采用哈式合金制成的前驱体包装容器的制作方法

1.本实用新型涉及一种前驱体包装技术领域，具体涉及了一种哈氏合金材料包装容器在前驱体上的应用。


背景技术：

2.前驱体包装容器用于封装固态、液态及气态超净高纯试剂，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，对包装容器的的安全性和洁净度提出严苛的要求。目前用于封装前驱体的包装容器一般是316l不锈钢材质，但是这种材质在内部封装材料及外部环境(温度)等影响下很容易造成干扰元素析出，影响封装物的品质，进而缩短了贮存时间，这就要求封装前驱体材料的包装容器不能有影响内部前驱体材料的元素析出。特别的，为前驱体钢瓶充装供应前驱体源时,前驱体源钢瓶内的前驱体源浓度受到许多因素的影响。比如，固体前驱体源在储存罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响最终前驱体源钢瓶中的前驱体源浓度。为了满足客户需求及保证贮存前驱体材料的质量，因此需要提出一种新型材料包装容器以满足实际需要。固体前驱体源钢瓶由于随着前驱体源存量越少而导致前驱体源蒸汽压越来越小，而无法达到前驱体源供给饱和度，最终造成现有技术中固体前驱体源钢瓶会造成一定前驱体源的剩余，导致前驱体源的利用率较低。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供解决前驱体包装容器内部由于元素析出而影响前驱体品质，而提出一种新型的哈氏合金材质的用于制作封装前驱体材料的包装容器。本实用新型的另一个目的在于提供一种前驱体包装容器，通过采用扇叶状托盘结构可提供稳定的饱和蒸汽，可以进一步提高前驱体材料的利用率,同时可以有效改善前驱体出气管输出前驱体源气体的均匀性。
4.本实用新型的技术方案如下：
5.采用哈式合金制成的前驱体包装容器，其特征在于，包括容器主体(2)，主体(2)上部设置有法兰(203)，所述法兰(203)上部设置有和其形成密封容器的上盖(3)；
6.所述法兰(203)上设置有灌装口(6)、出气管(7)、进气管(8)、中心管(9)；其中所述中心管(9)延伸至所述容器主体(2)的底部，所述进气管(8)一端连接所述中心管(9)另一端连接有进气阀门(801)，所述出气管(7)一端连接有出气阀门(701)；
7.所述法兰(203)下部连接有多个间隔设置的第一滤盘(10)和第二滤盘(11)，所述第一滤盘(10)和第二滤盘(11)上均设置有扇叶，所述扇叶之间形成有间隙，所述中心管(9)联通至所述第一滤盘(10)和第二滤盘(11)的底部。
8.进一步的，所述容器主体(2)和上盖(3)均为哈式合金制成。
9.进一步的，所述法兰(203)和所述上盖(3)之间还设置有密封圈(4)。
10.进一步的，所述法兰(203)上设置有通孔，所述上盖(3)上设置有对应的螺纹孔，紧固件(5)透过所述通孔连接到所述螺纹孔内。
11.进一步的，所述第一滤盘(10)包括了中间的第一定位件(1001)，所述第一定位件(1001)为圆柱形，其内部中间设置有供中心管(9)安装的圆孔，以及连接在圆孔两端的安装孔(1004)，在第一定位件(1001)的侧面连接了多个第一扇叶(1002)，相邻两个第一扇叶(1002)之间还设置有第一间隙(1003)。
12.进一步的，所述第二滤盘(11)包括了中间的第二定位件(1101)，第二定位件(1101)为圆柱形，其内部中间设置有供中心管(9)安装的圆孔，其两端还设置有凸出于第二定位件(1101)的紧固凸台(1102)，紧固凸台(1102)对应安装到安装孔(1004)中，在第二定位件(1101)的侧面连接了多个第二扇叶(1103)，相邻两个第二扇叶(1103)之间还设置有第二间隙(1104)。
13.进一步的，所述出气管(7)、进气管(8)均为ep管。
14.借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
15.(1)容器主体部分减少了焊接工艺，减少了由于焊接不良导致的元素析出，进而提高了容器内部洁净度。
16.(2)容器内部腔体是由相同的托盘连接而成的，相邻托盘之间通过卡扣实现固定连接，方便拆装，可以节省时间。
17.(3)本实用新型内腔中的托盘采用扇叶状结构设计，可以增加前驱体材料的流动路径，可以有效提高前驱体材料蒸气饱和度，并提供稳定的蒸气压。
18.(4)采用此种结构可以减少前驱体材料的残留量，提高材料利用率。
19.(5)本实用新型包装容器加工方便制作简单，生产加工成本低。
20.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某个实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
22.图1是实用新型结构示意图；
23.图2是实用新型第一滤盘侧视图
24.图3是实用新型第一滤盘俯视图
25.图4是实用新型第二滤盘侧视图
26.图5是实用新型第二滤盘俯视图
27.图6是实用新型第一滤盘和第二滤盘连接示意图；
28.图中：
29.1-包装容器；2-容器主体；3-上盖；4-密封圈；5-紧固件；6-灌装口；7-出气管；701-出气阀门；8-进气管；801-进气阀门；9-中心管；10-第一滤盘；1001-第一定位件；1002-扇叶；1003-第一间隙；1004-安装孔；11-第二滤盘；1101-第二定位件；1102-紧固凸台；1103-第二扇叶；1104-第二间隙。
具体实施方式
30.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
31.参见图1-图6，该包装容器1包括，容器主体2和上盖3，容器主体2为空心圆柱形，容器主体2的上部固定设置有法兰203，法兰203的上部连接有圆形的上盖3，在具体连接的时候，是通过在法兰203开设有通孔，在上盖3上开设有对应的螺纹孔，将紧固件5从通孔连接到螺纹孔内，实现对上盖3和容器主体2的固定连接。容器主体2和上盖3均采用哈式合金制成。
32.为了保证上盖3和容器主体2连接的密封性，还在上盖3和容器主体2之间设置了密封圈4，在具体连接的时候，密封圈4上也设置有对应螺纹孔的通孔，方便安装。
33.在上盖3上端连接灌装口6、进气管8、出气管7、中心管9，进气管8、中心管9与出气阀门701连接，出气管7与出气阀门701连接。
34.其中中心管9从上盖3下端部延伸至容器主体底部2b的上方。其中容器主体2以及容器上盖3采用哈氏合金材料制成；进气管8、出气管7均为ep管。
35.在法兰203的中心还连接了多个滤盘，其中多个滤盘包括相互间隔卡合连接的第一滤盘10和第二滤盘11。
36.第一滤盘10包括了中间的第一定位件1001，第一定位件1001为圆柱形，其内部中间设置有供中心管9安装的圆孔，以及连接在圆孔两端的安装孔1004，在第一定位件1001的侧面连接了多个第一扇叶1002，相邻两个第一扇叶1002之间还设置有第一间隙1003。
37.第二滤盘11包括了中间的第二定位件1101，第二定位件1101为圆柱形，其内部中间设置有供中心管9安装的圆孔，其两端还设置有凸出于第二定位件1101的紧固凸台1102，紧固凸台1102对应安装到安装孔1004中，在第二定位件1101的侧面连接了多个第二扇叶1103，相邻两个第二扇叶1103之间还设置有第二间隙1104。
38.一般情况下第一扇叶1002和第二间隙1004的数量均为3个，同时第一间隙1003和第二间隙1104的数量也为三个。在具体分布的时候，第一间隙1003和第二间隙1104为了保证两者之间的路程较长，两者不会在同一平面重合。
39.在本技术文件中，第一滤盘10的数量为四个，第二滤盘11的数量为三个，第一滤盘10和第二滤盘11间隔安装，同时最上部的第一滤盘10安装到法兰203下部。
40.本实用新型容器可以用来封装半导体行业固态、液态及led等前驱体材料以及液晶行业的单晶、混晶等液晶材料。
41.本装置的工作原理如下：
42.具体应用时，前驱体材料通过灌装口6填充到容器内腔。
43.灌装后灌装口6用灌装口封口螺母及金属垫片封住。
44.中心管9、出气管7端口分别与实用设备的管道相连接。经检漏合格后分别打开进气管8路上的进气管阀门801和出气管7上的出气阀门701。因瓶体内表面以及托盘表面进过处理，表面摩擦系数小。
45.高纯气体经进气管8、中心管9进入，气体流经容器内腔时，会通过低一层托盘向上一层相邻托盘流动，流动过程中会载着前驱体材料向上流动。气体携载的前驱体材料会经过相邻托盘之间的第一间隙/第二间隙向上层流动，载气会沿着扇叶状托盘向上流动，最终
通过扇叶间的间隙到达上层托盘。如此循环往复，最终载着饱和蒸汽到达出气管7。托盘扇叶状的结构增加了蒸汽的行程路径，进一步提高了蒸汽的饱和度。保证了前驱体材料的浓度稳定，提高了蒸汽的稳定性。
46.综上所述，本实用新型钢瓶结构简洁，前驱体材料储存在容器内腔中，载气通过中心管带着前驱体源的蒸汽穿过层层托盘，从出气管吹出，使得载气与前驱体源的接触方式由点接触变为均相接触，使载气通过的路径增加，带出的前驱体蒸汽更加稳定：不仅提高前驱体源的使用率，还提高蒸汽的稳定性，为后续工艺的稳定提供保障。
47.本实用新型钢瓶，相邻托盘之间有定位卡扣连接，减少了其他焊接工艺，安装、拆卸方便，提高了生产效率。
48.本装置具体使用的一些测试数据如下：
49.将两种不同材质的包装容器分别进行表面处理，表面处理后分别灌入1级去离子水，并将灌入去离子水的包装容器同时静置在100级洁净室72h。时间结束后对相应包装容器中的去离子水进行元素含量检测，结果如表1：(单位：ppb)
50.表1
51.包装容器材质哈氏合金316l不锈钢fe元素含量0.0620
52.将两种不同材质制成的实用新型包装容器进行以下处理：将两种不同材质的包装容器分别进行表面处理，表面处理后分别灌入1级去离子水，并将灌入去离子水的包装容器同时静置在100级洁净室120h。时间结束后对相应包装容器中的去离子水进行元素含量检测，结果如表2：(单位：ppb)
53.表2
54.包装容器材质哈氏合金316l不锈钢fe元素含量0.0818
55.由表1、表2可以看出，采用哈氏合金制成的包装容器与316l不锈钢材质制成的包装容器相比：相同条件下，在fe元素析出量上哈氏合金材质包装容器远小于316l不锈钢材质的包装容器。
56.由此可以说明，哈氏合金材质在元素析出量上优于316l不锈钢材质，采用哈氏合金材质的包装容器大大降低了fe元素对前驱体材料的影响，进而说明哈氏合金材质包装容器满足了半导体及液晶行业上对fe元素析出量上的较高要求。
57.最后说明的是，本领域技术人员应当理解，以上实施例仅用于说明应用在半导体前驱体材料及液晶行业包装容器在材质选择方案的优选实施例而已，并非本实用新型所限制，尽管用上述实施例对本实用新型进行了详细的操作描述，但本实用新型并未限定于此，对上述实施方式中所描述的包装容器的部件结构、组合方式描述的是一例，在不脱离本实用新型的主旨的范围内，可以对部件结构、组合方式等进行改变，但所做的改变都应当属于本实用新型申请的保护范围。