星载MEMS光束控制摆镜的地面筛选测试装置及方法与流程

技术特征：
1.一种星载mems光束控制摆镜的地面筛选测试装置，其特征是：包括一个用于放置被测星载mems光束控制摆镜的真空罐、收发天线、光束分析仪、光束分析仪控制上位机、检测光激光器检测光发射光纤与光束分析仪位于收发天线的焦点处；所述检测光激光器用于发射检测光并通过检测光发射光纤发射至收发天线，所述收发天线用于接受检测光发射光纤发出的检测光将其发射至被测星载mems光束控制摆镜，并接收被测星载mems光束控制摆镜的反射光将其发射至光束分析仪，所述光束分析仪将接收到的光束光斑位置信息发送到进行光束分析仪控制上位机进行采集及数据处理，所述真空罐用于模拟空间真实使用环境。2.根据权利要求1所述的星载mems光束控制摆镜的地面筛选测试装置，其特征是：所述收发天线由80mm口径抛物面主镜和20mm口径分光镜构成；基本参数为：入瞳尺寸80mm；系统焦距1000mm；工作波长400nm-1700nm；系统波像差优于λ/15rms@632.8nm；分光镜口径20mm，工作波长400nm-1700nm，反射率为50%。3.根据权利要求1所述的星载mems光束控制摆镜的地面筛选测试装置，其特征是：所述光束分析仪选用分辨率为2464*2056，像元尺寸为3.45μm*3.45μm，最大图像刷新率为141.8fps的光束分析仪。4.根据权利要求1所述的星载mems光束控制摆镜的地面筛选测试装置，其特征是：所述检测光激光器选用单模光纤输出的激光器，输出波长为808nm
±
5nm，输出功率为40mw。5.一种用上述星载mems光束控制摆镜的地面筛选测试装置进行星载mems光束控制摆镜的地面筛选测试的方法，其特征是：该方法为：首先将被测星载mems光束控制摆镜放置在真空罐中，利用真空罐模拟空间真空使用环境；检测光激光器发射的测试光束入射至真空罐中的被测mems光束控制摆镜上，通过被测mems光束控制摆镜控制反射光角度，使其收发光轴与收发天线的光轴对准，被测mems光束控制摆镜的反射光经收发天线传输至光束分析仪后，将光束信号传输至光束分析仪控制上位机上，利用光束分析仪控制上位机计算光束运动偏角，记录偏角变化范围；通过地面筛选测试装置中的光束分析仪进行光斑质心采集，令一个测试单位时间内的光斑位置为（x,y），此时，光束偏角总量为：
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（1）其中，d为光束分析仪的像元尺寸，f为收发线天线的焦距，x0、y0为上一个测试单位时间内的光斑位置，在x方向和y方向的光束偏角分量 、分别为：
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（2）
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（3）在筛选测试状态下，对总量小于2
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的，判断是否合格，如合格，记录被测mems序号和相关测试数据，如不合格，记录被测mems序号和相关数据，以此完成对被测mems的筛选工作。

技术总结
本发明提供一种星载MEMS光束控制摆镜的地面筛选测试装置及方法。包括一个用于放置被测星载MEMS光束控制摆镜的真空罐、收发天线、光束分析仪、光束分析仪控制上位机、检测光激光器检测光发射光纤与光束分析仪位于收发天线的焦点处；所述检测光激光器用于发射检测光并通过检测光发射光纤发射至收发天线，所述收发天线用于接受检测光发射光纤发出的检测光将其发射至被测星载MEMS光束控制摆镜，并接收被测星载MEMS光束控制摆镜的反射光将其发射至光束分析仪，所述光束分析仪将接收到的光束光斑位置信息发送到进行光束分析仪控制上位机进行采集及数据处理，所述真空罐用于模拟空间真实使用环境。本发明可在线高精度监控光学参数。参数。参数。


技术研发人员：吴世臣 黎发志 李文宗 杨玉军 陈彧龙 李民益 权振 刘洪恩 解学彬 周子元
受保护的技术使用者：南京英田光学工程股份有限公司
技术研发日：2021.12.22
技术公布日：2022/1/25