一种Ag基合金靶材及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种ag基合金靶材，其特征在于，所述靶材由下列质量百分比的原料制备而成：ag:74.90-84.95wt%，in sc:15-25wt%，掺杂元素0.05-0.15 wt %；所述掺杂元素选自ce，pr，zr，la，nb中的一种或两种。2.根据权利要求1所述一种ag基合金靶材，其特征在于，所述in sc中，in的质量百分比为50-90wt%。3.根据权利要求2所述一种ag基合金靶材，其特征在于，所述掺杂元素为ce和pr，其中ce:0.05wt%，pr:0.05wt%。4.根据权利要求2所述一种ag基合金靶材，其特征在于，所述掺杂元素为zr和la，其中zr:0.05wt%，la:0.05wt%。5.根据权利要求2所述一种ag基合金靶材，其特征在于，所述掺杂元素为nb，且nb:0.05-0.15wt%。6.权利要求1-5任一项所述ag基合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：s1 熔炼铸锭：按配方称取各原料，投入水冷坩埚磁悬浮熔炼炉的坩埚中，抽真空至-0.08mpa，充入ar气至压力为0，保压30s,反复抽充3次；打开高频电源，逐步升高加热功率，从2.5kw开始，每2min升高0.5kw，至坩埚内呈现一个不断流动的球形金属液后，每1min升高1kw，至9kw时，停止升高加热功率，保温8min，放冷，取出粗锭；将粗锭再次放入坩埚中，重复上述熔炼过程1-3次；末次熔炼时，在保温结束后，趁热将熔炼好的液体注入碳质铸模具，铸成ag合金锭子，铸锭过程进行真空保护；s2 加热：将ag合金锭子放到加热炉中，加热，逐渐升温，最高温度不超过800℃，保温时间4小时；s3 轧制：进行三道次的精热轧，水冷，然后进行冷轧；s4 热处理：300-500℃保温5-8小时；s5 整形：采用矫直机进行形状矫正；s6 机械加工：加工成所需要的尺寸，得ag基合金靶胚；s7 绑定：将靶胚绑定在背板上，即得。7.根据权利要求6所述ag基合金靶材的制备方法，其特征在于，所述s3轧制的步骤如下：s3-1 精热轧：三道次的精热轧，每一道次的轧制率为20-45％，应变速度6-12％/s；三道次热轧后的板材温度为500-700℃；s3-2 水冷：从500-700℃的温度以300℃/min的冷却速度进行骤冷；s3-3 冷轧：进行至少一道次的冷轧；每一道次的轧制率为25-40％，应变速度为5-9%/s；冷轧至所需要的板厚；冷轧后的板材温度为150℃以下。8.根据权利要求4所述ag基合金靶材的制备方法，其特征在于，所述s3中，所述精热轧和冷轧时，均使用zro2耐磨陶瓷辊轮。

技术总结
本发明涉及一种Ag基合金靶材及其制备方法，由下列质量百分比的原料制备而成：Ag:74.90-84.95wt%，In Sc:15-25wt%，掺杂元素0.05-0.15wt%；所述掺杂元素选自Ce，Pr，Zr，La，Nb中的一种或两种。本发明Ag基合金靶材的制备方法包括熔炼铸锭、加热、轧制、热处理、整形、机械加工、绑定等。本发明提供了一种新型Ag基合金靶材，在银基中添加In和Sc，在有效改善银基合金耐硫化性和耐热性的同时，抑制因Sc用量增大而导致银基薄膜电阻率增加、反射率降低的弊端，In和Sc之间存在协同作用；在此基础上，通过添加其它掺杂元素，可以进一步减少晶粒的尺寸、改善靶材的综合性能。上述技术效果的取得，是产品配方、制备方法等多个技术手段综合作用的结果。的结果。


技术研发人员：曾墩风 王志强 石煜 马建保 盛明亮
受保护的技术使用者：芜湖映日科技股份有限公司
技术研发日：2021.10.11
技术公布日：2022/1/11