一种测量装置及手套箱的制作方法

1.本技术属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种测量装置及手套箱。


背景技术：

2.随着mocvd g4机型在半导体行业的广泛应用，行业内对于生长外延片合格率要求也越来越高，因此，各项影响因素也在不断改善中。目前涉及放置衬底水平的测量几乎以目测为主，而目测存在较大的不确定性，尤其是目测需要隔着玻璃挡板，水平度难以保证，从而会直接影响生长质量，无形中增加了不合格产品的几率。


技术实现要素：

3.本技术实施例是提供一种测量装置及手套箱，至少可以解决外壳内物料放置平面水平度难以保证的问题。
4.根据本技术实施例的第一方面，提供了一种测量装置，包括：检测模块，用于检测第一待测面上不同点到检测面的距离；所述检测模块设置在外壳内部，外壳内还设有可移动的第一待测物，所述第一待测物具有所述第一待测面；读出/示出模块，用于读出/示出所述第一待测面上不同点到检测面的距离。
5.可选的，所述检测模块还用于检测第二待测面上不同点到检测面的距离；所述外壳内还设有第二待测物，所述第二待测物设置在所述第一待测面上，所述第二待测物具有所述第二待测面；所述第二待测面上不同点的位置与所述第一待测面上不同点的位置相对应。
6.可选的，所述测量装置还包括：报警模块，用于根据所述第一待测面上不同点到检测面的距离以及所述第二待测面上不同点到检测面的距离，确定所述第二待测物与所述第一待测面的贴合度，并当所述贴合度超过设定阈值时报警。
7.可选的，所述报警模块包括：第一计算单元，用于计算所述第一待测面上不同点到所述第二待测面上不同点距离；第二计算单元，用于计算所述第一待测面上不同点到所述第二待测面上对应不同点的距离的极差；确定单元，用于判断所述极差是否超过设定阈值；警报单元，用于当所述极差超过设定阈值时报警。
8.可选的，所述检测模块包括：测距仪，所述测距仪沿检测面非线性移动，用于检测所述第一待测面上不同点和所述第二待测面上不同点到检测面的距离。
9.可选的，所述检测模块包括：多个测距仪，多个所述测距仪沿检测面非线性布置，用于检测所述第一待测面上
不同点和所述第二待测面上不同点到检测面的距离。
10.根据本技术实施例的第二方面，提供一种手套箱，包括：作为外壳的箱体，所述外壳内设有作为第一待测物的可移动盘体，所述可移动盘体具有第一待测面；检测模块，设置在箱体内部，用于检测所述第一待测面上不同点到检测面的距离；读出/示出模块，用于读出/示出所述第一待测面上不同点到检测面的距离。
11.可选的，所述第一待测面用于放置作为第二待测物的衬底，所述衬底具有第二待测面；所述检测模块还用于检测所述第二待测面上不同点到检测面的距离。
12.可选的，所述手套箱还包括：报警模块，用于根据所述第一待测面上不同点到检测面的距离以及所述第二待测面上不同点到检测面的距离，确定所述第二待测物与所述第一待测面的贴合度，并当所述贴合度超过设定阈值时报警。
13.可选的，所述检测模块包括：测距仪，所述测距仪沿检测面非线性移动，用于检测所述第一待测面上不同点和所述第二待测面上不同点到检测面的距离；或者多个测距仪，多个所述测距仪沿检测面非线性布置，用于检测所述第一待测面上不同点和所述第二待测面上不同点到检测面的距离。
14.本技术实施例的上述技术方案至少具有如下有益的技术效果：本技术实施例的测量装置，能够检测待测平面或具有该平面的基体的设置情况，例如，可以检测待测平面的水平度、垂直度等，而且检测信息可以通过读出和/或示出模块读出或示出，相对于肉眼检测，当用于手套箱等具有不易从外部观察的外壳内，可以避免外壳对视觉的影响，检测精度得到保证。
附图说明
15.图 1是本技术一示例性实施例中一种测量装置的结构示意图；图2是本技术一示例性实施例中一种报警模块的结构框图；图3是本技术一示例性实施例中一种检测模块的分布示意图；图4是本技术一示例性实施例中一种手套箱的结构示意图。
16.图中，1、检测模块；11、检测面；12、测距仪；13、检测探头；2、读出/示出模块模块；3、报警模块；31、第一计算单元；32、第二计算单元；33、确定单元；34、报警单元；4、外壳；5、第二待测物；51、第二待测面；6、第一待测物；61、第一待测面；7、安装座；100、盘体；200、移动导轨模块；300、基座；400、衬底。
具体实施方式
17.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
18.在附图中示出了根据本技术实施例的层结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。
19.显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
20.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
21.此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
22.下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本技术实施例提供的测量装置进行详细地说明。
23.如图1所示，本技术实施例提供一种测量装置，包括：检测模块1，用于检测第一待测面61上不同点到检测面11的距离；所述检测模块1设置在外壳4内部，外壳4内还设有可移动的第一待测物6，所述第一待测物6具有所述第一待测面61；读出/示出模块，用于读出和/或示出所述第一待测面61上不同点到检测面11的距离。
24.其中，所述检测面11可以是水平面、垂直面等。
25.该测量装置通过在外壳4内设置检测模块1，能够检测待测平面或具有该平面的基体的设置情况，例如，可以检测待测平面的水平度、垂直度等，而且检测信息可以通过读出和/或示出模块读出或示出，相对于肉眼检测，当用于手套箱等具有不易从外部观察的外壳内，可以避免外壳对视觉的影响，检测精度得到保证。
26.在一可选实施例中，为了保证物料的放置情况，还可以在物料放置到放置平面后对物料进行水平情况进行检测。
27.示例性的，所述外壳4内还设有第二待测物5，所述第二待测物5放置在所述第一待测面61上，所述第二待测物5具有第二待测面51；所述检测模块1还用于检测所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离。
28.在一可选实施例中，为了进一步控制物料的放置情况，可以对物料于放置平面的贴合情况进行检测。
29.示例性的，所述测量装置还包括：报警模块3，用于根据所述第一待测面61上不同点到检测面11的距离以及所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离，确定所述第二待测物5与所述第一待测面61的贴合度，并当所述贴合度超过设定阈值时报警。
30.如图2所示，在一些实施例中，所述报警模块3包括：第一计算单元31，用于计算所述第一待测面61上不同点到所述第二待测面51上对应不同点的距离；第二计算单元32，用于计算所述第一待测面61上不同点到所述第二待测面51上对
应不同点的距离的极差；确定单元33，用于确定所述极差（或者贴合度）是否超过设定阈值；警报单元，用于当所述极差（或者贴合度）超过设定阈值时报警。
31.具体的，本技术利用极差r来量化贴合度，极差r为一组测量数据最大值与最小值之差。极差的设定阈值可以为10μm，当贴合度大于10μm时，警报单元进行报警。例如，第一待测面61上不同点到检测面11的距离为s11、s12、s13,所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离为s1、s2、s3，第一待测面61上不同点到第二待测面51上对应不同点的距离即为n1= s11
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s1、n2= s12
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s2、n3= s13
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s3，那么，第一待测面61上不同点到第二待测面51上对应不同点的距离的极差就是n1、n2、n3的极差。
32.其中，报警单元34的报警时可以发出蜂鸣，也可以进行灯光闪烁，或者是多者的结合。
33.在一可选实施例中，检测模块1可以由单个测距单元构成，由单个测距单元分别检测不同点到检测面11的距离。
34.示例性的，所述检测模块1包括：测距仪12，所述测距仪12沿检测面非线性移动，用于检测所述第一待测面61上不同点和所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离。例如，检测模块1包括检测探头13，检测探头13具有水平的检测面11，检测面11上具有一个激光测距仪12，激光测距仪12通过沿水平面移动，来检测第一待测面61或第二待测面51的不同点到检测面11的距离。
35.在一些实施例中，读出/示出模块可以示出第一待测面61或第二待测面51上与激光测距仪12移动轨迹相对应的曲线的各个点到检测面11的距离，或者示出该曲线上各个点到检测面11的距离变化。
36.在一可选实施例中，检测模块1可以由多个测距单元构成，每个测距单元分别检测一个或多个点到检测面11的距离。
37.如图3所示，示例性的，所述检测模块1包括：多个测距仪12，多个所述测距仪12沿检测面11非线性布置，用于检测所述第一待测面61上不同带你和所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离。例如，检测模块1包括检测探头13，检测探头13具有水平的检测面11，检测面11上具有多个激光测距仪12，多个激光测距仪12沿检测面11非线性分布，能够一次性检测第二待测面51的多个点到检测面11的距离，缩短检测过程。
38.本技术实施例测量装置的使用方法可以为：1、通过检测模块1检测第一待测面61上不同点到检测面11的距离并读出和/或示出检测数据，操作人员可以根据该项检测数据确定第一待测面61或者具有该第一待测面61的第一待测物6的设置情况。
39.2、待第二待测物5放置到第一待测面61后，通过检测模块1检测第二待测面51上不同点到检测面11的距离；操作人员可以在检测前选择是否读出和/或示出该项检测数据，操作人员还可以根据该项检测数据确定第二待测面51或者具有该第二待测面51的第二待测物5的设置情况。
40.3、利用报警模块3确定第二待测物5与第一待测面61的贴合度是否超过设定阈值，并当贴合度超过设定阈值时报警。
41.如图1、4所示，本技术实施例还提供一种手套箱，包括：
作为外壳4的箱体（图中未画出），所述箱体内具有作为第一待测物6的可移动盘体，所述可移动盘体具有第一待测面61；检测模块1，设置在箱体内部，用于检测所述第一待测面61上不同点到检测面11的距离，读出/示出模块，用于读出和/或示出所述第一待测面61上不同点到检测面11的距离。
42.手套箱的箱体内部的盘体100放置衬底400前，可以先检测盘体100的放置平面（第一待测面61）的设置情况并读出和/或示出，例如，可以检测待测平面的水平度、垂直度等，而且检测信息可以通过读出和/或示出模块读出或示出，相对于肉眼检测，可以避免外壳对视觉的影响，检测精度得到保证。
43.在一可选实施例中，为了保证衬底400的设置情况，还可以在衬底400放置到放置平面后对衬底400的进行设置情况进行检测。示例性的，所述第一待测面61用于放置作为第二待测物5的衬底400，所述衬底400具有第二待测面51；所述检测模块1还用于检测所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离。
44.在一可选实施例中，为了进一步控制物料的放置情况，可以对物料于放置平面的贴合情况进行检测。所述手套箱还包括：报警模块3，用于根据所述第一待测面61上不同点到检测面11的距离以及所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离，确定所述第二待测物5与所述第一待测面61的贴合度，并当所述贴合度超过设定阈值时报警。
45.在一可选实施例中，所述检测模块1包括：测距仪12，所述测距仪12沿水平面非线性移动，用于检测所述第一待测面61上不同点和所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离；或者多个测距仪12，多个所述测距仪12沿检测面11非线性布置，用于检测所述第一待测面61上不同点和所述第二待测面51上不同点到检测面11的距离。
46.如图4所示，一种手套箱，包括箱体，箱体内设有盘体100，移动盘体100的移动导轨模块200，以及固定移动导轨的基座300；盘体100上表面为衬底400的放置平面；箱体内还设置有检测模块1，其中，检测模块1包括安装座7，安装座7安装在基座300上，安装座7上安装有检测探头13，检测探头13具有水平的检测面11，检测面11上设有三个呈三角形布置的激光测距仪12，每次在放置平面放置衬底400前或者在移动盘体100后，每个激光测距仪12分别用于测取检测面11到放置平面上一点的距离；激光测距仪12与读出/示出模块通信，用于读出和/或示出检测数据。
47.其中，安装座7可以根据现有手套箱的基座300的结构特点进行设计安装，例如，在基座300和安装座7上设置安装孔，通过螺栓将安装座7固定在基座300上。又例如，在安装座7上设有与基座300相匹配的卡槽，将安装座7套装在基座300上。
48.为了保证衬底400的放置情况，还可以在衬底400放置到放置平面后对衬底400进行水平情况进行检测。例如，利用激光测距仪12测取检测面11到衬底400表面（第二待测面51）不同点的距离，并通过读出/示出模块读出和/或示出。
49.为了进一步控制物料的放置情况，可以对物料于放置平面的贴合情况进行检测。例如，设置与激光测距仪12通信的报警模块3，报警模块3可以根据衬底400表面上不同点到检测面11的距离以及放置平面上不同点到检测面11的距离，确定衬底400底面与放置平面
的贴合度，并当所述贴合度超过设定阈值时报警。
50.上面结合附图对本技术的实施例进行了描述，但是本技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本技术的启示下，在不脱离本技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本技术的保护之内。