一种金属化薄膜真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机领域，具体为一种金属化薄膜真空镀膜机。


背景技术：

2.在真空镀膜机中，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，在金属化薄膜用的真空镀膜机中，镀膜室中使用铝丝或锡丝在蒸发坩埚中蒸镀，镀膜室中残留部分未蒸镀到薄膜上的铝蒸气或锡蒸气，该部分铝蒸气或锡蒸气预冷形成金属粉尘，金属粉尘在负压的作用下被真空泵抽走，该金属粉尘不但影响真空泵正常作业，严重时甚至会损坏真空泵，为此，我们提出一种用于金属化薄膜真空镀膜机环保结构。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种金属化薄膜真空镀膜机，解决了以上背景技术中提到的问题。
5.(二)技术方案
6.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种金属化薄膜真空镀膜机，包括机体本体，所述机体本体一侧设置有集尘箱，所述集尘箱顶部设置有抽水泵，所述集尘箱内底部设置有集水槽，所述集水槽上设置有与所述抽水泵的进水口连通的导管，所述集尘箱内顶部设置有排水管，所述排水管底部均匀连通有喷水头，所述集尘箱内位于所述集水槽上方设置有过滤装置，所述过滤装置滑动卡接在滚轮上，所述滚轮转动连接在支杆上，所述支杆固定在所述集尘箱内部两侧。
7.优选的，所述机体本体与所述集尘箱之间通过横管连通。
8.优选的，所述过滤装置包括过滤板、凹槽和吸尘垫，所述凹槽设置在所述过滤板底部两侧，所述滚轮滑动卡接在所述凹槽内，所述过滤板上固定设置有把手。
9.优选的，所述集尘箱上转动设置有密封门，所述密封门与所述集尘箱上部转动连接。
10.优选的，所述集尘箱底部设置有与所述集水槽连通的排水阀门。
11.优选的，所述抽水泵的出水口与所述排水管通过管道连通。
12.优选的，所述导管底部位于所述集水槽内设置有过滤头。
13.工作原理：通过真空泵使机体内处于真空状态，同时金属粉尘被洗出，通过横管进入集尘箱内，开启抽水泵，经过喷水头喷淋避免金属粉尘飞溅，使得金属粉尘被打湿落入过滤装置，工作结束，打开密封门，抽出过滤装置，清理吸尘垫上的金属粉尘，打开排水阀门，排空集水槽。
14.(三)有益效果
15.本实用新型提供了一种金属化薄膜真空镀膜机。具备以下有益效果：
16.1、该金属化薄膜真空镀膜机，通过设置集尘箱，集尘箱内设置抽水泵、排水管和喷水头，对金属粉尘进行液化，经过打湿的金属粉尘落入过滤装置进行过滤，再落至集水槽中，其集水槽通过导管与抽水泵连通，使得水能够被循环使用，节能环保。
17.2、该金属化薄膜真空镀膜机，其过滤装置滑动连接在集尘箱内设置的滚轮上，通过拉动把手，方便对过滤装置进行取出清理，方便实用。
附图说明
18.图1为本实用新型一种金属化薄膜真空镀膜机的剖视结构示意图；
19.图2为本实用新型一种金属化薄膜真空镀膜机的过滤装置结构示意图；
20.图3为本实用新型一种金属化薄膜真空镀膜机的集尘箱结构示意图。
21.其中，1、机体本体；2、集尘箱；3、横管；4、抽水泵；5、集水槽；6、导管；7、排水管；8、喷水头；9、过滤装置；901、过滤板；902、凹槽；10、滚轮；11、支杆；12、把手；13、吸尘垫；14、过滤头；15、密封门；16、排水阀门。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.如图1-3所示，本实用新型实施例提供一种金属化薄膜真空镀膜机，包括机体本体1，机体本体1一侧设置有集尘箱2，集尘箱2顶部设置有抽水泵4，集尘箱2内底部设置有集水槽5，集水槽5上设置有与抽水泵4的进水口连通的导管6，集尘箱2内顶部设置有排水管7，排水管7底部均匀连通有喷水头8，集尘箱2内位于集水槽5上方设置有过滤装置9，过滤装置9滑动卡接在滚轮10上，滚轮10转动连接在支杆11上，支杆11固定在集尘箱2内部两侧。本实用新型集尘箱2内设置抽水泵4、排水管7和喷水头8，对金属粉尘进行液化，经过打湿的金属粉尘落入过滤装置9进行过滤，再落至集水槽5中，其集水槽5通过导管6与抽水泵4连通，使得水能够被循环使用，节能环保。
24.根据本实用新型的上述方案，机体本体1与集尘箱2之间通过横管3连通。
25.根据本实用新型的上述方案，过滤装置9包括过滤板901、凹槽902和吸尘垫13，凹槽902设置在过滤板901底部两侧，滚轮10滑动卡接在凹槽902内，过滤板901上固定设置有把手12，其过滤装置9滑动连接在集尘箱2内设置的滚轮10上，通过拉动把手12，方便对过滤装置9进行取出清理，方便实用。
26.根据本实用新型的上述方案，集尘箱2上转动设置有密封门15，密封门15与集尘箱2上部转动连接。
27.根据本实用新型的上述方案，集尘箱2底部设置有与集水槽5连通的排水阀门16。
28.根据本实用新型的上述方案，抽水泵4的出水口与排水管7通过管道连通。
29.根据本实用新型的上述方案，导管6底部位于集水槽5内设置有过滤头14。
30.使用时，通过真空泵使机体1内处于真空状态，同时金属粉尘被洗出，通过横管3进
入集尘箱2内，开启抽水泵4，经过喷水头8喷淋避免金属粉尘飞溅，使得金属粉尘被打湿落入过滤装置9，工作结束，打开密封门15，抽出过滤装置9，清理吸尘垫13上的金属粉尘，打开排水阀门16，排空集水槽5。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种金属化薄膜真空镀膜机，包括机体本体(1)，其特征在于：所述机体本体(1)一侧设置有集尘箱(2)，所述集尘箱(2)顶部设置有抽水泵(4)，所述集尘箱(2)内底部设置有集水槽(5)，所述集水槽(5)上设置有与所述抽水泵(4)的进水口连通的导管(6)，所述集尘箱(2)内顶部设置有排水管(7)，所述排水管(7)底部均匀连通有喷水头(8)，所述集尘箱(2)内位于所述集水槽(5)上方设置有过滤装置(9)，所述过滤装置(9)滑动卡接在滚轮(10)上，所述滚轮(10)转动连接在支杆(11)上，所述支杆(11)固定在所述集尘箱(2)内部两侧。2.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜真空镀膜机，其特征在于，所述机体本体(1)与所述集尘箱(2)之间通过横管(3)连通。3.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜真空镀膜机，其特征在于，所述过滤装置(9)包括过滤板(901)、凹槽(902)和吸尘垫(13)，所述凹槽(902)设置在所述过滤板(901)底部两侧，所述滚轮(10)滑动卡接在所述凹槽(902)内，所述过滤板(901)上固定设置有把手(12)。4.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜真空镀膜机，其特征在于，所述集尘箱(2)上转动设置有密封门(15)，所述密封门(15)与所述集尘箱(2)上部转动连接。5.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜真空镀膜机，其特征在于，所述集尘箱(2)底部设置有与所述集水槽(5)连通的排水阀门(16)。6.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜真空镀膜机，其特征在于，所述抽水泵(4)的出水口与所述排水管(7)通过管道连通。7.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜真空镀膜机，其特征在于，所述导管(6)底部位于所述集水槽(5)内设置有过滤头(14)。

技术总结
本实用新型提供一种金属化薄膜真空镀膜机，包括机体本体，所述机体本体一侧设置有集尘箱，所述集尘箱顶部设置有抽水泵，所述集尘箱内底部设置有集水槽，所述集水槽上设置有与所述抽水泵的进水口连通的导管，所述集尘箱内顶部设置有排水管，所述排水管底部均匀连通有喷水头，所述集尘箱内位于所述集水槽上方设置有过滤装置，所述过滤装置滑动卡接在滚轮上，所述滚轮转动连接在支杆上，所述支杆固定在所述集尘箱内部两侧。本实用新型对金属粉尘进行打湿，其集水槽通过导管与抽水泵连通，使得水能够被循环使用，节能环保，其过滤装置滑动连接在集尘箱内设置的滚轮上，通过拉动把手，方便对过滤装置进行取出清理，方便实用。方便实用。方便实用。


技术研发人员：杨建栋 李腾 赖文杰
受保护的技术使用者：华汉科技有限公司
技术研发日：2021.07.06
技术公布日：2022/1/25