一种隐裂硅片分选装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片分选装置技术领域，尤其是指一种隐裂硅片分选装置。


背景技术：

2.硅片在生产加工后，存在肉眼无法观察到的隐藏裂痕，这些隐藏裂痕容易导致硅片整体的碎裂，为此，产生了一种检测隐裂硅片的检测头，将其安装在硅片生产加工后的运输轨道上，对生产加工完成的硅片进行隐裂检测，而后，通过分选轨道将这些隐裂硅片分选出来。
3.现有的分选装置大多采用吸盘式或下摆式分选方式，前者通过吸盘将隐裂硅片吸附转移，在此过程中，由于吸盘瞬间的吸附力容易导致硅片碎裂，硅片的碎片散落在轨道上，对生产线造成影响，而后者通过气缸拉回运输轨道的一端，使得运输轨道围绕其另一端向下摆动，将隐裂硅片运输至运输轨道下方的收纳盒中，而在运输过程中，存在硅片的两端分别搭接在运输轨道和收纳盒上的情况，导致硅片不能正常滑落，而当气缸推长，将运输轨道恢复至原位时，硅片断裂，硅片的碎片对生产线产生极大影响。


技术实现要素：

4.为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中吸盘式或下摆式分选方式容易导致隐裂硅片碎裂的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种隐裂硅片分选装置，包括底座、用于传输硅片的传输轨道、用于检测隐裂硅片的检测机构、用于分选隐裂硅片的分选轨道、与所述分选轨道连接的升降机构，所述传输轨道、检测机构和分选轨道均设置在所述底座上，所述传输轨道与所述分选轨道交叉设置，所述升降机构驱动所述分选轨道升降；
6.当所述检测机构检测到隐裂硅片时，所述升降机构驱动所述分选轨道抬升，通过所述分选轨道将隐裂硅片从所述传输轨道上托起，并驱动隐裂硅片移动。
7.在本实用新型的一个实施例中，所述传输轨道包括两条，所述分选轨道包括第一轨道段，两条传输轨道并排分布且相互配合，所述第一轨道段设置在两条传输轨道之间。
8.在本实用新型的一个实施例中，还包括第二轨道段，所述第二轨道段设置在其中一条传输轨道背向所述第一轨道段的一侧。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述分选轨道的输出端还设有收纳盒，所述收纳盒设置在所述底座上。
10.在本实用新型的一个实施例中，所述收纳盒通过转轴与所述底座连接，所述转轴水平设置，所述收纳盒围绕所述转轴转动设置。
11.在本实用新型的一个实施例中，所述收纳盒与所述转轴之间设有用于限制所述收纳盒转动的锁止机构。
12.在本实用新型的一个实施例中，所述收纳盒的内壁上设有弹性缓冲层。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述分选轨道的末端设有硅片脱离传感器。
14.在本实用新型的一个实施例中，所述升降机构包括气缸和支撑件，所述气缸的输出端与所述支撑件连接，所述分选轨道设置在所述支撑件上。
15.在本实用新型的一个实施例中，所述气缸有两个，两个气缸对称设置在所述支撑件底部。
16.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
17.本实用新型的一种隐裂硅片分选装置将传输轨道和分选轨道交叉设置，在正常传输时，升降机构驱动分选轨道降低直至分选轨道低于传输轨道，当检测机构检测到隐裂硅片后，升降机构驱动分选轨道抬升直至分选轨道高于传输轨道，通过分选轨道驱动隐裂硅片移动，从而避免了吸盘式和下摆式容易导致硅片碎裂的问题。
附图说明
18.为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中：
19.图1是本实用新型优选实施例中隐裂硅片分选装置的结构示意图；
20.图2是图1所示的收纳盒与转轴的连接结构示意图；
21.图3是图1所示的锁止机构的截面示意图；
22.图4是图1所示的分选轨道与升降机构的连接结构示意图。
23.说明书附图标记说明：1、底座；2、传输轨道；3、检测机构；4、分选轨道；500、升降机构；501、气缸；502、支撑件；6、收纳盒；7、转轴；8、硅片脱离传感器；9、锁止环。
具体实施方式
24.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
25.需要说明的是，当元件被称为“设置于”、“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当元件被称为“固设于”另一个元件，或与另一个元件“固定连接”，它们之间可以是可拆卸固定方式也可以是不可拆卸的固定方式。当一个元件被认为是“连接”、“转动连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
26.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在约束本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
27.本实用新型中所述“第一”、“第二”、“第三”等类似用于不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。
28.在一些实施例中，参照图1所示，本实用新型的一种隐裂硅片分选装置，包括底座1、用于传输硅片的传输轨道2、用于检测隐裂硅片的检测机构3、用于分选隐裂硅片的分选轨道4、与分选轨道4连接的升降机构500，传输轨道2、检测机构3和分选轨道4均设置在底座1上，传输轨道2与分选轨道4交叉设置，升降机构500驱动分选轨道4升降；
29.当检测机构3检测到隐裂硅片时，升降机构500驱动分选轨道4抬升，通过分选轨道4将隐裂硅片从传输轨道2上托起，并驱动隐裂硅片移动。硅片在传输轨道2上运输，当其移动至检测机构3处，检测机构3对硅片进行隐裂检测，当检测到硅片存在隐裂现象时，升降机构驱动分选轨道4抬升，直至分选轨道4高于传输轨道2，使得硅片在分选轨道4的驱动下移动，偏离传输轨道2，从而达到了隐裂硅片的分选目的，分选过程中，通过直接抬升而后将其移开的方式能够避免硅片碰撞导致碎裂的情况，从而提高了该分选装置的实用性。
30.在其中一实施例中，参照图1所示，传输轨道2包括两条，分选轨道4包括第一轨道段，两条传输轨道2并排分布且相互配合，所述第一轨道段设置在两条传输轨道2之间。相比于单条传输轨道2驱动硅片而言，两条传输轨道2能够使得硅片更平稳地移动，减少硅片发生偏转的概率，通过设置在两条传输轨道2之间的第一轨道段将硅片移动，当硅片移动至第一轨道段的末端时，使其自然滑落，从而将隐裂硅片脱离传输轨道2。
31.在其中一实施例中，参照图1所示，分选轨道4还包括第二轨道段，第二轨道段设置在其中一条传输轨道2背向第一轨道段的一侧。当隐裂硅片移动至第一轨道段的末端后，通过第二轨道段驱动其继续移动，使得其更平稳地脱离传输轨道2。
32.在一些实施例中，参照图1和图2所示，分选轨道4的输出端还设有收纳盒6，收纳盒6设置在底座1上。通过在分选轨道4的输出端设置收纳盒6，代替人工收集隐裂硅片，能够进一步提高分选效率。
33.在一些实施例中，参照图2所示，参照图收纳盒6通过转轴7与底座1连接，转轴7水平设置，收纳盒6围绕转轴7转动设置。通过将收纳盒6围绕转轴7转动，调节收纳盒6的摆放角度，能够使隐裂硅片更流畅、更平稳地落入收纳盒6中。
34.优选的，参照图3所示，收纳盒6与转轴7之间设有用于限制收纳盒6转动的锁止机构。锁止机构可以设置为连接在收纳盒6与转轴7之间的锁止环9，锁止环9与收纳盒6固定连接并且套设在转轴7上，转轴7的周身一圈设有连续褶状的第一凸部，在锁止环9内设有与第一凸部的缺陷处匹配的第二凸部，第二凸部由橡胶等弹性材质制成，当收纳盒6转动时，第二凸部产生形变，并且转动至下一格第一凸部，当收纳盒6停止转动时，第一凸部对第二凸部产生支撑效果，即限制锁止环9继续转动，从而能够限制收纳盒6转动。
35.优选的，收纳盒6的内壁上设有弹性缓冲层。弹性缓冲层能够避免隐裂硅片滑入收纳盒6内时与收纳盒6的内壁碰撞而导致碎裂。
36.在一些实施例中，参照图1所示，分选轨道4的末端设有硅片脱离传感器8。硅片脱离传感器8可以选用光敏传感器，当其接收到的光信号变化时，即表示硅片已脱离分选轨道4，此时，即可通过升降机构驱动分选轨道4下降直至分选轨道4低于传输轨道2，此时，良品硅片能够继续通过传输轨道2传输。
37.在其中一实施例中，参照图1和图4所示，升降机构500包括气缸501和支撑件502，气缸501的输出端与支撑件502连接，分选轨道4设置在支撑件502上。气缸501外接气源，通过驱动支撑件502升降以带动各分选轨道4同步升降，从而保持隐裂硅片在分选轨道4上的平稳性。
38.在一些实施例中，参照图1和图4所示，气缸501有两个，两个气缸501对称设置在支撑件502底部。通过两个气缸501同时驱动支撑件502，使得支撑件502的两端同时升降，能够进一步提高支撑件502升降时的平稳性。
39.本实用新型优选实施例的工作原理如下：
40.硅片在传输轨道2上传输，当其经过检测机构3时，检测机构3对硅片进行隐裂检测，若检测到硅片有隐裂现象时，升降机构500驱动分选轨道4抬升，直至分选轨道4高于传输轨道2，此时，隐裂硅片受分选轨道4控制，而后分选轨道4驱动隐裂硅片移动至分选轨道4的输出端，硅片脱离传感器8检测到硅片，当分选轨道4驱动隐裂硅片继续移动，直至隐裂硅片滑入收纳盒6内后，硅片脱离传感器8检测到硅片脱离分选轨道4，而后升降机构驱动分选轨道4下降，直至分选轨道4低于传输轨道2；在使用前，还可以通过转动收纳盒6，使得其围绕转轴7转动，调节收纳盒6的角度使其更利于隐裂硅片滑落，同时，通过锁止机构能够将收纳盒6锁止在该角度。
41.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。