石英舟烘干设备的制作方法

1.本实用新型实施例涉及光伏制造技术领域，特别涉及一种石英舟烘干设备。


背景技术：

2.太阳能电池的原理是将太阳的光能直接转化为电能。在太阳能电池生产过程中，硅片需要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在此过程中，需要有承载硅片的石英舟(石英又名石英玻璃，石英玻璃含有二氧化硅物质，如水晶、硅石)将硅片送入工艺炉(比如扩散炉)中。而石英舟在使用过程中会附上三氯氧磷等强腐蚀性物质，需要定期清洗，同时石英舟清洗完成后，需要干燥后才能再次使用。
3.目前石英舟在清洗完成后，操作人员使用气枪将石英舟表面附着的水分吹走，再放进石英舟柜子中自然晾干。在操作人员用气枪吹走石英舟表面附着的水分时，由于暴露在外部环境中，导致容易污染石英舟。还有一种干燥方法是将石英舟放在柜子中自然晾干，该方法干燥时间长，会影响石英舟的周转效率。


技术实现要素：

4.本实用新型实施方式的目的在于提供一种石英舟烘干设备，能够避免石英舟在烘干时被污染，同时能够提高石英舟的周转效率。
5.为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种石英舟烘干设备，包括：
6.柜体，设置有用于存放石英舟的多个腔室，每个所述腔室有至少一个进气口和至少一个出气口；
7.送风装置，分别与多个所述进气口和多个所述出气口连通，以使气流依次经过所述进气口、所述腔室和所述出气口，所述进气口位于所述送风装置的出气侧，所述出气口位于所述送风装置的进气侧；
8.第一过滤装置，设置在所述送风装置的出气侧与所述进气口之间。
9.本实用新型实施方式提供的石英舟烘干设备，在柜体上设置多个腔室，且每个腔室有至少一个进气口和至少一个出气口，这样，每个单独的腔室均有独立的进气口和出气口，将待烘干的石英舟放入柜体的各个腔室后，可以隔绝每个腔室内存放的石英舟与柜体外部环境，而第一过滤装置则可以对送风装置输入的气流进行过滤，避免气流中的污染物由柜体的进气口进入腔室，从而避免石英舟在烘干过程中被污染；同时，开启送风装置，气流可以在送风装置的作用下依次经过柜体的进气口、腔室和出气口，对存放在每个腔室内的石英舟起到吹干效果，相比于将石英舟放在柜子中自然晾干，通过气流吹干石英舟，能够缩短石英舟的干燥时间，从而提高石英舟的周转效率。
10.另外，所述柜体包括多个外壁、多个隔板和多个盖板，所述多个外壁围设在一起、形成具有第一开口的内腔，每个所述隔板相互间隔设置在所述内腔中、并将所述内腔分隔成多个具有第二开口的所述腔室，每个所述盖板与其中一个所述外壁或者其中一个所述隔板连接以封闭或开启所述第二开口；所述多个外壁、多个隔板和多个盖板中的至少一个采
用耐腐蚀性材料制成。这样，可以通过多个隔板将多个外壁形成的内腔分隔成多个单独的腔室，并且可以通过盖板封闭或者开启腔室的第二开口；同时多个外壁、多个隔板和多个盖板中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成，可以防止柜体的部分结构由于石英舟带来的腐蚀性物质而出现腐蚀。
11.另外，所述盖板上设置有至少一个用于观察所述腔室的透明件。这样，可以方便操作人员随时透过盖板上的透明件观察腔室内存放的石英舟的干燥程度。
12.另外，该石英舟烘干设备还包括第二过滤装置，所述第二过滤装置设置在所述出气口与所述送风装置的进气侧之间。第二过滤装置的设置可以对流出柜体的出气口的气流进行过滤。
13.另外，所述第一过滤装置、所述第二过滤装置均设置有箱体，以及设置在各自的所述箱体内的第一过滤层、第二过滤层和干燥层，所述第一过滤装置的所述箱体包括与所述送风装置连通的第一气口，以及与所述进气口对应连通的第二气口，所述第二过滤装置的所述箱体包括与所述出气口对应连通的第三气口，以及与所述送风装置连通的第四气口；所述第一过滤装置、所述第二过滤装置的所述箱体中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成。
14.另外，所述第一过滤层材质为无纺布，所述第二过滤层材质为活性炭，所述干燥层材质为硅胶。
15.另外，所述第一过滤层、第二过滤层、干燥层中的至少一层为可拆卸地设置在所述第一过滤装置的所述箱体内。这样，可以定期对第一过滤装置的箱体内的过滤层或者干燥层进行更换。
16.另外，所述第二过滤装置还包括设置在所述箱体内的耐腐蚀过滤层，所述第一过滤层、第二过滤层、干燥层和耐腐蚀过滤层中的至少一层为可拆卸地设置在所述第二过滤装置的所述箱体内。这样，可以通过采用耐腐蚀过滤层提高过滤层的耐腐蚀性能，同时可以定期对第二过滤装置的箱体内的过滤层或者干燥层进行更换。
17.另外，还包括多个进气管和多个出气管，所述进气管连通所述进气口与所述第二气口，所述出气管连通其所述出气口与所述第三气口，所述多个进气管和所述多个出气管中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成。这样，可以通过多个进气管和多个出气管将第一过滤装置、第二过滤装置连通进柜体所在气流回路。
18.另外，所述耐腐蚀性材料为特氟龙。
附图说明
19.一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
20.图1是根据本实用新型实施例提供的石英舟烘干设备的结构示意图；
21.图2是图1所示石英舟烘干设备的气流流动方向示意框图；
22.图3是图1所示控制柜的结构示意图；
23.图4是现有技术中石英舟的主视结构示意图；
24.图5是图1所示柜体的结构示意图；
25.图6是图1所示柜体在另一视角下的结构示意图；
26.图7是图6所示柜体中多个外壁围设形成具有第一开口的内腔的结构示意图；
27.图8是图7所示多个外壁围设形成的内腔中设置有隔板时的结构示意图；
28.图9是图1所示第一过滤装置的剖面结构示意图；
29.图10是图1所示第二过滤装置的剖面结构示意图。
具体实施方式
30.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本实用新型各实施方式中，为了使读者更好地理解本技术而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本技术所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本实用新型的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合相互引用。
31.图1示出了本实用新型实施例提供的石英舟烘干设备的结构，该石英舟烘干设备用于烘干清洗后的石英舟900，图2示出了该石英舟烘干设备的气流流动方向。如图1和图2所示，本实用新型实施例提供的烘干设备包括柜体100、送风装置200和第一过滤装置300。其中，柜体100设置有用于存放待烘干的石英舟900的多个腔室101(图8所示)，每个腔室101有至少一个进气口102(图5所示)和至少一个出气口103(图6所示)；送风装置200分别与多个进气口102和多个出气口103连通，以使气流依次经过进气口102、腔室101和出气口103，进气口102位于送风装置200的出气侧201，出气口103位于送风装置200的进气侧202；第一过滤装置300设置在送风装置200的出气侧201与进气口102之间。
32.本实用新型实施例提供的石英舟烘干设备，在柜体100上设置多个腔室101，且每个腔室101有至少一个进气口102和至少一个出气口103，这样，每个单独的腔室101均有独立的进气口102和出气口103，将待烘干的石英舟900放入柜体100的各个腔室101后，可以隔绝每个腔室101内存放的石英舟900与柜体100外部环境，而第一过滤装置300则可以对送风装置200输入的气流进行过滤，避免气流中的污染物由柜体100的进气口102进入腔室101，从而避免石英舟900在烘干过程中被污染；同时，开启送风装置200，气流可以在送风装置200的作用下依次经过柜体100的进气口102、腔室101和出气口103，对存放在每个腔室101内的石英舟900起到吹干效果，相比于将石英舟900放在柜子中自然晾干，通过气流吹干石英舟900，能够缩短石英舟900的干燥时间，从而提高石英舟900的周转效率。
33.另外，此处的送风装置200为现有技术，例如在实际使用中经常出现的用于提供烘干气流的热风烘干机，或者热风循环烘干机。此处可以使用热风循环烘干机作为送风装置200，热风循环烘干机可以压缩空气形成气流并对压缩的空气进行加热，气流依次经过柜体100的进气口102、腔室101和出气口103，对腔室101内存放的石英舟900进行吹干，带走石英舟900表面的水分，并且气流在由送风装置200和柜体100组成的气流环路中循环流动，以降低石英舟烘干设备的能量损耗。而为了对热风循环烘干机进行保护，如图1所示，还可以设置控制柜800负责控制热风循环烘干机的启停，该控制柜800的结构可以参阅图3，控制柜800包括温控器801，温控器801可以控制热风循环烘干机的加热温度，从而控制气流的温度，当气流的温度达到设定值时，自动关闭热风循环烘干机的加热功能，以起到保护作用。控制柜800还包括启动按钮802和停止按钮803，启动按钮802和停止按钮803分别用于控制
热风循环烘干机的启动和停止。控制柜800还包括切换按钮804，用于实现手动控制和自动控制的切换。另外，控制柜800还包括启动指示灯805、运行指示灯806、停止指示灯807和报警器808，可以通过各类指示灯以及报警器808保障热风循环烘干机的正常运行。控制柜800还包括可以实时显示电压的电压表809和实时显示电流的电流表810。
34.而石英舟900作为在电池片生产时用于承载硅片的部件，其形状较为狭长，图4示出了现有技术中石英舟900的主视结构，该石英舟900的长宽高分别为1.6米，0.2米，0.14米，石英舟900两侧为端板，两侧的端板之间设置有侧支撑杆和底支撑杆，底支撑杆用于拖住承载的硅片，而侧支撑杆则用于沿石英舟900的宽度方向卡住承载的硅片。为了适应石英舟900的存放，柜体100的每个腔室101也可以采用狭长型的形式，并可以将每个腔室101的进气口102和出气口103设置在每个腔室101位于长度方向上的两个端部。这样，气流在由进气口102进入腔室101后，沿石英舟900的长度方向吹过石英舟900后，经由出气口103流出，相比于沿石英舟900的宽度方向吹过，能够在不增加进气口102的情况下，缩短石英舟900的干燥速率。
35.为了每个腔室101可以至少放置1个石英舟900，设置每个腔室101的长宽高分别为1.7～2米、0.3～0.8米、0.2～0.4米，柜体100的长宽高分别为1.9～2.1米，0.4～0.9米，1～1.8米。例如在一种具体的实施方式中，每个腔室101的长宽高分别为1.8米，0.5米，0.3米，从而每个腔室可以放置1或2个石英舟900。而柜体100的长宽高则分别为2米，0.6米，1.6米。
36.而柜体100的设置形式，可以采用隔板分隔式结构，即在一个箱体式结构的内部设置隔板，对箱体式结构的内部进行隔断而形成多个单独的腔室101；或者采用箱体拼接式结构，即将多个箱体式结构拼接在一起而形成多个单独的腔室101。在一种可能的实施方式中，如图5和图6所示，柜体100可以包括多个外壁110、多个隔板120和多个盖板130，继续参阅图7和图8，多个外壁110围设在一起形成具有第一开口111的内腔112，每个隔板120相互间隔设置在内腔112中、并将内腔112分隔成多个具有第二开口104的腔室101，每个盖板130与其中一个外壁110或者其中一个隔板120连接以封闭或开启第二开口104。这样，由多个外壁110围设形成具有第一开口111的内腔112，通过多个隔板120可以在内腔112中进行隔断，而形成多个具有第二开口104的腔室101。此处的多个外壁110和多个隔板120可以采用焊接形成一个整体，以保证柜体100的强度以及密封性能。
37.每个盖板130与其中一个外壁110或者其中一个隔板120可以采用铰链进行连接，每个盖板130相对于腔室101的第二开口104可以打开或者关闭。当打开盖板130时，腔室101的第二开口104敞开，可以将待烘干的石英舟900放入柜体100的腔室101中；当关闭盖板130时，腔室101的第二开口104封闭，腔室101内的石英舟900与柜体100外部环境隔绝，且与其他腔室101隔绝，避免了交叉污染，此时可以开启送风装置200对腔室101内的石英舟900进行烘干。
38.而为了方便操作人员观察每个单独腔室101内的石英舟900状况，可以在盖板130上设置至少一个用于观察腔室101的透明件140，此处的透明件140可以为透明玻璃板或者透明塑料板。在对石英舟900进行烘干的过程中，操作人员可以透过盖板130上的透明件140观察石英舟900的表面情况，判断腔室101内存放的石英舟900是否已完成烘干过程，以便操作人员及时取出石英舟900进行周转使用。
39.需要说明的是，此处盖板130的数量也可以为一个，将一个盖板130通过铰链连接
在其中一个外壁110上，当打开这个盖板130时，所有腔室101的第二开口104均敞开，而当关闭这个盖板130时，所有腔室101的第二开口104均封闭。在一种具体的实施方式中，如图5和图6所示，柜体100呈长方体形状，且柜体100的腔室101有四个，此时柜体100的外壁110有五个，柜体100的隔板120有三个，柜体100的盖板130有两个，两个盖板130呈对开形式，每个腔室101有一个进气口102和一个出气口103，柜体100的其中一个外壁110(图5所示左边竖直外壁110)共开设有四个进气口102，柜体100的另外一个外壁110(图6所示右边竖直外壁110)共开设有四个出气口103。
40.另外，由于石英舟900在清洗后依然存在不定量的腐蚀性物质，石英舟900在烘干过程中，这些残留的腐蚀性物质容易堆积在柜体100的部分结构上，造成柜体100部分结构的腐蚀。为了防止出现柜体100部分结构的腐蚀，可以将多个外壁110、多个隔板120和多个盖板130中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成，例如盖板130作为存放石英舟900的结构，与石英舟900直接接触，出现腐蚀性物质堆积的概率较大，因此在一些可能的实施方式中，可以将经常使用的一个或多个盖板130采用耐腐蚀性材料制成。而外壁110和盖板130虽然不会与石英舟900直接接触，但是也会在气流的作用下，出现腐蚀性物质的堆积，这同样会造成外壁110部分或者盖板130部分出现腐蚀，因此也可以将外壁110部分或者盖板130部分采用耐腐蚀性材料制成。
41.在一种具体的实施方式中，柜体100的多个外壁110、多个隔板120和多个盖板130均可以采用耐腐蚀性材料制成，这样，可以在对石英舟900进行烘干的过程中，对整个柜体100起到全面有效的保护，以防止柜体100上的某些部位处的结构出现腐蚀。
42.由于石英舟900上残留的腐蚀性物质不仅会在气流的带动下，到达柜体100的其他部位，还会在气流的流动过程中，随着气流从柜体100的出气口103流出，而这些从柜体100的出气口103流出的腐蚀性物质如果不进行过滤，会随着气流的流动，最后到达送风装置200，同样会造成送风装置200内部叶片等结构的腐蚀，影响送风装置200的使用寿命。因此，在一种具体的实施方式中，该石英舟烘干设备还可以包括第二过滤装置400，第二过滤装置400设置在出气口103与送风装置200的进气侧202之间，这样，可以通过第二过滤装置400对流出柜体100的出气口103的气流进行过滤，防止混杂在气流中的腐蚀性物质进入送风装置200而影响送风装置200的使用寿命。
43.其中，在一种可能的实施方式中，如图9和图10所示，第一过滤装置300、第二过滤装置400均可以包括箱体500，以及设置在各自的箱体500内的第一过滤层510、第二过滤层520和干燥层530，第一过滤装置300的箱体500包括与送风装置200连通的第一气口540，以及与柜体100的进气口102对应连通的第二气口550，第二过滤装置400的箱体500包括与柜体100的出气口103对应连通的第三气口560，以及与送风装置200连通的第四气口570。
44.这样，送风装置200输出的气流，由第一过滤装置300的第一气口540进入，经第一过滤装置300过滤后，由第一过滤装置300的第二气口550流出，而后由柜体100的进气口102进入柜体100的腔室101，再由柜体100的出气口103流出，进入第二过滤装置400的第三气口560，经第二过滤装置400过滤后，由第二过滤装置400的第四气口570流回送风装置200，完成一次循环。此处第一过滤装置300的第一气口540的数量，以及第二过滤装置400的第四气口570的数量依据送风装置200的数量而定，例如在送风装置200的数量为两个时，第一过滤装置300的第一气口540的数量，以及第二过滤装置400的第四气口570的数量均为两个。而
第一过滤装置300的第二气口550的数量、第二过滤装置400的第三气口560的数量则分别依据柜体100的进气口102的数量、出气口103的数量而定，例如在柜体100的进气口102的数量为四个时，第一过滤装置300的第二气口550的数量也为四个，在柜体100的出气口103的数量为四个时，第二过滤装置400的第三气口560的数量也为四个。
45.同时，第一过滤装置300、第二过滤装置400的箱体500中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成，同样是为了防止在气流回路中的腐蚀性物质对第一过滤装置300或者第二过滤装置400的箱体500造成腐蚀。
46.另外，第二过滤装置400由于设置在柜体100的出气口103与送风装置200的进气侧202之间，到达第二过滤装置400的气流会携带一部分腐蚀性物质，第二过滤装置400还可以包括设置在箱体500内的耐腐蚀过滤层580，该耐腐蚀过滤层580为涂覆有耐腐蚀性材料的过滤层，或者在过滤层上叠设耐腐性材料支撑的基层，以支撑固定过滤层，通过在过滤层中加入耐腐蚀性材料，可以提高过滤层的耐腐蚀性能。此处耐腐蚀过滤层580可以将无机矿物或者聚四氟乙烯涂覆在织物纤维表面，再由织物纤维编织成过滤布以形成具有耐腐蚀性的过滤层，由于耐腐蚀过滤层580只需将耐腐蚀性材料覆盖在织物纤维表面，因此此处的耐腐蚀性材料可以与柜体100使用的耐腐蚀性材料不同。
47.其中，第一过滤层510、第二过滤层520和干燥层530沿气流的流动方向s依次设置在各自的箱体500内，此处不采用更精密的过滤网，以及更多过滤层，是由于这样会加大气流流动时受到的阻力，影响气流流速，从而影响石英舟900的干燥时间。
48.而为了实现对第一过滤层510、第二过滤层520或者干燥层530的定期更换，将第一过滤层510、第二过滤层520和干燥层530中的至少一层采用抽屉形式安装在各自的箱体500内，即可以在第一过滤装置300、第二过滤装置400使用一段时间后，对各自箱体500内的第一过滤层510、第二过滤层520或者干燥层530进行拆卸并更换新的过滤层。此处的第一过滤层510的材质为无纺布，通过将无纺布进行折叠，形成具有一定厚度的褶皱，从而实现对气流的初步过滤，可以过滤掉气流中混杂的大颗粒粉尘。第二过滤层520的材质为活性炭，通过第二过滤层520对气流进行二次过滤，可以过滤掉气流中混杂的细小灰尘，并去除气流的异味。而干燥层530的材质为硅胶或者氯化钙，可以过滤掉气流中含有的水汽，使得进入柜体100的腔室101内的气流更加干燥，加快石英舟900的干燥速度。而第二过滤装置400的耐腐蚀性过滤层同样可拆卸地设置在箱体500内，以便在使用一段时间后进行更换。
49.另外，第一过滤装置300、第二过滤装置400在柜体100所在气流回路中的连通，可以采用直连形式，即将第一过滤装置300、第二过滤装置400的各个气口直接与气流回路中对应的进风口或者出风口进行连通，也可以采用管道形式，即通过管道将第一过滤装置300、第二过滤装置400连通进柜体100所在气流回路。在一种可能的实施方式中，如图1所示，该石英舟烘干设备还可以包括多个进气管600和多个出气管700，进气管600连通柜体100的进气口102与第一过滤装置300的第二气口550，出气管700连通柜体100的出气口103与第二过滤装置400的第三气口560。这样，便通过管道形式将第一过滤装置300、第二过滤装置400连通进柜体100所在气流回路中。同样地，第一过滤装置300的第一气口540，以及第二过滤装置400的第四气口570与送风装置200之间可以采用管道形式进行连通。此处的进气管600、出气管700的数量分别依据柜体100上的进气口102、出气口103的数量而定，例如在柜体100设置有四个进气口102以及四个出气口103时，进气管600和出气管700的数量均
为四个。
50.此处的多个进气管600和多个出气管700中的至少一个可以采用耐腐蚀性材料制成，以对其中的进气管600或者出气管700形成保护作用。
51.另外，本实用新型实施例中提到的耐腐蚀性材料可以为特氟龙(polytetrafluoroethylene，聚四氟乙烯)，当然在其他可能的实施方式中，也可以采用经常用作耐腐蚀性材料的紫铜、钛合金或者不锈钢。
52.另外，本实用新型实施例中提到的采用耐腐蚀性材料可以是耐腐蚀性材料涂层，还可以是整体由耐腐蚀性材料制成，可以有效增强其耐腐蚀性，减少设备更换次数，增长使用寿命。
53.本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。