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石英舟烘干设备的制作方法

2022-02-21 20:00:46 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种石英舟烘干设备,其特征在于,包括:柜体,设置有用于存放石英舟的多个腔室,每个所述腔室有至少一个进气口和至少一个出气口;送风装置,分别与多个所述进气口和多个所述出气口连通,以使气流依次经过所述进气口、所述腔室和所述出气口,所述进气口位于所述送风装置的出气侧,所述出气口位于所述送风装置的进气侧;第一过滤装置,设置在所述送风装置的出气侧与所述进气口之间。2.根据权利要求1所述的石英舟烘干设备,其特征在于:所述柜体包括多个外壁、多个隔板和多个盖板,所述多个外壁围设在一起、形成具有第一开口的内腔,每个所述隔板相互间隔设置在所述内腔中、并将所述内腔分隔成多个具有第二开口的所述腔室,每个所述盖板与其中一个所述外壁或者其中一个所述隔板连接以封闭或开启所述第二开口;所述多个外壁、多个隔板和多个盖板中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成。3.根据权利要求2所述的石英舟烘干设备,其特征在于:所述盖板上设置有至少一个用于观察所述腔室的透明件。4.根据权利要求1所述的石英舟烘干设备,其特征在于:还包括第二过滤装置,所述第二过滤装置设置在所述出气口与所述送风装置的进气侧之间。5.根据权利要求4所述的石英舟烘干设备,其特征在于:所述第一过滤装置、所述第二过滤装置均设置有箱体,以及设置在各自的所述箱体内的第一过滤层、第二过滤层和干燥层,所述第一过滤装置的所述箱体包括与所述送风装置连通的第一气口,以及与所述进气口对应连通的第二气口,所述第二过滤装置的所述箱体包括与所述出气口对应连通的第三气口,以及与所述送风装置连通的第四气口;所述第一过滤装置、所述第二过滤装置的所述箱体中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成。6.根据权利要求5所述的石英舟烘干设备,其特征在于:所述第一过滤层材质为无纺布,所述第二过滤层材质为活性炭,所述干燥层材质为硅胶。7.根据权利要求5所述的石英舟烘干设备,其特征在于:所述第一过滤层、第二过滤层、干燥层中的至少一层为可拆卸地设置在所述第一过滤装置的所述箱体内。8.根据权利要求5所述的石英舟烘干设备,其特征在于:所述第二过滤装置还包括设置在所述箱体内的耐腐蚀过滤层,所述第一过滤层、第二过滤层、干燥层和耐腐蚀过滤层中的至少一层为可拆卸地设置在所述第二过滤装置的所述箱体内。9.根据权利要求5所述的石英舟烘干设备,其特征在于:还包括多个进气管和多个出气管,所述进气管连通所述进气口与所述第二气口,所述出气管连通其所述出气口与所述第三气口,所述多个进气管和所述多个出气管中的至少一个采用耐腐蚀性材料制成。
10.根据权利要求2、5、9中任意一项所述的石英舟烘干设备,其特征在于:所述耐腐蚀性材料为特氟龙。

技术总结
本实用新型实施例涉及光伏制造技术领域,公开了一种石英舟烘干设备,该石英舟烘干设备包括柜体、送风装置和第一过滤装置,柜体设置有用于存放石英舟的多个腔室,每个腔室有至少一个进气口和至少一个出气口;送风装置分别与多个进气口和多个出气口连通,以使气体依次经过进气口、腔室和出气口,进气口位于送风装置的出气侧,出气口位于送风装置的进气侧;第一过滤装置设置在送风装置的出气侧与进气口之间。本实用新型实施例提供的石英舟烘干设备能够避免石英舟在烘干时被污染,同时能够提高石英舟的周转效率。英舟的周转效率。英舟的周转效率。


技术研发人员:徐欢 郭杰 刘自龙 冉冉 李党峰
受保护的技术使用者:浙江晶科能源有限公司
技术研发日:2021.08.12
技术公布日:2022/1/25
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