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一种有机材料蒸发源的制作方法

2022-02-20 18:58:21 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种有机材料蒸发源,包括置物容器(1),其特征在于:所述置物容器(1)的顶部呈开口式设置,且置物容器(1)的底部固定连接有底座(2),所述置物容器(1)内插设有螺旋设置的加热丝(3),且加热丝(3)的两端固定插设在底座(2)的上侧壁并贯穿底座(2)的下侧壁设置,所述置物容器(1)的外侧壁设置有防护机构。2.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述底座(2)采用的材质为耐高温粘结剂。3.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述加热丝(3)采用的材料为铁镍合金。4.根据权利要求3所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述铁镍合金中镍的含量为5%-45%。5.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述加热丝(3)的直径尺寸为0.25mm-3mm。6.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述置物容器(1)采用的材质为硼硅玻璃或者石英。7.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述置物容器(1)的壁厚尺寸为0.5mm-3mm。8.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述置物容器(1)的外径尺寸为10mm-35mm,高度尺寸为3mm-6mm。9.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述防护机构包括固定套设在置物容器(1)外侧壁的屏蔽罩(4)。10.根据权利要求9所述的一种有机材料蒸发源,其特征在于:所述屏蔽罩(4)采用的材料为不锈钢,且屏蔽罩(4)的厚度尺寸为0.1mm-2mm。

技术总结
本实用新型公开了一种有机材料蒸发源,包括置物容器,所述置物容器的顶部呈开口式设置,且置物容器的底部固定连接有底座,所述置物容器内插设有螺旋设置的加热丝,且加热丝的两端固定插设在底座的上侧壁并贯穿底座的下侧壁设置,所述置物容器的外侧壁设置有防护机构。该种有机材料蒸发源,蒸发源的置物容器的底座采用高温粘结剂密封,固定置物容器的同时固定了加热丝,采用加热丝加热有机材料,减少了热量损失,大大提升了升温降温速率,缩短了镀膜时间。镀膜时间。镀膜时间。


技术研发人员:周东营 施怡 冯莱
受保护的技术使用者:苏州大学
技术研发日:2021.09.14
技术公布日:2022/1/14
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