.另外，在中继基板2218上形成有将四个信号输入端子2224与光调制元件2202的四个信号电极2212分别连接的信号导体图案2230a、2230b、2230c、2230d(以下，总称为信号导体图案2230)。这些信号导体图案2230在中继基板2218上，与在基板面方向上夹着该信号导体图案2230地配置的接地导体图案2240a、2240b、2240c、2240d、2240e一起构成高频信号线路。
16.在图16所示的中继基板2218中，由信号导体图案2230和接地导体图案2240构成的高频信号线路通常是共面线路，在该线路中传播的高频信号的传播模式是共面模式(以下，称为cpw模式)。相对于此，信号输入端子2224通常如上所述由例如同轴连接器、管脚等构成，向中继基板2218输入为止的高频信号的传播模式为同轴模式。
17.因此，在将四个信号输入端子2224与中继基板2218的四个信号导体图案2230分别连接的四个信号连接部分中，从同轴模式向cpw模式进行模式转换(即，异种模式转换)。其结果是，在信号连接部分中，以同轴模式传播来的高频信号的能量的一部分容易被向放射模式转换，成为泄漏微波容易产生的状态。
18.即，上述信号连接部分分别作为近似的单纯模型，作为泄漏微波的点波源发挥功
能，泄漏微波成为球面波2290而从各信号连接部分放出，成为例如在中继基板2218的内部传播的基板泄漏微波、及从中继基板2218放射而在空间内传播的空间泄漏微波。
19.并且，在通过四个信号输入端子2224输入的四个高频电信号之间，经由这样的基板泄漏微波及空间泄漏微波而会产生串扰。这样的泄漏微波引起的串扰在彼此相邻的信号导体图案之间特别容易产生。
20.即，在以往的光调制器中，要求减去经由上述泄漏微波的高频电信号间的串扰，实现良好的调制特性。
21.以往，为了抑制中继基板中的高频的反射、放射、及/或泄漏，进行将中继基板的导体图案与上述管脚的连接部处的阻抗和导体图案及管脚分别构成的高频传送路的阻抗更高精度地匹配的情况等(例如，参照专利文献1)。
22.然而，上述现有技术虽然在100gb/s的传送率下有效，但是没有给出关于例如以400gb/s以上的传送率下的经由上述泄漏微波的相邻的信号导体图案间的串扰为起因的调制特性恶化的抑制的有效的解决方案。
23.在先技术文献
24.专利文献
25.专利文献1：日本特开2018-106091号公报


技术实现要素：

26.发明要解决的课题
27.从上述背景出发，在具备将光调制元件的信号电极与信号输入端子分别电连接的中继基板的光调制器中，要求有效地抑制从中继基板与信号输入端子之间的信号连接部分会产生的泄漏微波的影响而实现良好的光调制特性。
28.用于解决课题的方案
29.本发明的一个方案涉及一种光调制器，具备：光调制元件，具备多个信号电极；多个信号输入端子，输入向每个所述信号电极施加的电信号；中继基板，形成有多个信号导体图案及多个接地导体图案，所述信号导体图案将所述信号输入端子与所述信号电极电连接；及壳体，收容所述光调制元件及所述中继基板，其中，关于至少一个所述信号导体图案，在包含该信号导体图案与所述信号输入端子相连接的信号连接部分在内的俯视图为矩形的连接部范围中，在所述中继基板上夹着该信号导体图案的两个所述接地导体图案的俯视图形状形成为关于所述至少一个所述信号导体图案相互不对称，所述连接部范围被定义为以信号输入边的一部分为宽度方向的一条边并在所述中继基板的面内延伸的矩形，所述信号输入边是所述中继基板的边中的所述至少一个信号导体图案与所述信号输入端子连接的一侧的边，所述连接部范围以所述至少一个信号导体图案为宽度方向的中心，所述连接部范围的宽度等于从所述至少一个信号导体图案至最近的相邻的所述信号导体图案为止的距离，所述连接部范围的高度等于从所述信号输入边至所述信号连接部分中的距该信号输入边最远的端部为止的距离。
30.根据本发明的另一方案，所述两个所述接地导体图案形成为，从该两个所述接地导体图案各自的边缘至所述至少一个所述信号导体图案的相对的边缘为止的距离在所述连接部范围内具有彼此不同的部分。
31.根据本发明的另一方案，所述两个所述接地导体图案的形成于所述连接部范围内的部分的在与所述至少一个所述信号导体图案的延伸方向正交的方向上测得的宽度彼此不同。
32.根据本发明的另一方案，所述两个所述接地导体图案中的一方不包含形成于所述连接部范围内的部分。
33.根据本发明的另一方案，所述中继基板在所述连接部范围中形成有所述两个所述接地导体图案中的一方的部分设置有切缺部，该切缺部从所述信号输入边延伸，并贯通所述中继基板的厚度方向。
34.本发明的另一方案涉及一种光调制器，具备：光调制元件，具备多个信号电极；多个信号输入端子，输入向每个所述信号电极施加的电信号；中继基板，形成有多个信号导体图案及多个接地导体图案，所述信号导体图案将所述信号输入端子与所述信号电极电连接；及壳体，收容所述光调制元件及所述中继基板，其中，所述中继基板在与形成有所述接地导体图案的面相对的面上形成有背面接地导体，关于至少一个所述信号导体图案，在包含该信号导体图案与所述信号输入端子相连接的信号连接部分在内的连接部范围中，在所述中继基板上夹着该信号导体图案的两个所述接地导体图案通过导通孔的有无、或者所形成的导通孔的个数或直径彼此不同而形成为不对称，所述连接部范围被定义为以信号输入边的一部分为宽度方向的一条边并在所述中继基板的面内延伸的矩形，所述信号输入边是所述中继基板的边中的所述至少一个信号导体图案与所述信号输入端子连接的一侧的边，所述连接部范围以所述至少一个信号导体图案为宽度方向的中心，所述连接部范围的宽度等于从所述至少一个信号导体图案至最近的相邻的所述信号导体图案为止的距离，所述连接部范围的高度等于从所述信号输入边至所述信号连接部分中的距该信号输入边最远的端部为止的距离。
35.根据本发明的另一方案，所述光调制元件构成为生成分别通过一对所述电信号来调制的两束调制光，所述中继基板构成为通过相邻的一对所述信号导体图案来传播所述一对所述电信号。
36.本发明的又一方案涉及一种光发送装置，具备：上述任一光调制器；及电子电路，输出用于使该光调制器进行调制动作的电信号。
37.需要说明的是，本说明书包含在2019年6月18日提出申请的日本专利申请/特愿2019-112845号的全部内容。
38.发明效果
39.根据本发明，在具备中继基板的光调制器中，能够有效地抑制从中继基板与信号输入端子之间的信号连接部分会产生的泄漏微波的影响，实现良好的光调制特性。
附图说明
40.图1是本发明的第一实施方式的光调制器的俯视图。
41.图2是图1所示的光调制器的侧视图。
42.图3是图1所示的光调制器的a部详情图。
43.图4是图3所示的a部详情图中的b部的详情图。
44.图5是表示第一实施方式的光调制器的第一变形例的中继基板的结构的图。
45.图6是表示第一实施方式的光调制器的第二变形例的中继基板的结构的图。
46.图7是表示第一实施方式的光调制器的第三变形例的中继基板的结构的图。
47.图8是表示第一实施方式的光调制器的第四变形例的中继基板的结构的图。
48.图9是表示第一实施方式的光调制器的第五变形例的中继基板的结构的图。
49.图10是表示第一实施方式的光调制器的第六变形例的中继基板的结构的图。
50.图11是表示第一实施方式的光调制器的第七变形例的中继基板的结构的图。
51.图12是表示第一实施方式的光调制器的第八变形例的中继基板的结构的图。
52.图13是表示第一实施方式的光调制器的第九变形例的中继基板的结构的图。
53.图14是表示本发明的第二实施方式的光发送装置的结构的图。
54.图15示出以往的光调制器的结构的一例。
55.图16是用于说明以往的光调制器中的泄漏微波的产生的说明图。
具体实施方式
56.以下所示的实施方式及其变形例为了解决上述的课题，在具备光调制元件和中继基板的光调制器中，在该中继基板上的信号导体图案与高频输入端子连接的连接部的附近，夹着至少一个信号导体图案的两个接地导体图案构成为包含夹着该信号导体图案而相互不对称的形状部分，或者构成为向接地线的阻抗彼此不同，及/或在该相邻的信号导体图案间的中继基板设置有从该中继基板的边延伸的切缺。由此，在上述光调制器中，能降低朝向相邻的信号导体图案的空间泄漏微波及/或基板泄漏微波的强度，能降低相邻的信号导体图案间的串扰。
57.以下，参照附图，说明本发明的实施方式。
58.[第一实施方式]
[0059]
首先，说明本发明的第一实施方式。图1是表示本发明的第一实施方式的光调制器100的结构的俯视图，图2是光调制器100的侧视图，图3是图1中的a部的局部详情图。
[0060]
光调制器100具备光调制元件102、收容光调制元件102的壳体104、用于使光向光调制元件102入射的输入光纤108及将从光调制元件102输出的光向壳体104的外部引导的输出光纤110。
[0061]
光调制元件102是进行例如400gb/s的光调制的dp-qpsk调制器，具备例如设置于ln基板上的四个马赫-曾德型光波导。在四个马赫-曾德型光波导设置对于在该马赫-曾德型光波导中传播的光波分别进行调制的四个信号电极112a、112b、112c、112d(以下，也总称为信号电极112)。而且，如作为现有技术已知那样，在光调制元件102的ln基板的表面，例如以上述四个信号电极112a、112b、112c、112d分别构成共面线路(cpw，coplanar waveguide)的方式，设置接地电极122a、122b、122c、122d、122e(参照图3。在图1中未图示)。
[0062]
具体而言，上述接地电极122a、122b、122c、122d、122e(以下，也总称为接地电极122)在ln基板表面的面内分别夹着信号电极112a、112b、112c、112d地配置，与四个信号电极112a、112b、112c、112d一起构成在规定的动作频率下具有规定的特性阻抗的共面线路。
[0063]
向四个信号电极112分别输入四个高频电信号(调制信号)。这些高频电信号协作地控制上述四个马赫-曾德型光波导中的光波的传播，在整体上进行400gb/s的dp-qpsk调制的动作。
[0064]
具体而言，向四个信号电极112分别施加一对由两个高频电信号构成的两对高频电信号。光调制元件102生成通过各一对的电信号而调制的两束调制光。生成的两束调制光从构成光调制元件102的一部分的两个输出光波导126a、126b分别输出。在本实施方式中，将成为一对的两个高频电信号向信号电极112a、112b施加，生成从输出光波导126a输出的调制光，将成为其他对的其他的两个高频电信号向信号电极112c、112d施加，生成从输出光波导126b输出的调制光。这两束调制光通过由偏振波合成棱镜等构成的偏振波合成部128合波成一个射束之后，经由输出光纤110向壳体104的外部输出。
[0065]
壳体104由将光调制元件102固定的外壳114a和罩114b构成。需要说明的是，为了便于理解壳体104内部的结构，在图1中，仅将罩114b的一部分在图示左方示出，但是实际上，罩114b以覆盖箱状的外壳114a的整体的方式配置而对壳体104的内部进行气密密封。外壳114a由金属或者例如被镀金的陶瓷等构成，电气性地作为导电体发挥功能。而且，在壳体104通常设置dc控制用等的多个引脚，但是在本附图中省略。
[0066]
外壳114a设有具备信号输入端子124a、124b、124c、124d(以下，也总称为信号输入端子124)的作为同轴连接器的电连接器116a、116b、116c、116d(以下，也总称为电连接器116)。
[0067]
电连接器116分别是例如插入式的同轴连接器的插槽，包含圆筒状的接地导体，信号输入端子124由沿着该圆筒状的接地导体的中心线延伸的中心导体(芯线)构成。上述圆筒状的接地导体分别电连接且固定于外壳114a。因此，外壳114a构成供给接地电位的接地线。而且，信号输入端子124分别经由中继基板118而电连接于光调制元件102的信号电极112各自的一端。
[0068]
光调制元件102的信号电极112的另一端通过具有规定的阻抗的终端器120形成终端。由此，向信号电极112各自的一端输入的电信号作为行波在信号电极112内分别传播。
[0069]
图3示出中继基板118及其周围的结构。在中继基板118形成有信号导体图案330a、330b、330c、330d(以下，也总称为信号导体图案330)和接地导体图案340a、340b、340c、340d、340e(以下，也总称为接地导体图案340)。
[0070]
中继基板118在与正面(形成有信号导体图案330及接地导体图案340的图3所示的面)相对的背面形成有背面接地导体(未图示)。背面接地导体通过例如焊料、钎料、或者导电性粘接剂等而固定于壳体104的外壳114a。由此，背面接地导体成为接地线构成要素。接地导体图案340分别经由适当的导通孔(未图示)与背面接地导体连接而连接于接地线。
[0071]
接地导体图案340a、340b、340c、340d、340e以在中继基板118的正面的面内夹着信号导体图案330a、330b、330c、330d的每一个的方式设置。由此，信号导体图案330分别与接地导体图案340一起构成共面线路。
[0072]
信号导体图案330在本实施方式中沿图示上下方向延伸，中继基板118的边中的图示下侧的边的一端与信号输入端子124连接。在此，中继基板118的边中的信号导体图案330与信号输入端子124连接的一侧的边称为信号输入边318a。
[0073]
光调制元件102的信号电极112分别在中继基板118的边中的图示上侧的边处，通过使用了例如导体引线326的引线键合，与中继基板118的信号导体图案330的另一端电连接。导体引线326可以设为例如金引线。在此，中继基板118的边中的信号导体图案330与光调制元件102的信号电极112连接的一侧的边称为信号输出边318b。在本实施方式中，信号
输入边318a与信号输出边318b构成俯视图中中继基板118的相对的两条边。图3的中继基板118的边中的除了信号输入边318a、信号输出边318b以外的其他的相对的两条边称为侧缘(侧方边)318c、318d。
[0074]
在光调制元件102中与信号电极112一起构成共面线路的接地电极122分别与上述同样地通过使用了例如导体引线326的引线键合，在中继基板118的信号输出边318b处与接地导体图案340各自的一端电连接。需要说明的是，上述的使用了导体引线326的引线键合为一例，并不局限于此。也可以取代导体引线326的引线键合而使用例如使用了金带等的导体带的带键合。
[0075]
在本实施方式中，关于至少一个信号导体图案330，在包含该信号导体图案330与信号输入端子124相连接的信号连接部分在内的俯视图为矩形的连接部范围中，在中继基板118上夹着该信号导体图案330的两个接地导体图案340各自的俯视图形状形成为关于上述至少一个信号导体图案330相互不对称。在此，上述连接部范围被定义为以信号输入边318a的一部分为宽度方向的一条边并在中继基板118的面内延伸的矩形。而且，连接部范围将上述至少一个信号导体图案330设为宽度方向的中心。上述连接部范围的宽度与从上述至少一个信号导体图案330至最近的相邻的信号导体图案330为止的距离相等，连接部范围的高度与从信号输入边318a至上述信号连接部分中的距信号输入边318a最远的端部为止的距离相等。
[0076]
需要说明的是，在本实施方式中，信号输入端子124设为通过焊料等而直接连接于信号导体图案330的结构，但是并不局限于此。信号输入端子124也可以设为通过引线键合等并经由导体引线或导体带而连接于信号导体图案330的结构。在该情况下，信号导体图案330与信号输入端子124之间的信号连接部分可以设为在信号导体图案330上连接有上述导体引线等的范围。因此，在该情况下，上述“信号连接部分中的距信号输入边318a最远的端部”可以设为“在信号导体图案330中连接有导体引线等的引线连接部分中的距信号输入边318a最远的引线连接部分”。
[0077]
图4是图3所示的b部的局部详情图。在本实施方式中，作为一例，在包含该信号导体图案330b与信号输入端子124b相连接的信号连接部分在内的连接部范围450a中，在中继基板118上夹着信号导体图案330a的两个接地导体图案340a、340b的俯视图形状形成为关于信号导体图案330b相互不对称。
[0078]
在此，对于信号导体图案330a定义连接部范围450a。即，如果将中继基板118的信号输入边318a的延伸方向设为宽度方向，将与该延伸方向正交的方向设为高度方向，则连接部范围450a被定义为将信号输入边318a设为一条边的矩形且以信号导体图案330a为中心的具有规定的宽度w11和规定的高度d11的矩形的范围。在此，高度d11是从信号输入边318a至信号导体图案330a与信号输入端子124a相连接的信号连接部分的远端(即，距信号输入边318a远的一方的端)为止的距离。而且，宽度w11与从信号导体图案330a至最近的相邻的信号导体图案330b的图案间距离(间距)p1相等。
[0079]
需要说明的是，信号导体图案330a与接地导体图案340a、340b形成为信号导体图案330a的特性阻抗在连接部范围450a的内外成为相同值。
[0080]
同样，在本实施方式中，在对于信号导体图案330d定义的连接部范围450d中，夹着信号导体图案330d的两个接地导体图案340d、340e的俯视图形状形成为关于信号导体图案
330d相互不对称。连接部范围450d是以信号输入边318a为一条边的矩形的范围，具有以信号导体图案330d为中心的宽度w14和规定的高度d14。在此，高度d14是从信号输入边318a至信号导体图案330d与信号输入端子124d之间的信号连接部分的远端为止的距离，宽度w14与从信号导体图案330d至最近的相邻的信号导体图案330c的图案间距离p2相等。而且，信号导体图案330d与接地导体图案340d、340e形成为信号导体图案330d的特性阻抗在连接部范围450d的内外成为相同值。
[0081]
更具体而言，在本实施方式中，夹着信号导体图案330a的两个接地导体图案340a、340b具有从该两个接地导体图案340a、340b各自的边缘至信号导体图案330a的相对的边缘的间隔(图示的g11及g12)在连接部范围450a彼此不同的部分，由此关于信号导体图案330a成为不对称的形状。
[0082]
同样，夹着信号导体图案330d的两个接地导体图案340d、340e具有从该两个接地导体图案340d、340e各自的边缘至信号导体图案330d的相对的边缘的间隔(图示的g41及g42)在连接部范围450d彼此不同的部分，由此关于信号导体图案330d成为不对称的形状。在此，g11与g12、及g41与g42分别以例如连接部范围450a、450d的各自的内外的信号导体图案330a、330d的特性阻抗变得相等的距离的情况为条件来设定。
[0083]
通常，在由信号导体和接地导体构成的高频信号线路中，信号导体与接地导体之间的距离越小，则高频信号向信号导体的闭入越增强。
[0084]
在中继基板118中，在连接部范围450a中从信号导体图案330a至接地导体图案340a及340b为止的距离不同。因此，从信号导体图案330a与信号输入端子124a之间的信号连接部分产生(因而，从连接部范围450a产生)的泄漏微波向与相邻的接地导体图案之间的距离大的方向，即，隔开距离g11(》g12)而相对的接地导体图案340a的方向偏斜(例如在图4中作为单点划线的箭头490a、490b夹着的范围而示出的方向范围内)，以具有比其他的方向大的强度分布的方式放出。另一方面，信号导体图案330a以在连接部范围450a内外具有相同特性阻抗的方式构成，因此从上述信号连接部分产生的泄漏微波的总量大致等同于g11与g12具有相同值的情况。
[0085]
其结果是，箭头490a、490b夹着的方向范围以外的方向范围内的泄漏微波的强度相对降低，从信号导体图案330a向相邻的信号导体图案330b的经由泄漏微波的串扰降低。
[0086]
出于同样的原理，从信号导体图案330d与信号输入端子124d之间的信号连接部分产生(因而，从连接部范围450d产生)的泄漏微波朝向隔开距离g42(》g41)而相对的接地导体图案340e的方向，以基于比其他的方向大的强度分布的方式放出。其结果是，向相邻的信号导体图案330c的方向传播的泄漏微波的强度相对降低，从信号导体图案330d向相邻的信号导体图案330c的经由泄漏微波的串扰(串扰)降低。
[0087]
特别是在如进行dp-qpsk调制的光调制器100那样生成分别通过一对高频电信号调制的两束调制光的光调制器中，成对的两个高频电信号在彼此之间的相位差也载有信息的情况较多。因此，成对的两个高频电信号间的串扰除了产生强度噪声之外，也会产生相位噪声，与不同的成对的高频电信号的间的串扰相比，对光调制器100的调制特性会造成大的影响。
[0088]
上述成对的高频电信号通常使用在中继基板上相邻的两个信号导体图案来中继，因此抑制对这样的成对的两个高频电信号分别传播的相邻的两个信号导体图案间的串扰
的情况极其重要。
[0089]
在本实施方式的光调制器100中，通过相邻的信号导体图案330a、330b，使成为两对高频电信号中的一对的两个高频电信号分别传播，通过另一相邻的信号导体图案330c、330d，使成为另一对的两个高频电信号传播。并且，通过上述结构，降低从信号导体图案330a向信号导体图案330b的串扰，即，从构成一对的两个高频电信号中的一方向另一方的串扰。而且，通过上述结构，也降低从信号导体图案330d向信号导体图案330c的串扰，即，也降低从构成另一对的两个高频电信号中的一方向另一方的串扰。其结果是，在光调制器100中，能够有效地降低泄漏微波的影响，实现良好的光调制特性。
[0090]
需要说明的是，在本实施方式中，关于未被相邻的信号导体图案夹着的信号导体图案，即，位于四个信号导体图案330的排列的左右两端部的信号导体图案330a及330d，分别夹着它们的两个接地导体图案340a与340b、及340d与340e分别在连接部范围450a、450d内由关于信号导体图案330a及330d不对称的形状构成，但是并不局限于此。关于两个信号导体图案330a与330c或者330b与330d分别夹着的信号导体图案330b或330c，也同样地可以将分别夹着上述的信号导体图案330b或330c的两个接地导体图案340b与340c或者340c与340d分别设为在规定的连接部范围中由关于信号导体图案330b或330c不对称的形状构成的结构。
[0091]
在该情况下，关于相邻的信号导体图案夹着的信号导体图案的连接部范围的宽度(即，图4中的w11或w14对应的宽度)可以设为与至最近的相邻的信号导体图案为止的距离相等的宽度。
[0092]
接下来，说明光调制器100使用的中继基板的变形例。
[0093]
《第一变形例》
[0094]
图5是表示第一变形例的中继基板518的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板518在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图5中，关于与图4所示的中继基板118的构成要素相同的构成要素，使用与图4中的标号相同的标号表示，并援引上述的关于图4的说明。
[0095]
中继基板518具有与中继基板118同样的结构，但是取代接地导体图案340c而具备接地导体图案540c的点不同。由此，在中继基板518中，除了信号导体图案330a、330d之外，关于信号导体图案330b、330c，也是在对于上述的信号导体图案330b、330c定义的连接部范围550b、550c中，分别夹着信号导体图案330b、330c的接地导体图案340b、540c及接地导体图案540c、340d分别构成为关于信号导体图案330b、330c不对称的形状。
[0096]
需要说明的是，对于信号导体图案330b及330c定义的连接部范围550b及550c与对于信号导体图案330a、330d定义的连接部范围450a、450d同样地分别是以信号输入边318a为一条边并以信号导体图案330b为中心的具有宽度w22和规定的高度d22的矩形范围、及以信号导体图案330c为中心的具有宽度w23和规定的高度d23的矩形范围。
[0097]
宽度w22、w23分别可以设为与从信号导体图案330b、330c至最近的相邻的信号导体图案为止的距离相等的值。
[0098]
例如，信号导体图案330a与330b之间的距离p1、330c与330d之间的距离p2、330b与330c之间的距离p3具有p1》p2》p3的关系的情况下，无论信号导体图案330b、330c的哪一个至最近的相邻的信号导体图案为止的距离都成为p3。因此，连接部范围550b、550c的宽度
w22、w23都成为与p3相等的值。
[0099]
在本变形例中，p1＝p2＝p3，w11＝w22＝w23＝w14＝p1＝p2＝p3。
[0100]
高度d22及d23与高度d11、d14同样，通过从信号输入边318a至信号导体图案330b与信号输入端子124d之间的信号连接部分的远端为止的距离、及至信号导体图案330c与信号输入端子124c之间的信号连接部分的远端为止的距离来定义。
[0101]
具体而言，接地导体图案540c在连接部范围550b中，与接地导体图案340a、340e同样地，以该接地导体图案540c与信号导体图案330b之间的间隔g22和该信号导体图案330b与接地导体图案340b之间的间隔g21不同的方式(更具体而言，以大于g21的方式)构成。而且，接地导体图案540c在连接部范围550c中，以该接地导体图案540c与信号导体图案330c之间的间隔g31和该信号导体图案330c与接地导体图案340d之间的间隔g32不同的方式(更具体而言，以大于g32的方式)构成。需要说明的是，在中继基板518中，信号导体图案330及接地导体图案340a、340b、540c、340d、340e形成为信号导体图案330各自的特性阻抗分别在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0102]
由此，在中继基板518中，在连接部范围550b内将g22设定得比g21大，由此，在信号导体图案330b与信号输入端子124b之间的信号连接部分产生(因而，从连接部范围550b产生)的泄漏微波朝向接地导体图案540c的方向在例如由图示虚线的箭头590c与590d夹着的角度范围内具有比其他的角度范围大的强度分布。其结果是，上述泄漏微波中的到达处于上述该其他的角度范围内的相邻的信号导体图案330a的部分的强度相对降低。
[0103]
即，在中继基板518中，除了与中继基板118同样地在信号导体图案330a与信号输入端子124a之间的信号连接部分产生的泄漏微波中的到达相邻的信号导体图案330b的部分的强度降低之外，在信号导体图案330b与信号输入端子124b之间的信号连接部分产生的泄漏微波中的到达相邻的信号导体图案330a的部分的强度也降低。
[0104]
因此，在中继基板518中，能有效地抑制将成对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b彼此的串扰。
[0105]
同样，在中继基板518中，除了与中继基板118同样地在信号导体图案330d与信号输入端子124d之间的信号连接部分产生的泄漏微波中的到达相邻的信号导体图案330c的部分的强度降低之外，通过在连接部范围550c内将g31设定得比g32大，在信号导体图案330c与信号输入端子124c之间的信号连接部分产生(因而，从连接部范围550c产生)的泄漏微波中的到达相邻的信号导体图案330d的部分的强度也降低。
[0106]
因此，在中继基板518中，也能有效地抑制将另外的成对的另两个高频电信号分别传播的信号导体图案330c，330d彼此的串扰。
[0107]
其结果是，在中继基板518中，能实现比使用中继基板118的情况更良好的光调制特性。
[0108]
《第二变形例》
[0109]
图6是表示第二变形例的中继基板618的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板618在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图6中，关于与图4、图5所示的中继基板118，518的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5中的标号相同的标号表示，并援引上述的关于图4、图5的说明。
[0110]
中继基板618与中继基板118、518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基
板618中，分别关于信号导体图案330，与中继基板518同样地定义连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0111]
中继基板618具有与中继基板118同样的结构，但是取代接地导体图案340a、340c、340e而具备接地导体图案640a、640c、640e的点不同。需要说明的是，在中继基板618中，也是信号导体图案330及接地导体图案640a、340b、640c、340d、640e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0112]
在本变形例的中继基板618中，夹着至少一个信号导体图案330的两个接地导体图案的形成在对于该信号导体图案定义的连接部范围内的各自的部分的在与该信号导体图案的延伸方向正交的方向上测得的宽度彼此不同，由此由关于该信号导体图案不对称的形状构成。
[0113]
具体而言，在中继基板618中，与接地导体图案340b一起夹着信号导体图案330a的接地导体图案640a通过使形成于连接部范围450a的部分的宽度1wg11与接地导体图案340b中的形成于连接部范围450a的部分的宽度wg12不同(具体而言，例如，wg11《wg12)，而在该连接部范围450a中，关于信号导体图案330a由与接地导体图案340b不对称的形状构成。
[0114]
通常，在由信号导体和接地导体构成的高频信号线路中，从接地导体至供给接地电位的部分(所谓接地线)的阻抗越小(即，所谓接地强化越充分)，则高频信号向信号导体的闭入越强。
[0115]
在中继基板618中，夹着信号导体图案330a的接地导体图案640a及340b中的形成于连接部范围450a的部分的形成宽度wg11、wg12彼此不同。由此，从信号导体图案330a与信号输入端子124a之间的信号连接部分产生的泄漏微波朝向至相邻的接地导体图案中的上述形成宽度窄的接地线(例如，背面接地导体)的阻抗更大的接地导体图案的某方向，即具有形成宽度wg11(《wg12)的接地导体图案340a的方向(例如在图6中作为单点划线的箭头690a、690b夹着的范围而示出的方向范围内)，具有比其他的方向大的强度分布地放出。
[0116]
因此，箭头690a、690b夹着的方向范围以外的方向范围内的泄漏微波的强度相对降低，例如从信号导体图案330a向相邻的信号导体图案330b的经由泄漏微波的串扰(串扰)降低。
[0117]
另外，在中继基板618中，夹着信号导体图案330b的接地导体图案340b及640c中的连接部范围550b内的部分的形成宽度wg21、wg22彼此不同。由此，从信号导体图案330b与信号输入端子124b之间的信号连接部分产生的泄漏微波朝向直至具有比wg21窄的形成宽度wg22的接地线的阻抗更大的接地导体图案640c的方向(例如在图6中作为单点划线的箭头690c、690d夹着的范围而示出的方向范围内)，具有比其他的方向大的强度分布地放出。
[0118]
因此，箭头690c、690d夹着的方向范围以外的方向范围内的泄漏微波的强度相对降低，例如从信号导体图案330b向相邻的信号导体图案330a的经由泄漏微波的串扰(串扰)也降低。其结果是，与图5所示的中继基板518同样，能有效地抑制将成对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b彼此的串扰。
[0119]
同样，在中继基板618中，夹着信号导体图案330c的接地导体图案640c及340d中的连接部范围550c内的部分的形成宽度wg31、wg32处于wg31《wg32的不对称关系，且夹着信号导体图案330d的接地导体图案340d及640e中的连接部范围450d内的部分的形成宽度wg41、wg42处于wg41》wg42的不对称关系。
[0120]
因此，在中继基板618中，能抑制经由从信号导体图案330c与信号输入端子124c之间的信号连接部分产生的泄漏微波的从信号导体图案330c向相邻的信号导体图案330d的串扰、及经由从信号导体图案330d与信号输入端子124d之间的信号连接部分产生的泄漏微波的从信号导体图案330d向相邻的信号导体图案330c的串扰。
[0121]
其结果是，在中继基板618中，与图5所示的中继基板518同样，与中继基板118相比，更能抑制成对的高频信号间的串扰，能实现良好的光调制特性。
[0122]
特别是在中继基板618的结构中，在连接部范围450a、550b、550c、450d中，接地导体图案640a、640b、640c、340d、640e的形成宽度虽然夹着分别对应的信号导体图案330彼此不同，但是从信号导体图案330分别至相邻的接地导体图案640a、340b、640c、340d、640e的相对的边缘为止的距离彼此相等。因此，即使变更夹着信号导体图案330的接地导体图案640a、640b、640c、340d、640e的形成宽度，信号导体图案330的特性阻抗的变化也小。因此，在中继基板618的结构中，能够以在连接部范围450a、550b、550c、450d的内外而各个信号导体图案330的特性阻抗不变化的方式容易构成。但是，即使较大地设定夹着信号导体图案的两个接地导体图案的连接部范围内的形成宽度(例如，wg11与wg12)的差异，泄漏微波的偏斜方向不如中继基板118、518的情况那样变化。
[0123]
因此，中继基板618的结构在泄漏微波的影响比较少的情况下，在想要尽可能地取得与现有设计(例如中继基板的关于接地导体图案的现有的图案设计)的匹配性并想要抑制泄漏微波的影响的情况下优选。
[0124]
《第三变形例》
[0125]
图7是表示第三变形例的中继基板718的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板718在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图7中，关于与图4、图5、图6所示的中继基板118、518、618的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5、图6中的标号相同的标号表示，援引上述的关于图4、图5、图6的说明。
[0126]
中继基板718与图4、图5所示的中继基板118、518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基板718中，分别关于信号导体图案330，定义与中继基板518相同的连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0127]
中继基板718具有与中继基板118同样的结构，但是取代接地导体图案340a、340c、340e而具备接地导体图案740a、740c、740e的点不同。需要说明的是，在中继基板718中，也是信号导体图案330及接地导体图案740a、340b、740c、340d、740e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0128]
在本变形例的中继基板718中，夹着至少一个信号导体图案330的两个接地导体图案中的一方通过不包含在对于该信号导体图案定义的连接部范围内形成的部分而由关于该信号导体图案不对称的形状构成。
[0129]
具体而言，在中继基板718中，夹着信号导体图案330a的接地导体图案740a、340b通过一方的接地导体图案740a在连接部范围450a内未形成图案而形成为关于信号导体图案330a不对称。而且，在中继基板718中，夹着信号导体图案330b的接地导体图案340b、740c通过一方的接地导体图案740c在连接部范围550b内未形成图案而形成为关于信号导体图案330b不对称。
[0130]
同样，在中继基板718中，夹着信号导体图案330c的接地导体图案740c、340d通过一方的接地导体图案740c在连接部范围550c内未形成图案而形成为关于信号导体图案330c不对称。而且，在中继基板718中，夹着信号导体图案330d的接地导体图案340d、740e通过一方的接地导体图案740e在连接部范围450d内未形成图案而形成为关于信号导体图案330d不对称。
[0131]
该中继基板718相当于在前述的第二变形例的图6的中继基板618中将wg11、wg22、wg31及wg42设为0(zero)的情况。因此，在中继基板718中，将成为一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b间的经由泄漏微波的串扰、及将成为另一对的其他的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330c、330d间的经由泄漏微波的串扰比中继基板618进一步降低。其结果是，在使用了中继基板718的情况下，与使用中继基板618的情况相比能实现更良好的光调制特性。
[0132]
需要说明的是，在本变形例中，例如夹着信号导体图案330a的接地导体图案740a、340b通过一方的接地导体图案740a在连接部范围450a内未形成图案而形成为关于信号导体图案330a不对称，但是并不局限于此。可以取代于此，例如，夹着信号导体图案330a的接地导体图案740a、340b通过一方的接地导体图案740a在连接部范围450a内形成图案的范围(面积)比另一方的接地导体图案340b在连接部范围550b内形成的范围(面积)少而形成为关于信号导体图案330a不对称。
[0133]
《第四变形例》
[0134]
图8是表示第四变形例的中继基板818的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板818在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图8中，关于与图4、图5所示的中继基板118，518的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5中的标号相同的标号表示，并援引上述的关于图4的说明。
[0135]
中继基板818与图4、图5所示的第一实施方式及第一变形例的中继基板118，518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基板818中，分别关于信号导体图案330，定义与中继基板518相同的连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0136]
中继基板818具有与中继基板118同样的结构，但是取代接地导体图案340a、340b、340c、340d、340e而具备接地导体图案840a、840b、840c、840d、840e的点不同。需要说明的是，在中继基板818中，也是信号导体图案330及接地导体图案840a、840b、840c、840d、840e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0137]
在本变形例的中继基板818中，在关于至少一个信号导体图案330的连接部范围中形成有夹着该信号导体图案330的两个接地导体图案中的一方的部分设有从信号输入边318a延伸并贯通中继基板818的厚度方向的切缺部。
[0138]
作为一例，在图8所示的中继基板818中，在对于信号导体图案330a定义的连接部范围450a中形成有夹着该信号导体图案330a的两个接地导体图案840a、840b中的一方的接地导体图案840b的部分设有从信号输入边318a延伸并贯通中继基板818的厚度方向的切缺部860a。由此，接地导体图案840a、840b在连接部范围450a中关于信号导体图案330a由相互不对称的形状构成。
[0139]
需要说明的是，在图8中，为了明示切缺部860a及后述的其他的切缺部860b、860c、
860d而通过粗线描绘中继基板818的轮廓。而且，在图8中，出于同样的目的，表示连接部范围450a、550b、550c、450d的虚线及单点划线以与中继基板818的信号输入边318a不重叠的方式描绘。但是，连接部范围450a、550b、550c、450d的定义与上述的第一实施方式及其变形例中的定义同样。
[0140]
另外，在中继基板818中，在对于信号导体图案330b定义的连接部范围550b中形成有夹着该信号导体图案330b的两个接地导体图案840b、840c中的一方的接地导体图案840b的部分设置有切缺部860b，该切缺部860b从信号输入边318a延伸，并贯通中继基板818的厚度方向。
[0141]
通过上述的结构，在中继基板818中，从信号导体图案330a与信号输入端子124a的连接点产生而在中继基板818的基板素材内传播的基板泄漏微波由通过切缺部860a形成的空间阻止向相邻的信号导体图案330b的传播。而且，从信号导体图案330b与信号输入端子124b的连接点产生而在中继基板818的基板素材内传播的基板泄漏微波由通过切缺部860b形成的空间阻止向相邻的信号导体图案330a的传播。
[0142]
同样，在中继基板818中，在对于信号导体图案330c定义的连接部范围550c中形成有夹着该信号导体图案330c的两个接地导体图案840c，840d中的一方的接地导体图案840d的部分设置有切缺部860c，该切缺部860c从信号输入边318a延伸，并贯通中继基板818的厚度方向。
[0143]
另外，在中继基板818中，在对于信号导体图案330d定义的连接部范围450d中形成有夹着该信号导体图案330d的两个接地导体图案840d、840e中的一方的接地导体图案840d的部分设置有切缺部860d，该切缺部860d从信号输入边318a延伸，并贯通中继基板818的厚度方向。
[0144]
通过上述的结构，在中继基板818中，从信号导体图案330c与信号输入端子124c之间的信号连接部分产生而在中继基板818的基板素材内传播的基板泄漏微波由通过切缺部860c形成的空间阻止向相邻的信号导体图案330d的传播。而且，从信号导体图案330d与信号输入端子124d的信号连接部产生而在中继基板818的基板素材内传播的基板泄漏微波由通过切缺部860d形成的空间阻止向相邻的信号导体图案330c的传播。
[0145]
因此，在中继基板818中，将成为一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b间的经由基板泄漏微波的串扰、及将成为另一对的其他的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330c、330d间的经由基板泄漏微波的串扰进一步降低。其结果是，如果将中继基板818使用在光调制器100内，则作为光调制器100能实现良好的光调制特性。
[0146]
需要说明的是，在中继基板818中，如果在切缺部860a等的内壁以从接地导体图案840b等延伸的方式实施金属化，则能够进一步提高上述那样的基板泄漏微波的传播抑制效果。
[0147]
《第五变形例》
[0148]
图9是表示第五变形例的中继基板918的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板918在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图9中，关于与图4、图5、图6、图7、图8所示的中继基板118、518、618、718、818的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5、图6、图7、图8中的标号相同的标号表示，援引上述的关于图4、图5、图6、图7、图8的说明。
[0149]
在中继基板918，与图4、图5所示的第一实施方式及第一变形例的中继基板118、518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基板818中，分别关于信号导体图案330，定义与中继基板518相同的连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0150]
在此，中继基板918通过将前述的第三变形例的图7中的中继基板718及第四变形例的图8中的中继基板818的特征结构组合而构成。即，中继基板918具有与中继基板118同样的结构，但是取代接地导体图案340a、340b、340c、340d、340e而具备接地导体图案740a、840b、740c、840d、740e的点不同。需要说明的是，在中继基板918中，也是信号导体图案330及接地导体图案740a、840b、740c、840d、740e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0151]
特别是在中继基板918中，在与前述的第四变形例的图8中的中继基板818相同的位置设置从信号输入边318a延伸并贯通中继基板918的厚度方向的四个切缺部860a、860b、860c、860d。
[0152]
需要说明的是，在图9中，与上述的第四变形例的图8同样，为了明示切缺部860a及后述的其他的切缺部860b、860c、860d而利用粗线描绘中继基板918的轮廓。而且，在图9中，出于同样的目的，表示连接部范围450a、550b、550c、450d的虚线及单点划线以与中继基板918的信号输入边318a不重叠的方式描绘。但是，连接部范围450a、550b、550c、450d的定义与上述的第一实施方式及其变形例中的定义同样。
[0153]
由此，在中继基板918中，在将成为一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b间，与第三变形例的图7中的中继基板818同样地经由基板泄漏微波的串扰比中继基板718的情况进一步降低。同样，在将成为另一对的其他的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330c、330d间，与中继基板818同样地经由基板泄漏微波的串扰比第三变形例的图7中的中继基板718的情况新一步降低。
[0154]
其结果是，在将中继基板918使用于光调制器100的情况下，与使用上述的图4、图5、图6、图7、图8所示的第一实施方式、第一变形例、第二变形例、第三变形例、第四变形例的其他的中继基板118、518、628、718、818的情况相比，作为光调制器100能实现更良好的光调制特性。
[0155]
需要说明的是，与中继基板818的情况同样，如果对切缺部860a等的内壁以从接地导体图案840b等延伸的方式实施金属化，则能够进一步提高基板泄漏微波的传播抑制效果。
[0156]
《第六变形例》
[0157]
图10是表示第六变形例的中继基板1018的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板1018在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图10中，关于与图4、图5所示的中继基板118、518的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5中的标号相同的标号表示，援引上述的关于图4、图5的说明。
[0158]
中继基板1018与图4、图5所示的第一实施方式及第一变形例的中继基板118、518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基板818中，分别关于信号导体图案330，定义与中继基板118相同的连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0159]
在上述的第一实施方式的图4的中继基板118中，例如夹着信号导体图案330a的接地导体图案340a、340b在连接部范围450a内关于该信号导体图案330a由不对称的形状形
成，由此降低在该连接部范围450a内产生的泄漏微波到达相邻的信号导体图案330b的强度。相对于此，在本变形例的中继基板1018中，在对于至少一个信号导体图案定义的连接部范围中，夹着该信号导体图案相邻的两个接地导体图案的上述连接部范围内的各个部分形成为相对于接地线构成要素(例如，中继基板1018的背面接地导体)具有不同的阻抗。
[0160]
特别是在中继基板1018中，作为一例，在对于至少一个信号导体图案定义的连接部范围中，夹着该信号导体图案相邻的两个接地导体图案的上述连接部范围内的各个部分的导通孔的有无不同(即，仅在一方的该部分设置导通孔)，由此上述阻抗不同。
[0161]
具体而言，中继基板1018具有与图4所示的第一实施方式的中继基板118同样的结构，但是取代接地导体图案340a、340b、340c、340d、340e而具有接地导体图案1040a、1040b、1040c、1040d、1040e的点不同。需要说明的是，在中继基板1018中，也是信号导体图案330及接地导体图案1040a、1040b、1040c、1040d、1040e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0162]
在接地导体图案1040b、1040d分别形成六个导通孔1062。需要说明的是，在图10中，为了避免冗长的记载而分别在接地导体图案1040b、1040d中仅对于六个导通孔的一个标注标号1062。分别在接地导体图案1040b、1040d中，以与标注有标号的导通孔1062相同的大小描绘的其他的五个圆可理解为同样的导通孔1062。
[0163]
详细而言，在对于信号导体图案330a定义的连接部范围450a中，夹着信号导体图案330a的相邻的接地导体图案1040a、1040b仅一方的接地导体图案1040b通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，在另一方的接地导体图案1040a未设置这样的导通孔。
[0164]
另外，在对于信号导体图案330b定义的连接部范围550b中，夹着信号导体图案330b的相邻的接地导体图案1040b、1040c仅一方的接地导体图案1040b通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，在另一方的接地导体图案1040c未设置这样的导通孔。
[0165]
同样，在对于信号导体图案330c定义的连接部范围550c中，夹着信号导体图案330c的相邻的接地导体图案1040c、1040d仅一方的接地导体图案1040d通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，在另一方的接地导体图案1040c未设置这样的导通孔。
[0166]
另外，在对于信号导体图案330d定义的连接部范围450d中，夹着信号导体图案330d的相邻的接地导体图案1040d、1040e仅一方的接地导体图案1040d通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，在另一方的接地导体图案1040e未设置这样的导通孔。
[0167]
与第二变形例的中继基板618相关联，如上所述，通常，在由信号导体和接地导体构成的高频信号线路中，从接地导体至接地线的阻抗越小(即，所谓接地强化越充分)，则高频信号向信号导体的闭入越强。
[0168]
因此，在中继基板1018中，在连接部范围450a、550b产生的泄漏微波分别在通过导通孔1062未与背面接地导体连接(因而，对于背面接地导体的阻抗更高)的接地导体图案1040a及1040c的某方向上具有更大的强度，其他的方向的强度降低。因此，在中继基板1018中，与中继基板118同样地，在将成为一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b间，经由泄漏微波的串扰降低。同样，在连接部范围550c、450d产生的泄漏微波分别在朝向未形成导通孔1062而对于背面接地导体的阻抗更高的接地导体图案1040c及1040e的方向上具有更大的强度，其他的方向的强度降低。因此，在中继基板1018中，在将成为另一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330c、330d间，经由泄漏微波的串扰
也降低。
[0169]
其结果是，在使用了中继基板1018的情况下，作为光调制器100也能实现良好的光调制特性。
[0170]
《第七变形例》
[0171]
图11是表示第七变形例的中继基板1118的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板1118在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图11中，关于与图4、图5、图10所示的中继基板118、518、1080的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5、图10中的标号相同的标号表示，援引上述的关于图4、图5、图10的说明。
[0172]
中继基板1118与图4、图5所示的第一实施方式及第一变形例的中继基板118、518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基板818中，分别关于信号导体图案330，定义与中继基板118相同的连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0173]
中继基板1118与上述的第六变形例的图10中的中继基板1018同样，在对于至少一个信号导体图案定义的连接部范围中，夹着该信号导体图案的相邻的两个接地导体图案的上述连接部范围内的各自的部分形成为对于接地线构成要素(例如，中继基板1118的背面接地导体)具有不同的阻抗。
[0174]
但是，在中继基板1118中，与中继基板1018不同，夹着至少一个信号导体图案的相邻的两个接地导体图案的对于该信号导体图案定义的连接部范围内的各自的部分设置的导通孔的直径不同，由此上述阻抗不同。
[0175]
具体而言，中继基板1118取代接地导体图案1040a、1040c、1040e而具备接地导体图案1140a、1140c、1140e的点与中继基板1080不同。需要说明的是，在中继基板1118中，也是信号导体图案330及接地导体图案1140a、1040b、1140c、1040d、1140e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0176]
接地导体图案1140a、1140c、1140e具有与接地导体图案1040a、1040c、1040e同样的结构，但是分别在对应的连接部范围450a、550b、550c、450d的范围中，设置与导通孔1062相同的个数且比导通孔1062小径的导通孔1162的点不同。在此，在图11中，为了避免冗长的记载而分别在接地导体图案1140a、1140c、1140e中仅对导通孔的一个标注标号1162。分别在接地导体图案1140a、1140c、1140e中，以与标注有标号的导通孔1162相同的大小描绘的其他的两个、五个及两个圆可理解为同样的导通孔1162。
[0177]
详细而言，在对于信号导体图案330a定义的连接部范围450a中，夹着信号导体图案330a的一方的接地导体图案1140b通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1140a通过与之同数(即，在该例中为两个)且比导通孔1062小径的导通孔1162与背面接地导体连接。
[0178]
另外，在对于信号导体图案330b定义的连接部范围550b中，夹着信号导体图案330b的一方的接地导体图案1140b通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1140c通过与之同数且比导通孔1062小径的导通孔1162与背面接地导体连接。
[0179]
同样，在对于信号导体图案330c定义的连接部范围550c中，夹着信号导体图案330c的一方的接地导体图案1040d通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1140c通过与之同数且比导通孔1062小径的导通孔1162与背面接地导体连接。
[0180]
另外，在对于信号导体图案330d定义的连接部范围450d中，夹着信号导体图案330d的一方的接地导体图案1040d通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1140e通过与之同数且比导通孔1062小径的导通孔1162与背面接地导体连接。
[0181]
由此，在中继基板1118中，与上述的第六变形例的图10中的中继基板1018同样，在连接部范围450a、550b产生的泄漏微波分别在朝向设置小径的导通孔1162而与背面接地导体的阻抗更高的接地导体图案1040a及1040c的方向上具有更大的强度，其他的方向的强度降低。因此，在中继基板1118中，与中继基板1018同样，在将成为一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b间，经由泄漏微波的串扰降低。
[0182]
同样，在中继基板1118中，在连接部范围550c、450d产生的泄漏微波分别在朝向设置小径的导通孔1162而与背面接地导体的阻抗更高的接地导体图案1140c及1140e的方向上具有更大的强度，其他的方向的强度降低。因此，在中继基板1118中，与上述的第六变形例的图10中的中继基板1018同样，在将成为另一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330c、330d间，也能降低经由泄漏微波的串扰。
[0183]
其结果是，在使用中继基板1118的情况下，作为光调制器100也能实现良好的光调制特性。
[0184]
《第八变形例》
[0185]
图12是表示第八变形例的中继基板1218的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板1218在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图12中，关于与图4、图5、图10、图11所示的中继基板118、518、1018、1118的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5、图10、图11中的标号相同的标号表示，援引上述的关于图4、图5、图10、图11的说明。
[0186]
中继基板1218与图4、图5所示的第一实施方式及第一变形例的中继基板118、518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基板1218中，分别关于信号导体图案330，定义与中继基板118相同的连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0187]
中继基板1218与图10、图11所示的第六变形例及第七变形例中的中继基板1018、1118同样，夹着至少一个信号导体图案的相邻的两个接地导体图案的对于该信号导体图案定义的连接部范围内的各自的部分形成为相对于接地线构成要素(例如，中继基板1118的背面接地导体)具有不同的阻抗。
[0188]
但是，在中继基板1218中，与中继基板1018、1118不同，在夹着至少一个信号导体图案的相邻的两个接地导体图案的对于该信号导体图案定义的连接部范围内的各自的部分设置的导通孔的个数不同，由此上述阻抗不同。
[0189]
具体而言，中继基板1218取代接地导体图案1140a、1140c、1140e而具备接地导体图案1240a、1240c、1240e的点与中继基板1118不同。需要说明的是，在中继基板1218中，也是信号导体图案330及接地导体图案1240a、1040b、1240c、1040d、1240e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0190]
并且，在对于信号导体图案330a定义的连接部范围450a中，夹着信号导体图案330a的一方的接地导体图案1140b通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1140a通过比之少的个数(即，在该例中为一个)的导通孔1062与背面接地导体连接。
[0191]
另外，在对于信号导体图案330b定义的连接部范围550b中，夹着信号导体图案330b的一方的接地导体图案1140b通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1240c通过比之少的个数(在该例中为一个)的导通孔1062与背面接地导体连接。
[0192]
同样，在对于信号导体图案330c定义的连接部范围550c中，夹着信号导体图案330c的一方的接地导体图案1040d通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1240c通过比之少的个数(在该例中为一个)的比导通孔1062小径的导通孔1162与背面接地导体连接。
[0193]
另外，在对于信号导体图案330d定义的连接部范围450d中，夹着信号导体图案330d的一方的接地导体图案1040d通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，另一方的接地导体图案1240e通过比之少的个数(在该例中为一个)的比导通孔1062小径的导通孔1162与背面接地导体连接。
[0194]
由此，在中继基板1218中，与图11所示的第七变形例中的中继基板1118同样，在连接部范围450a、550b产生的泄漏微波分别在朝向设置比接地导体图案1040b更少的个数的导通孔1062而与背面接地导体的阻抗更高的接地导体图案1040a及1040c的方向上具有更大的强度，其他的方向的强度降低。因此，在中继基板1218中，与中继基板1118同样，在将成为一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330a、330b间，经由泄漏微波的串扰降低。
[0195]
同样，在中继基板1218中，在连接部范围550c、450d产生的泄漏微波分别在朝向设置比接地导体图案1040d更少的个数的导通孔1062而与背面接地导体的阻抗更高的接地导体图案1140c及1140e的方向上具有更大的强度，其他的方向的强度降低。因此，在中继基板1218中，与中继基板1118同样，在将成为另一对的两个高频电信号分别传播的信号导体图案330c、330d间，也能降低经由泄漏微波的串扰。
[0196]
其结果是，在使用中继基板1218的情况下，作为光调制器100能实现良好的光调制特性。
[0197]
《第九变形例》
[0198]
上述的各变形例所示的连接部范围内的各特征结构可以在一张中继基板之中混杂及/或重复设置。本变形例示出这样的中继基板的一例。
[0199]
图13是表示第九变形例的中继基板1318的结构的图，是相当于图4所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板1218在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图12中，关于与图4、图5、图6、图7、图8、图10所示的中继基板118、518、618、718、818、1018的构成要素相同的构成要素，使用与图4、图5、图6、图7、图8、图10中的标号相同的标号表示，援引上述的关于图4、图5、图6、图7、图8、图10的说明。
[0200]
中继基板1318与图4、图5所示的第一实施方式及第一变形例的中继基板118、518同样地形成有信号导体图案330。因此，在中继基板1318中，分别关于信号导体图案330，定义与中继基板118相同的连接部范围450a、550b、550c、450d。
[0201]
第九变形例的中继基板1318对对于信号导体图案330a、330b、330c定义的连接部范围450a、550b、550c分别应用图4、图6、图7所示的第一实施方式、第二变形例及第三变形例的中继基板118、618及718的特征结构，且对于信号导体图案330d重复应用图4及图10所
示的第一实施方式及第六变形例的中继基板118和1018的特征结构。
[0202]
中继基板1318具有与中继基板118同样的结构，但是取代接地导体图案340c、340d而具备接地导体图案1340c、1340d的点不同。需要说明的是，在中继基板1318中，也是信号导体图案330及接地导体图案340a、340b、1340c、1340d、340e形成为信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a、550b、550c、450d的内部及外部成为相同。
[0203]
中继基板1318与中继基板118同样地具有接地导体图案340a、340b。由此，与中继基板118相关联地出于上述的理由，能抑制从信号导体图案330a向330b的经由从连接部范围450a产生的泄漏微波的串扰。
[0204]
接地导体图案1340c具有与接地导体图案340c同样的结构，但是与图6所示的第二变形例的中继基板618同样，连接部范围550b内的部分的形成宽度wg22比夹着信号导体图案330b而相对的接地导体图案340b的连接部范围550b内的部分的形成宽度wg21窄。由此，与中继基板618相关联地出于上述的理由，能抑制从信号导体图案330b向330a的经由从连接部范围550b产生的泄漏微波的串扰。
[0205]
另外，接地导体图案1340c与图7所示的第三变形例的中继基板718同样，在连接部范围550c内未形成图案。并且，接地导体图案1340d在连接部范围450d内以与接地导体图案340d同样的形状形成。因此，与中继基板718相关联地出于上述的理由，能抑制从信号导体图案330c向330d的经由从连接部范围550c产生的泄漏微波的串扰。
[0206]
另外，在中继基板1318的连接部范围450d中，与图4所示的第一实施方式的中继基板118同样，在连接部范围450d的范围中，夹着信号导体图案330d的接地导体图案1340d与340e通过与信号导体图案330d相对的各自的边缘和与该边缘分别相对的信号导体图案330d的边缘的间隔(图示的g41及g42)彼此不同而关于信号导体图案330d成为不对称的形状。此外，在中继基板1318的连接部范围450d中，与图10所示的第六变形例的中继基板1018同样，仅接地导体图案1340d通过两个导通孔1062与背面接地导体连接，在接地导体图案340e未设置这样的导通孔。因此，在中继基板1318中，与图5、图10所示的第二变形例及第六变形例的中继基板518及1018相关联地出于上述的理由，能抑制从信号导体图案330d向330c的经由从连接部范围450d产生的泄漏微波的串扰。
[0207]
其结果是，在使用中继基板1318的情况下，作为光调制器100也能实现良好的光调制特性。
[0208]
需要说明的是，构成一个中继基板时的中继基板118、518、618、718、818、918、1018、1118、1218的特征结构的组合方式及重叠的方式并不局限于上述的中继基板1318的结构。上述的特征结构与上述中继基板相关联地基于上述的串扰的抑制原理，遵照抑制相邻的信号导体图案间的泄漏微波及/或经由基板泄漏微波的串扰的目的能够以任意的形态组合及/或重叠。
[0209]
[第二实施方式]
[0210]
接下来，说明本发明的第二实施方式。本实施方式是搭载有第一实施方式的光调制器100以及其变形例的使用了中继基板518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318的光调制器100中的任一光调制器的光发送装置。
[0211]
图14是表示本实施方式的光发送装置的结构的图。该光发送装置2100具有光调制器2102、使光向光调制器2102入射的光源2104、调制信号生成部2106、调制数据生成部
2108。
[0212]
光调制器2102可以设为上述的第一实施方式的光调制器100以及其变形例的使用了中继基板518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318的光调制器100中的任一光调制器。在此，为了避免冗长的记载并使理解容易，以下，光调制器2102设为第一实施方式的光调制器100。
[0213]
调制数据生成部2108接收从外部提供的发送数据，生成用于发送该发送数据的调制数据(例如，将发送数据转换或加工成规定的数据制式的数据)，并将该生成的调制数据向调制信号生成部2106输出。
[0214]
调制信号生成部2106是输出用于使光调制器2102进行调制动作的电信号的电子电路(驱动电路)，基于调制数据生成部2108输出的调制数据，生成用于使光调制器2102进行遵照该调制数据的光调制动作的高频信号即调制信号，向光调制器2102输入。该调制信号由与光调制器2102具备的光调制元件102的四个信号电极112a、112b、112c、112d对应的四个高频电信号组成。在此，向信号电极112a、112b输入的高频电信号成为一对，调制从光调制元件102的一方的输出光波导126a输出的输出光。而且，向信号电极112c、112d输入的高频电信号成为另一对，调制从光调制元件102的另一方的输出光波导126b输出的输出光。
[0215]
该四个高频电信号从光调制器2102的电连接器116a、116b、116c、116d各自的信号输入端子124a、124b、124c、124d向中继基板118的信号导体图案330a、330b、330c、330d输入，经由这些信号导体图案330a等，向光调制元件102的信号电极112a、112b、112c、112d输入。
[0216]
由此，从光源2104输出的光由光调制器2102进行例如dp-qpsk调制，成为调制光从光发送装置2100输出。
[0217]
特别是在光发送装置2100中，作为光调制器2102，使用第一实施方式的光调制器100以及其变形例的使用了中继基板518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318的光调制器100中的任一光调制器。因此，在光发送装置2100中，能够有效地降低以上述的空间泄漏微波为起因的对光调制元件102进行驱动的高频电信号间的串扰增加，特别是将成对的两个高频电信号传播的信号线路间的经由空间泄漏微波的串扰。因此，在光发送装置2100中，能够确保稳定且良好的光调制特性，实现稳定且良好的传送特性。
[0218]
需要说明的是，本发明并不局限于上述实施方式及其变形例的结构，在不脱离其主旨的范围内能够以各种形态实施。
[0219]
例如，上述的中继基板118、518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318是关于至少一个信号导体图案330而夹着该信号导体图案的两个接地导体图案在对应的连接部范围中形成为不对称的结构的一例，并不局限于此。夹着该信号导体图案的两个接地导体图案只要在对应的连接部范围中形成为不对称即可，可以以任意的形状形成，及/或可以将任意的导通孔以任意的个数配置在任意的位置。
[0220]
在该情况下，在至少一个信号导体图案330与相邻的信号导体图案330一起对成为一对的两个高频信号分别进行传播的情况下，夹着上述至少一个信号导体图案330的两个接地导体图案优选形成为从对应的连接部范围产生的泄漏微波中朝向上述相邻的信号导体图案330的方向的强度降低。具体而言，可以使夹着上述至少一个信号导体图案330的两个接地导体图案中的距上述相邻的信号导体图案330远的一侧的接地导体图案的对于接地
线构成要素的阻抗增加，或者扩大上述至少一个信号导体图案与上述远的一侧的接地导体图案之间的距离，而减少该远的一侧的高频信号的闭入强度。上述阻抗的增加及闭入强度的减少用的更具体的结构根据上述的中继基板118、518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318的特征结构而明确可知。
[0221]
另外，在上述的中继基板118、518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318中，信号导体图案330设为该信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a等的内部与外部不变化，但是并不局限于此。信号导体图案330可以使该信号导体图案330的特性阻抗在连接部范围450a等的内部与外部变化。即使在这样构成的情况下，只要夹着该信号导体图案的相邻的两个接地导体图案在对应的连接部范围中构成为不对称即可，与上述的接地导体图案形成为对称的情况相比，能够降低从上述连接部范围产生的泄漏微波的向特定的方向的传播强度。
[0222]
另外，在上述的中继基板118、518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318中，在两个相邻的信号导体图案330之间形成一个接地导体图案，但是并不局限于此。两个相邻的信号导体图案330之间夹着的接地导体图案可以分割成两个地形成。例如，在图5中，信号导体图案330b与330c夹着的接地导体图案540c可以形成作为例如在连接部范围550b与550c之间被分割的两个接地导体图案。
[0223]
另外，在图8、图9所示的第四及第五变形例的中继基板418、518中，在一个接地导体图案设置两个切缺部(例如，在接地导体图案840b设置两个切缺部860a、860b)，但是并不局限于此。例如，切缺部860a和860b可以除去它们之间的中继基板818的部分而形成作为包含切缺部860a及860b的范围的一个切缺部。
[0224]
另外，例如，在上述的中继基板118、518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318中，信号导体图案330以从信号输入边318a朝向信号输出边318b构成为直线状的方式描绘，但是并不局限于此。信号导体图案330可以与现有技术同样地，例如，分别包含曲线部分或宽度不同的部分而分别由不同的形状构成。
[0225]
另外，在上述的实施方式中，关于至少两个信号导体图案330，将它们分别夹着的两个接地导体图案在所对应的连接部范围内的部分，以关于对应的信号导体图案不对称的形状构成，或者构成为对于接地线构成要素的阻抗不同，但是并不局限于此。
[0226]
在以形成于中继基板118等的信号导体图案330各自的形状、光调制元件102的特性等为起因而仅降低从一个特定的信号导体图案产生的泄漏微波就足够的情况下，可以仅对于该特定的信号导体图案，在对应的连接部范围内的部分，关于对应的信号导体图案由不对称的形状构成，或者对于接地线构成要素的阻抗不同。
[0227]
另外，在上述的第六变形例、第七变形例、第八变形例的中继基板1018、1118、1218中，夹着信号导体图案的接地导体图案通过使设置在对应的连接部范围内的部分的导通孔的个数或导通孔的直径不同而使该部分的对于接地线构成要素的阻抗不同，但是并不局限于此。
[0228]
夹着信号导体图案的接地导体图案只要对应的连接部范围内的部分的对于接地线构成要素的阻抗不同即可，可以是以任意的不同的形态设置导通孔。例如，夹着信号导体图案的接地导体图案可以构成为在对应的连接部范围内的部分设置的导通孔的密度不同。在此，导通孔的密度可以由每单位面积设置的导通孔的个数或者每单位面积设置的导通孔
的面积表示。这是因为，该导通孔的个数或导通孔的面积越大，则与作为接地线构成要素的背面接地导体的阻抗降低。
[0229]
另外，在上述的实施方式中，光调制元件102是使用ln基板构成的dp-qpsk调制器，但是并不局限于此。例如，光调制元件102可以是使用半导体基板构成的任意的光调制元件。
[0230]
如以上说明所述，上述的实施方式的光调制器100具备：光调制元件102，具备多个信号电极112；及多个信号输入端子124，输入向每个信号电极112施加的电信号。而且，光调制器100具备：中继基板518，形成有多个信号导体图案330及多个接地导体图案340等，该信号导体图案330将信号输入端子124与信号电极112电连接；及壳体104，收容光调制元件102和中继基板118。并且，在光调制器100中，例如在中继基板118及518的说明中示出一例那样，关于至少一个信号导体图案、例如信号导体图案330b，在包含该信号导体图案330b与信号输入端子124b相连接的信号连接部分在内的连接部范围550b中，在中继基板518上夹着该信号导体图案330b的两个接地导体图案340b、540c的俯视图形状形成为关于信号导体图案330b相互不对称。在此，连接部范围550b是如下的俯视图为矩形的范围：以作为上述至少一个信号导体图案的信号导体图案330b为中心，具有与至最近的相邻的信号导体图案为止的距离(例如，至信号导体图案330a为止的距离p1)相等的宽度w22，且具有与从信号输入边318a至上述信号连接部分的远端为止的距离相等的高度d22，该信号输入边318a是中继基板518的边中的上述至少一个信号导体图案330b与信号输入端子124b连接一侧的边。
[0231]
根据该结构，例如，能够使从连接部范围550b产生而在空间中传播的空间泄漏微波的传播方向偏斜，抑制从信号导体图案330b向至少一方的相邻的信号导体图案(例如，信号导体图案330a)的串扰，实现良好的光调制特性。
[0232]
另外，如在中继基板118、518中示出一例那样，光调制器100可以构成为，例如在连接部范围450a中，夹着信号导体图案330a的两个接地导体图案340a、340b的从与信号导体图案330a相对的各自的边缘至该信号导体图案330a的相对的边缘为止的距离g11、g12彼此不同。
[0233]
根据该结构，不用扩大中继基板118等的尺寸，例如使从连接部范围450a产生而在空间中传播的空间泄漏微波的传播方向偏斜，能够抑制从信号导体图案330a向相邻的信号导体图案330b的串扰，实现良好的光调制特性。
[0234]
另外，如在中继基板618中示出一例那样，光调制器100可以构成为，例如夹着信号导体图案330a的两个接地导体图案640a、340b的形成于连接部范围450a的部分的在与信号导体图案330a的延伸方向正交的方向上测得的宽度wg11、wg12彼此不同。
[0235]
根据该结构，不用扩大中继基板618的尺寸，例如使从连接部范围450a产生而在空间中传播的空间泄漏微波的传播方向偏斜，能够抑制从信号导体图案330a向相邻的信号导体图案330b的串扰，实现良好的光调制特性。
[0236]
另外，如在中继基板718中示出一例那样，光调制器100可以构成为，例如夹着信号导体图案330a的两个接地导体图案740a、340b中的一方，例如接地导体图案740a不包含形成在连接部范围450a内的部分。
[0237]
根据该结构，不用扩大中继基板718的尺寸，例如使从连接部范围450a产生而在空间中传播的空间泄漏微波的传播方向偏斜，能够抑制从信号导体图案330a向相邻的信号导
体图案330b的串扰，实现良好的光调制特性。
[0238]
另外，如在中继基板818中示出一例那样，光调制器100可以构成为，例如在连接部范围450a中形成有夹着信号导体图案330a的两个接地导体图案840a、840b中的一方的部分设置有切缺部860a，该切缺部860a从信号输入边318a延伸，并贯通中继基板818的厚度方向。
[0239]
根据该结构，能够阻止例如从连接部范围450a产生而在中继基板818内传播的基板泄漏微波的传播，抑制从信号导体图案330a向相邻的信号导体图案330b的串扰，实现良好的光调制特性。
[0240]
另外，光调制器100如通过中继基板1018、1118、1218等示出一例那样，例如夹着信号导体图案330a的接地导体图案1040a、1040b等在连接部范围450a内的部分，使与设置于中继基板1018等的背面上的背面接地导体连接的导通孔的有无、或者导通孔的个数或密度彼此不同。
[0241]
根据该结构，信号导体图案300的特性阻抗通过在夹着该信号导体图案300的接地导体图案1040等设置导通孔而几乎不变化，因此连接部范围450a等的接地导体图案1040的图案设计变得容易。即，不伴有设计的复杂化而能够抑制经由空间漏微波的相邻的信号导体图案330间的串扰，实现良好的光调制特性。
[0242]
另外，光调制器100可以使用以生成分别通过一对电信号调制的两束调制光的方式构成的进行例如dp-qpsk调制的光调制元件102，中继基板118等通过相邻的一对信号导体图案，例如信号导体图案330a、330b来传播上述一对电信号。
[0243]
根据该结构，能够有效地降低通过相邻的信号导体图案300传播的、成对的两个高频电信号间的串扰，实现良好的光调制特性。
[0244]
另外，上述的第二实施方式的光发送装置具备使用了第一实施方式或其变形例所示的任一中继基板的光调制器100、输出用于使该光调制器100进行调制动作的电信号的作为电子电路的调制信号生成部2106等。根据该结构，能够抑制例如伴随着传送率的高速化而变得显著的泄漏微波的传播，有效地降低对光调制元件102进行驱动的多个高频电信号间的串扰等，实现稳定且良好的传送特性。
[0245]
标号说明
[0246]
100、2102、2200
…
光调制器，102、2202
…
光调制元件，104、1604、2204
…
壳体，108、2208
…
输入光纤，110、2210
…
输出光纤，112、112a、112b、112c、112d、2212、2212a、2212b、2212c、2212d
…
信号电极，114a、2214a
…
外壳，114b、2214b
…
罩，116、116a、116b、116c、116d、2216、2216a、2216b、2216c、2216d
…
电连接器，118、518、618、718、818、918、1018、1118、1218、1318、2218
…
中继基板，120、2220
…
终端器，122、122a、122b、122c、122d、122e、2222a、2222b、2222c、2222d、2222e
…
接地电极，124、124a、124b、124c、124d、2224、2224a、2224b、2224c、2224d
…
信号输入端子，126a、126b
…
输出光波导，318a
…
信号输入边，318b
…
信号输出边，318c、318d
…
侧缘，326
…
导体引线，330、330a、330b、330c、330d、2230、2230a、2230b、2230c、2230d
…
信号导体图案，340、340a、340b、340c、340d、340e、540c、640a、640c、640e、740a、740c、740e、840a、840b、840c、840d、840e、1040a、1040b、1040c、1040d、1040e、1140a、1140c、1140e、1240a、1240c、1240e、1340c、1340d、2240a、2240b、2240c、2240d、2240e
…
接地导体图案，450a、550b、550c、450d
…
连接部范围，860a、860b、860c、860d
…
切缺
部，1062、1162
…
导通孔，2100
…
光发送装置，2104
…
光源，2106
…
调制信号生成部，2108
…
调制数据生成部，2290
…
球面波。