一种真空蒸发镀膜机的制作方法

技术特征：
1.一种真空蒸发镀膜机，其特征在于：主要包括镀膜室、蒸发源、中央智能控制模块和真空系统；蒸发源包括蒸发舟、温度传感阵列和柔性边界驱动系统；蒸发舟包括底部、固定边框、柔性边框和支撑边框；柔性边框设置在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上，固定边框设置在蒸发舟上其余的三侧；温度传感阵列主要由多个温度传感器组成，温度传感器分为多列，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部；柔性边框和固定边框构成蒸发区域的边界，支撑边框位于蒸发区域的边界以外，设置在柔性边框的外侧；中央智能控制模块可控制柔性边界驱动系统对蒸发舟的柔性边框的位移和形变进行在线调控。2.根据权利要求1所述的真空蒸发镀膜机，其特征在于：该真空蒸发镀膜机中的基片为连续式传送模式，且在蒸发源和基片之间不设置修正挡板或屏蔽板。3.根据权利要求1所述的真空蒸发镀膜机，其特征在于：柔性边界驱动系统包括多组驱动单元；多组驱动单元横向均布在蒸发舟的支撑边框上，每组驱动单元均与柔性边框的不同分段相连接；驱动单元为3组以上。4.根据权利要求3所述的真空蒸发镀膜机，其特征在于：温度传感器为6个以上，温度传感器排布的列数与驱动单元的组数一致，且各列的位置与各组驱动单元所处位置对应；每列温度传感器包括2个以上的温度传感器。5.根据权利要求3所述的真空蒸发镀膜机，其特征在于：柔性边框与驱动单元连接的部位在驱动单元的驱动下可向内或向外移动，使柔性边框在整体上产生内凹或外凸的形变及位移。6.根据权利要求1所述的真空蒸发镀膜机，其特征在于：中央智能控制模块内预设有膜厚的目标分布数据和蒸发材料数据库。7.根据权利要求3所述的真空蒸发镀膜机，其特征在于：每组驱动单元包括1个以上的微型伺服电机和直线推杆或者1个以上的微型直线电机。8.根据权利要求2所述的真空蒸发镀膜机，其特征在于：该真空蒸发镀膜机为卷对卷式镀膜设备，所述的基片为柔性基膜。

技术总结
本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜机，主要包括镀膜室、蒸发源、中央智能控制模块和真空系统；蒸发源包括蒸发舟、温度传感阵列和柔性边界驱动系统；蒸发舟包括底部、固定边框、柔性边框和支撑边框；柔性边框设置在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上，固定边框设置在蒸发舟上其余的三侧；温度传感阵列主要由多个温度传感器组成，温度传感器分为多列，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部；柔性边框和固定边框构成蒸发区域的边界，支撑边框位于蒸发区域的边界以外，设置在柔性边框的外侧；中央智能控制模块可控制柔性边界驱动系统对蒸发舟的柔性边框的位移和形变进行在线调控。变进行在线调控。变进行在线调控。


技术研发人员：李成林 郝明 杜雪峰
受保护的技术使用者：泊肃叶科技（沈阳）有限公司
技术研发日：2021.05.07
技术公布日：2022/1/25